Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов

Б.А. Гурович, К.Е. Приходько
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», пл. акад. Курчатова 1, Москва, 123182, Российская Федерация

Изложен современный взгляд на природу процесса селективного удаления атомов (СУА) — управляемого преобразования свойств и состава многоатомных веществ под действием ионного облучения. Рассмотрены основные эффекты, сопровождающие СУА, и возможные механизмы, за счет которых этот процесс может реализоваться. Показана перспективность использования метода СУА для создания наноразмерных функциональных элементов.

Текст pdf (1,1 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179

PACS: 79.20.Rf, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0179.200902d.0179
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2009/2/d/
Web of Science

000267067000003
Scopus

2-s2.0-68249138511
ADS NASA

2009PhyU...52..165G
Цитата: Гурович Б А, Приходько К Е "Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов" УФН 179 179–195 (2009)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gurovich B A, Prikhod’ko K E “Physical mechanisms underlying the selective removal of atoms” Phys. Usp. 52 165–178 (2009); DOI: 10.3367/UFNe.0179.200902d.0179