RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 2, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2026

 / 

Январь

←  →

Приборы и методы исследований


Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий

†  а, б, в,  г,  г
а Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
б Zhuhai Tsinghua University Research Institute Innovation Center, Zhuhai, China
в Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Campus da Caparica, Caparica, 2829-516, Portugal
г Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Политехническая ул. 26, Санкт-Петербург, 194021, Российская Федерация

Представлен обзор физических процессов, лежащих в основе метода обратно рассеянных ионов инертных газов (LEIS/СОРИНЭ) в диапазоне низких энергий (0,5—5 кэВ), и аппаратной реализации этого метода. Обсуждаются особенности диагностики поверхности методом LEIS/СОРИНЭ, включая расшифровку энергетических спектров, количественный элементный анализ и возможности изучения структуры поверхности, потенциала взаимодействия частица—поверхность и наличия кластеров в твёрдых растворах. Представлены программные коды для компьютерного моделирования процессов взаимодействия ионов с поверхностью. Показаны преимущества энерго-масс анализа рассеянных ионов, рассмотрено применение ионного рассеяния в современных ионных микроскопах, обсуждается рассеяние ионов инертных газов в диапазоне гипертермальных энергий. Дан обзор основных областей применения LEIS/СОРИНЭ для анализа поверхности и приповерхностных слоёв различных материалов и приборов, оценены перспективы дальнейшего развития метода обратно рассеянных ионов низких энергий.

Текст pdf (2,5 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2025.09.040043
Ключевые слова: диагностика поверхности, ионное рассеяние, нейтрализация, распыление, быстрые ионизованные атомы отдачи, энерго-масс анализ, гипертермальные энергии, ионные микроскопы
PACS: 34.35.+a, 68.49.Sf, 79.20.Rf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2025.09.040043
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2026/1/d/
Цитата: Толстогузов А Б, Бабенко П Ю, Зиновьев А Н "Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий" УФН 196 48–82 (2026)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 13 января 2025, доработана: 23 сентября 2025, 24 сентября 2025

English citation: Tolstoguzov A B, Babenko P Yu, Zinoviev A N “Surface analysis by low-energy ion scattering spectroscopy” Phys. Usp. 69 42–73 (2026); DOI: 10.3367/UFNe.2025.09.040043

Список литературы (271) Похожие статьи (20) ↓

  1. П.А. Мажаров, В.Г. Дудников, А.Б. Толстогузов «Электрогидродинамические источники ионных пучков» УФН 190 1293–1333 (2020)
  2. А.Е. Иешкин, А.Б. Толстогузов и др. «Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач» УФН 192 722–753 (2022)
  3. В.Г. Лукин, О.Г. Хвостенко «Процессы десорбции при измерении слабых токов» УФН 190 525–538 (2020)
  4. А.К. Ребров «Возможности газофазного синтеза алмазных структур» УФН 187 193–200 (2017)
  5. В.Г. Лукин, О.Г. Хвостенко «Влияние поверхностной адсорбции отрицательных ионов в ионном источнике на результаты измерений их времени жизни» УФН 187 981–1002 (2017)
  6. Б.А. Гурович, К.Е. Приходько «Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов» УФН 179 179–195 (2009)
  7. А.Д. Погребняк, А.Г. Пономарев и др. «Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов» УФН 182 287–321 (2012)
  8. Б.А. Гурович, Д.И. Долгий и др. «Управляемая трансформация электрических, магнитных и оптических свойств материалов ионными пучками» УФН 171 105–117 (2001)
  9. Т.С. Аргунова, В.Г. Кон «Исследование микропор в монокристаллах методом фазово-контрастного изображения на просвет в синхротронном излучении» УФН 189 643–658 (2019)
  10. В.Н. Очкин «Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы» УФН 192 1145–1178 (2022)
  11. А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Н.А. Дюжев «Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности» УФН 192 754–771 (2022)
  12. В.Г. Дудников «Поверхностно-плазменный метод получения пучков отрицательных ионов» УФН 189 1315–1351 (2019)
  13. А.Е. Дубинов, Л.А. Мытарева «Маскировка материальных тел методом волнового обтекания» УФН 180 475–501 (2010)
  14. Г.А. Гусев, Б.Н. Ломоносов и др. «Ледяные спутники планет Солнечной системы и орбитальные радиодетекторы для регистрации частиц ультравысоких энергий» УФН 180 957–964 (2010)
  15. И.Р. Набиев, Р.Г. Ефремов, Г.Д. Чуманов «Гигантское комбинационное рассеяние и его применение к изучению биологических молекул» УФН 154 459–496 (1988)
  16. Г.Г. Бондаренко, Л.Н. Быстров и др. «Применение высоковольтной электронной микроскопии в физике твердого тела» УФН 116 303–314 (1975)
  17. А.В. Еремин «Пассивные и активные лазерные методы исследования кинетики неравновесных процессов в ударных трубах» УФН 195 721–737 (2025)
  18. В.В. Лидер «Метод накачки и рентгеновского зондирования» УФН 195 962–981 (2025)
  19. С.А. Баренгольц, Г.А. Месяц «Взрывоэмиссионные процессы в термоядерных установках с магнитным удержанием плазмы и линейных электрон-позитронных коллайдерах» УФН 193 751–769 (2023)
  20. Д.А. Долголенко, Е.П. Потанин «Диффузионные методы разделения изотопов в плазме» УФН 193 192–205 (2023)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение