Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий

А.Б. Толстогузов^†^а, б, в, П.Ю. Бабенко^г, А.Н. Зиновьев^г
^аРязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
^бZhuhai Tsinghua University Research Institute Innovation Center, Zhuhai, China
^вCentre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Campus da Caparica, Caparica, 2829-516, Portugal
^гФизико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Политехническая ул. 26, Санкт-Петербург, 194021, Российская Федерация

Представлен обзор физических процессов, лежащих в основе метода обратно рассеянных ионов инертных газов (LEIS/СОРИНЭ) в диапазоне низких энергий (0,5—5 кэВ), и аппаратной реализации этого метода. Обсуждаются особенности диагностики поверхности методом LEIS/СОРИНЭ, включая расшифровку энергетических спектров, количественный элементный анализ и возможности изучения структуры поверхности, потенциала взаимодействия частица—поверхность и наличия кластеров в твёрдых растворах. Представлены программные коды для компьютерного моделирования процессов взаимодействия ионов с поверхностью. Показаны преимущества энерго-масс анализа рассеянных ионов, рассмотрено применение ионного рассеяния в современных ионных микроскопах, обсуждается рассеяние ионов инертных газов в диапазоне гипертермальных энергий. Дан обзор основных областей применения LEIS/СОРИНЭ для анализа поверхности и приповерхностных слоёв различных материалов и приборов, оценены перспективы дальнейшего развития метода обратно рассеянных ионов низких энергий.

Текст pdf (2,5 Мб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

Ключевые слова: диагностика поверхности, ионное рассеяние, нейтрализация, распыление, быстрые ионизованные атомы отдачи, энерго-масс анализ, гипертермальные энергии, ионные микроскопы
PACS: 34.35.+a, 68.49.Sf, 79.20.Rf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2025.09.040043
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2026/1/d/
Цитата: Толстогузов А Б, Бабенко П Ю, Зиновьев А Н "Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий" УФН 196 48–82 (2026)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий
AU Толстогузов, А. Б.
AU Бабенко, П. Ю.
AU Зиновьев, А. Н.
PB Успехи физических наук
PY 2026
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 196
IS 1
SP 48-82
UR https://ufn.ru/ru/articles/2026/1/d/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2025.09.040043

Поступила: 13 января 2025, доработана: 23 сентября 2025, одобрена в печать: 24 сентября 2025

English citation: Tolstoguzov A B, Babenko P Yu, Zinoviev A N “Surface analysis by low-energy ion scattering spectroscopy” Phys. Usp. 69 (1) (2026); DOI: 10.3367/UFNe.2025.09.040043