Выпуски

 / 

2009

 / 

Февраль

  

Приборы и методы исследований


Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов

,
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», пл. акад. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/
Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atomsPhys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение