Выпуски

 / 

2009

 / 

Март

  

Из текущей литературы


Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления


Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, ул. П. Бровки 6, Минск, 220013, Беларусь

Рассматриваются методы формирования электродных систем к углеродным нанотрубкам, которые используются в качестве конструктивных элементов в различных устройствах наноэлектроники. Анализируются способы уменьшения удельного сопротивления электродов и контактного сопротивления в структурах металл — углеродная трубка. Обсуждаются перспективы и реальные достижения в области использования нанотрубок в качестве межуровневых контактных переходов в системах многоуровневой металлизации интегральных микросхем.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 73.63.Fg, 85.35.Kt, 85.40.−e (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200903b.0243
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/3/b/
Цитата: Воробьева А И "Электродные системы к углеродным нанотрубкам и методы их изготовления" УФН 179 243–253 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Vorob’eva A I “Fabrication techniques of electrode arrays for carbon nanotubesPhys. Usp. 52 225–234 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200903b.0243

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение