Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл — углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.

PACS: 73.63.Fg, 85.35.Kt, 85.40.−e (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/ 000267730600002 2-s2.0-68249146273 2009PhyU...52..225V Цитата: Воробьева А И "Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления" УФН 179 243–253 (2009) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubes AU Vorob’eva, A. I. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2009 JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JA Usp. Fiz. Nauk VL 179 IS 3 SP 243-253 UR https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0179.200903b.0243 English citation: Vorob’eva A I “Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubes” Phys. Usp. 52 225–234 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243