RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 12, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2008

 / 

Февраль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния

 а, б,  б
а Институт физики полупроводников СО РАН, просп. Ак. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация
б Quantum-Phase Electronics Center, Department of Applied Physics, The University of Tokyo and Japan Science and Technology Agency, CREST, 7-3-1 Hongo, Tokyo, 113-8656, Japan

В обзоре анализируются результаты исследования поверхностных процессов образования наноструктур германия и кремния. Рассмотрены закономерности зарождения трехмерных островков и релаксации напряженного двумерного слоя при гетероэпитаксии германия на кремнии, которые вызывают самопроизвольный рост островков. Окисление поверхности кремния перед осаждением германия или кремния кардинально изменяет механизм роста и приводит к созданию островков с предельно высокой плотностью 1012-1013 и размерами менее 10 нм. Их свойства определяются эффектами пространственного квантования. Массивы этих островков, в свою очередь, образуют уникальную поверхность для роста на ней слоев кремния, способных излучать фотоны с длиной волны 1,5-1,6 мкм.

Текст pdf (4,9 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2008v051n02ABEH006344
PACS: 78.55.Ap, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0178.200802b.0139
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2008/2/b/
000256729400002
2-s2.0-45149130684
2008PhyU...51..133S
Цитата: Шкляев А А, Ичикава М "Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния" УФН 178 139–169 (2008)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Shklyaev A A, Ichikawa M “Extremely dense arrays of germanium and silicon nanostructures” Phys. Usp. 51 133–161 (2008); DOI: 10.1070/PU2008v051n02ABEH006344

Список литературы (199) Статьи, ссылающиеся на эту (66) Похожие статьи (20) ↓

  1. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа» УФН 176 913–930 (2006)
  2. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов «Процессы конденсации тонких пленок» УФН 168 1083–1116 (1998)
  3. Ю.Б. Болховитянов, О.П. Пчеляков «Эпитаксия GaAs на кремниевых подложках: современное состояние исследований и разработок» УФН 178 459–480 (2008)
  4. Л.А. Головань, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров «Оптические свойства нанокомпозитов на основе пористых систем» УФН 177 619–638 (2007)
  5. Ю.Б. Болховитянов, О.П. Пчеляков, С.И. Чикичев «Кремний-германиевые эпитаксиальные пленки: физические основы получения напряженных и полностью релаксированных гетероструктур» УФН 171 689–715 (2001)
  6. А.В. Латышев, А.Л. Асеев «Моноатомные ступени на поверхности кремния» УФН 168 1117–1127 (1998)
  7. А.В. Елецкий «Механические свойства углеродных наноструктур и материалов на их основе» УФН 177 233–274 (2007)
  8. Г.Н. Макаров «Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии» УФН 183 673–718 (2013)
  9. В.Б. Шикин, Ю.В. Шикина «Заряженные дислокации в полупроводниковых кристаллах» УФН 165 887–917 (1995)
  10. Р.А. Андриевский «Водород в наноструктурах» УФН 177 721–735 (2007)
  11. С.И. Лепешов, А.Е. Краснок и др. «Гибридная нанофотоника» УФН 188 1137–1154 (2018)
  12. Р.А. Андриевский «Металлические нано- и микростёкла: новые подходы в наноструктурном материаловедении» УФН 183 277–285 (2013)
  13. А.А. Чернов «Слоисто-спиральный рост кристаллов» УФН 73 277–331 (1961)
  14. Г.Н. Макаров «Кластерная температура. Методы ее измерения и стабилизации» УФН 178 337–376 (2008)
  15. Г.Н. Макаров «Экспериментальные методы определения температуры и теплоты плавления кластеров и наночастиц» УФН 180 185–207 (2010)
  16. И.М. Лифшиц «О структуре энергетического спектра и квантовых состояниях неупорядоченных конденсированных систем» УФН 83 617–663 (1964)
  17. Г.Н. Макаров «Лазерная ИК-фрагментация молекулярных кластеров: роль каналов ввода и релаксации энергии, влияние окружения, динамика фрагментации» УФН 187 241–276 (2017)
  18. В.Ф. Гантмахер, В.Т. Долгополов «Квантовые фазовые переходы «локализованные-делокализованные электроны»» УФН 178 3–24 (2008)
  19. В.Т. Долгополов «Целочисленный квантовый эффект Холла и сопряжённые с ним явления» УФН 184 113–136 (2014)
  20. С.В. Колесников, А.Г. Сыромятников и др. «Экзотические наноструктуры на поверхности металлов» УФН, принята к публикации

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение