Некоторые физические аспекты ионной имплантации

Имплантация ионов и родственные ей процессы осаждения и распыления.— Неравновесностъ и метастабильность ионно-имплантированных структур.— Аморфные твердые тела, создаваемые имплантацией ионов, и планарные структуры, их включающие.— Рекристаллизация слоев, легированных или (и) амортизированных имплантацией ионов.— Анализ состава и свойств ионно-имплантированных планарных структур.— Метод анализа спектров фото- и катодолюминесценции ионно-имплантированных слоев.— Оптическая методика изучения приповерхностных слоев ионно-имплантированных структур.— Емкостная спектроскопия энергетических уровней.— О пределах применимости ионной имплантации как метода управления свойствами полупроводников и других твердых тел.

Текст pdf (1,4 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU1985v028n02ABEH003854

PACS: 81.15.Cd, 68.55.Ln, 68.55.Nq, 78.55.−m, 78.60.Hk, 78.66.Jg (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0145.198502e.0329
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1985/2/e/
Цитата: Вавилов В С "Некоторые физические аспекты ионной имплантации" УФН 145 329–346 (1985)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Vavilov V S “Some physical aspects of ion implantation” Sov. Phys. Usp. 28 196–206 (1985); DOI: 10.1070/PU1985v028n02ABEH003854

Статьи, ссылающиеся на эту (7) Похожие статьи (17) ↓

А.А. Лушников, А.Е. Негин и др. «Аэрогельные структуры в газе» УФН 161 (2) 113–123 (1991)
И.Д. Новиков, В.П. Фролов «Черные дыры во Вселенной» УФН 171 307–324 (2001)
В.С. Вавилов «Полупроводники в современном мире» УФН 165 591–594 (1995)
Б.М. Смирнов «Свойства фрактального агрегата» УФН 157 357–360 (1989)
В.А. Аветисов, В.И. Гольданский «Физические аспекты нарушения зеркальной симметрии биоорганического мира» УФН 166 873–891 (1996)
В.И. Докучаев, Ю.Н. Ерошенко «Физическая лаборатория в центре Галактики» УФН 185 829–843 (2015)
Л.И. Меньшиков, П.Л. Меньшиков, П.О. Федичев «Эффекты дальнодействия в воде» УФН 190 475–524 (2020)
В.В. Аристов, С.А. Забелок, А.А. Фролова «Неклассический перенос в неравновесных течениях разреженного газа» УФН 195 276–293 (2025)
Л.Б. Окунь «Фундаментальные константы физики» УФН 161 (9) 177–194 (1991)
А.В. Недоспасов «Физика МГД-генераторов» УФН 123 333–348 (1977)
Б.Б. Кадомцев «Динамика и информация» УФН 164 449–530 (1994)
Э.М. Базелян, Ю.П. Райзер «Механизм притяжения молнии и проблема лазерного управления молнией» УФН 170 753–769 (2000)
А.Д. Чернин «Темная энергия и всемирное антитяготение» УФН 178 267–300 (2008)
Л.А. Фальковский «Оптические свойства графена и полупроводников типа A₄B₆» УФН 178 923–934 (2008)
Л.В. Ксанфомалити «К 30-летию миссии Вега: сравнение некоторых свойств комет 1Р/Галлея и 67Р/Чурюмова—Герасименко» УФН 187 311–326 (2017)
М.И. Рабинович, П. Варона «Нелинейная динамика творческого мышления. Многомодальные процессы и взаимодействие гетероклинических структур» УФН 191 846–860 (2021)
А.В. Кухто, С.М. Казаков «Спектроскопия взаимодействия пучка низкоэнергетических электронов с органическими люминесцирующими молекулами» УФН 193 182–191 (2023)

Список формируется автоматически.