Выпуски

 / 

1995

 / 

Август

  

Обзоры актуальных проблем


Заряженные дислокации в полупроводниковых кристаллах

 а,  б
а Институт физики твердого тела имени Ю.А. Осипьяна РАН, ул. Академика Осипьяна 2, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация
б Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, Черноголовка, Московская обл., Российская Федерация

Обсуждается состояние проблемы заряженных дислокаций в полупроводниковых кристаллах германия и кремния. Для описания равновесных свойств пластически деформированных германия и кремния использована феноменологическая модель электронного спектра на заряженных дислокациях в этих кристаллах, развивающая представления Шокли-Рида. Модель содержит два акцепторных уровня E1 и E2, а также один донорный ε1. Кроме того, оказывается необходимым введение конечной емкости C1 для акцепторного уровня E1. В рамках принятой модели удается самосогласованно описать основные электрические свойства пластически деформированных германия и кремния. Речь идет о проводимости этих кристаллов в n и p состояниях, деталях инверсии типа проводимости дислокационного происхождения, особенностях ВАХ для кристаллов с ориентированным набором дислокаций, простейших релаксационных явлениях и т.д. При этом для германия уровень E1 оказывается расположенным в окрестности E1 \backsimeq 0,1 эВ над потолком валентной зоны, а емкость C1 \lesssim 0,1. В случае кремния E1 \backsimeq 0,4 эВ, C1 \lesssim 0,1. Обращает на себя внимание малость емкости C1, что оправдывает введение этих дополнительных параметров в характиристики электронного спектра на дислокациях.

Текст pdf (680 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1995v038n08ABEH000099
PACS: 61.72.Lk, 71.55.Cn, 72.80.Cw (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0165.199508b.0887
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1995/8/b/
A1995TF94900002
Цитата: Шикин В Б, Шикина Ю В "Заряженные дислокации в полупроводниковых кристаллах" УФН 165 887–917 (1995)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Shikin V B, Shikina Yu V “Charged dislocations in semiconductor crystalsPhys. Usp. 38 845–875 (1995); DOI: 10.1070/PU1995v038n08ABEH000099

Список литературы (66) Статьи, ссылающиеся на эту (24) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.С. Вавилов «Природа и энергетический спектр радиационных нарушений в полупроводниках» 84 431–450 (1964)
  2. В.Б. Шикин «Неустойчивость и перестройки заряженной поверхности жидкости» 181 1241–1264 (2011)
  3. В.Б. Шикин «Подвижность зарядов в жидком, твердом и плотном газообразном гелии» 121 457–497 (1977)
  4. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния» 178 139–169 (2008)
  5. Н.А. Тяпунина, Э.П. Белозерова «Заряженные дислокации и свойства щелочногалоидных кристаллов» 156 683–717 (1988)
  6. А.И. Жакин «Электрогидродинамика заряженных поверхностей» 183 153–177 (2013)
  7. А.И. Олемской, И.А. Скляр «Эволюция дефектной структуры твердого тела в процессе пластической деформации» 162 (6) 29–79 (1992)
  8. Ю.Б. Болховитянов, О.П. Пчеляков, С.И. Чикичев «Кремний-германиевые эпитаксиальные пленки: физические основы получения напряженных и полностью релаксированных гетероструктур» 171 689–715 (2001)
  9. Г.С. Буберман «Зонная структура алмазов» 103 675–704 (1971)
  10. А.Л. Суворов «Автоионная микроскопия радиационных дефектов в монокристаллах» 101 21–52 (1970)
  11. А.М. Косевич «Динамическая теория дислокаций» 84 579–609 (1964)
  12. М.Д. Франк-Каменецкий, В.В. Аншелевич, А.В. Лукашин «Полиэлектролитная модель ДНК» 151 595–618 (1987)
  13. В.С. Эдельман «Левитирующие электроны» 130 675–706 (1980)
  14. М.И. Шлиомис «Магнитные жидкости» 112 427–458 (1974)
  15. С.Г. Тиходеев «Электронно-дырочная жидкость в полупроводниках» 145 3–50 (1985)
  16. М.О. Катанаев «Геометрическая теория дефектов» 175 705–733 (2005)
  17. В.В. Кирсанов, А.Н. Орлов «Моделирование на ЭВМ атомных конфигураций дефектов в металлах» 142 219–264 (1984)
  18. Ю.Б. Болховитянов, О.П. Пчеляков «Эпитаксия GaAs на кремниевых подложках: современное состояние исследований и разработок» 178 459–480 (2008)
  19. В.А. Миличко, А.С. Шалин и др. «Солнечная фотовольтаика: современное состояние и тенденции развития» 186 801–852 (2016)
  20. Р.И. Гарбер, И.А. Гиндин «Физика прочности кристаллических тел» 70 57–110 (1960)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение