RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2026

 / 

январь

←  →

Приборы и методы исследований


Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий

†  а, б, в,  г,  г
а Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
б Zhuhai Tsinghua University Research Institute Innovation Center, Zhuhai, China
в Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Campus da Caparica, Caparica, 2829-516, Portugal
г Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Политехническая ул. 26, Санкт-Петербург, 194021, Российская Федерация

Представлен обзор физических процессов, лежащих в основе метода обратно рассеянных ионов инертных газов (LEIS/СОРИНЭ) в диапазоне низких энергий (0,5—5 кэВ), и аппаратной реализации этого метода. Обсуждаются особенности диагностики поверхности методом LEIS/СОРИНЭ, включая расшифровку энергетических спектров, количественный элементный анализ и возможности изучения структуры поверхности, потенциала взаимодействия частица—поверхность и наличия кластеров в твёрдых растворах. Представлены программные коды для компьютерного моделирования процессов взаимодействия ионов с поверхностью. Показаны преимущества энерго-масс анализа рассеянных ионов, рассмотрено применение ионного рассеяния в современных ионных микроскопах, обсуждается рассеяние ионов инертных газов в диапазоне гипертермальных энергий. Дан обзор основных областей применения LEIS/СОРИНЭ для анализа поверхности и приповерхностных слоёв различных материалов и приборов, оценены перспективы дальнейшего развития метода обратно рассеянных ионов низких энергий.

Текст pdf (2,5 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2025.09.040043
Адрес для корреспонденции:
Ключевые слова: диагностика поверхности, ионное рассеяние, нейтрализация, распыление, быстрые ионизованные атомы отдачи, энерго-масс анализ, гипертермальные энергии, ионные микроскопы
PACS: 34.35.+a, 68.49.Sf, 79.20.Rf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2025.09.040043
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2026/1/d/
001671153400003
2-s2.0-105031299001
2026PhyU...69...42T
Цитата: Толстогузов А Б, Бабенко П Ю, Зиновьев А Н "Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий" УФН 196 48–82 (2026)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

поступила: 13 января 2025, доработана: 23 сентября 2025, 24 сентября 2025

English citation: Tolstoguzov A B, Babenko P Yu, Zinoviev A N “Surface analysis by low-energy ion scattering spectroscopy” Phys. Usp. 69 42–73 (2026); DOI: 10.3367/UFNe.2025.09.040043

Список литературы (271) Статьи, ссылающиеся на эту (1) Похожие статьи (20) ↓

  1. П.А. Мажаров, В.Г. Дудников, А.Б. Толстогузов «Электрогидродинамические источники ионных пучков» УФН 190 1293–1333 (2020)
  2. А.Е. Иешкин, А.Б. Толстогузов и др. «Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач» УФН 192 722–753 (2022)
  3. В.Г. Лукин, О.Г. Хвостенко «Влияние поверхностной адсорбции отрицательных ионов в ионном источнике на результаты измерений их времени жизни» УФН 187 981–1002 (2017)
  4. А.К. Ребров «Возможности газофазного синтеза алмазных структур» УФН 187 193–200 (2017)
  5. А.Д. Погребняк, А.Г. Пономарев и др. «Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов» УФН 182 287–321 (2012)
  6. В.Г. Лукин, О.Г. Хвостенко «Процессы десорбции при измерении слабых токов» УФН 190 525–538 (2020)
  7. И.Р. Набиев, Р.Г. Ефремов, Г.Д. Чуманов «Гигантское комбинационное рассеяние и его применение к изучению биологических молекул» УФН 154 459–496 (1988)
  8. С.А. Пшеничнюк, Н.Л. Асфандиаров и др. «Современное состояние и перспективы спектроскопии диссоциативного захвата электронов» УФН 192 177–204 (2022)
  9. Б.А. Гурович, К.Е. Приходько «Физические механизмы, лежащие в основе процесса селективного удаления атомов» УФН 179 179–195 (2009)
  10. Т.С. Аргунова, В.Г. Кон «Исследование микропор в монокристаллах методом фазово-контрастного изображения на просвет в синхротронном излучении» УФН 189 643–658 (2019)
  11. Б.А. Гурович, Д.И. Долгий и др. «Управляемая трансформация электрических, магнитных и оптических свойств материалов ионными пучками» УФН 171 105–117 (2001)
  12. П.В. Зинин, К.М. Булатов и др. «Дистанционное измерение распределения температуры на поверхности твёрдых тел при воздействии мощного лазерного излучения» УФН 192 913–925 (2022)
  13. Н.М. Блашенков, Г.Я. Лаврентьев «Исследование неравновесной поверхностной ионизации методом полевой поверхностно-ионизационной масс-спектрометрии» УФН 177 59–85 (2007)
  14. В.Н. Очкин «Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы» УФН 192 1145–1178 (2022)
  15. М.А. Проскурнин, В.Р. Хабибуллин и др. «Фототермическая и оптоакустическая спектроскопия: современное состояние и перспективы» УФН 192 294–340 (2022)
  16. А.А. Дедкова, И.В. Флоринский, Н.А. Дюжев «Подходы к определению кривизны пластин по рельефу их поверхности» УФН 192 754–771 (2022)
  17. Е.Н. Рагозин, Е.А. Вишняков и др. «Спектрометры для мягкого рентгеновского диапазона на основе апериодических отражательных решёток и их применение» УФН 191 522–542 (2021)
  18. А.В. Тимофеев «К теории плазменной переработки отработавшего ядерного топлива» УФН 184 1101–1133 (2014)
  19. Л.В. Арапкина, В.А. Юрьев «Классификация hut-кластеров Ge в массивах, формируемых на поверхности Si(001) методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низких температурах» УФН 180 289–302 (2010)
  20. В.И. Графутин, Е.П. Прокопьев «Применение позитронной аннигиляционной спектроскопии для изучения строения вещества» УФН 172 67–83 (2002)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение