Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все) DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/ 000267067000003 2-s2.0-68249138511 2009PhyU...52..165G Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks Русский English RT Journal T1 Physical mechanisms underlying the selective removal of atoms A1 Gurovich,B.A. A1 Prikhod’ko,K.E. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2009 FD 10 Feb, 2009 JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JO Usp. Fiz. Nauk VO 179 IS 2 SP 179-195 DO 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179 LK https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/ English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atoms” Phys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179