Выпуски

 / 

2008

 / 

Февраль

  

Обзоры актуальных проблем


Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния

 а, б,  б
а Институт физики полупроводников СО РАН, просп. Ак. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация
б Quantum-Phase Electronics Center, Department of Applied Physics, The University of Tokyo and Japan Science and Technology Agency, CREST, 7-3-1 Hongo, Tokyo, 113-8656, Japan

В обзоре анализируются результаты исследования поверхностных процессов образования наноструктур германия и кремния. Рассмотрены закономерности зарождения трехмерных островков и релаксации напряженного двумерного слоя при гетероэпитаксии германия на кремнии, которые вызывают самопроизвольный рост островков. Окисление поверхности кремния перед осаждением германия или кремния кардинально изменяет механизм роста и приводит к созданию островков с предельно высокой плотностью 1012-1013 и размерами менее 10 нм. Их свойства определяются эффектами пространственного квантования. Массивы этих островков, в свою очередь, образуют уникальную поверхность для роста на ней слоев кремния, способных излучать фотоны с длиной волны 1,5-1,6 мкм.

Текст pdf (4,9 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2008v051n02ABEH006344
PACS: 78.55.Ap, 81.07.−b, 81.16.−c (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0178.200802b.0139
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2008/2/b/
000256729400002
2-s2.0-45149130684
2008PhyU...51..133S
Цитата: Шкляев А А, Ичикава М "Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния" УФН 178 139–169 (2008)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
Русский English
@article{Shklyaev:2008,
	author = {А. А. Шкляев and М. Ичикава},
	title = {Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния},
	publisher = {Успехи физических наук},
	year = {2008},
	journal = {Усп. физ. наук},
	volume = {178},
	number = {2},
	pages = {139-169},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/2008/2/b/},
	doi = {10.3367/UFNr.0178.200802b.0139}
}

English citation: Shklyaev A A, Ichikawa M “Extremely dense arrays of germanium and silicon nanostructuresPhys. Usp. 51 133–161 (2008); DOI: 10.1070/PU2008v051n02ABEH006344

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение