RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 2, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2026

 / 

Январь

←  →

Приборы и методы исследований


Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий

†  а, б, в,  г,  г
а Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
б Zhuhai Tsinghua University Research Institute Innovation Center, Zhuhai, China
в Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Campus da Caparica, Caparica, 2829-516, Portugal
г Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Политехническая ул. 26, Санкт-Петербург, 194021, Российская Федерация

Представлен обзор физических процессов, лежащих в основе метода обратно рассеянных ионов инертных газов (LEIS/СОРИНЭ) в диапазоне низких энергий (0,5—5 кэВ), и аппаратной реализации этого метода. Обсуждаются особенности диагностики поверхности методом LEIS/СОРИНЭ, включая расшифровку энергетических спектров, количественный элементный анализ и возможности изучения структуры поверхности, потенциала взаимодействия частица—поверхность и наличия кластеров в твёрдых растворах. Представлены программные коды для компьютерного моделирования процессов взаимодействия ионов с поверхностью. Показаны преимущества энерго-масс анализа рассеянных ионов, рассмотрено применение ионного рассеяния в современных ионных микроскопах, обсуждается рассеяние ионов инертных газов в диапазоне гипертермальных энергий. Дан обзор основных областей применения LEIS/СОРИНЭ для анализа поверхности и приповерхностных слоёв различных материалов и приборов, оценены перспективы дальнейшего развития метода обратно рассеянных ионов низких энергий.

Текст pdf (2,5 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2025.09.040043
Ключевые слова: диагностика поверхности, ионное рассеяние, нейтрализация, распыление, быстрые ионизованные атомы отдачи, энерго-масс анализ, гипертермальные энергии, ионные микроскопы
PACS: 34.35.+a, 68.49.Sf, 79.20.Rf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2025.09.040043
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2026/1/d/
Цитата: Толстогузов А Б, Бабенко П Ю, Зиновьев А Н "Диагностика поверхности методом спектроскопии обратно рассеянных ионов низких энергий" УФН 196 48–82 (2026)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 13 января 2025, доработана: 23 сентября 2025, 24 сентября 2025

English citation: Tolstoguzov A B, Babenko P Yu, Zinoviev A N “Surface analysis by low-energy ion scattering spectroscopy” Phys. Usp. 69 42–73 (2026); DOI: 10.3367/UFNe.2025.09.040043

Список литературы (271) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Декарт Р "Правила для руководства ума" Сочинения Т. 1 (Сост., ред. В В Соколов) (М.: Мысль, 1989); Декарт Р https://gtmarket.ru/library/basis/3958
  2. Brongersma H H et al Surf. Sci. Rep. 62 63 (2007)
  3. Brongersma H H et al Vacuum 84 1005 (2010)
  4. Машкова Е С, Молчанов В А Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел (М.: Энергоатомиздат, 1995)
  5. Волков С С, Толстогузов А Б Спектроскопия обратно рассеянных ионов низких энергий (Обзоры по электронной технике. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование, Вып. 15(820)) (М.: ЦНИИ Электроника, 1981), 79 с.
  6. Гайнуллин И К УФН 190 950 (2020); Gainullin I K Phys. Usp. 63 888 (2020)
  7. van der Veen J F Surf. Sci. Rep. 5 199 (1985)
  8. Машкова Е С, Молчанов В А Рассеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел (М.: Атомиздат, 1980); Пер. на англ. яз., Mashkova E S, Molchanov V A Medium-Energy Ion Reflection from Solids (Modern Problems in Condensed Matter Sciences) Vol. 11 (Amsterdam: North-Holland, 1985)
  9. Шемухин А А и др Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (4) 25 (2013); Shemukhin A A et al J. Surf. Investig. 7 318 (2013)
  10. Шипатов Э Т Обратное рассеяние быстрых ионов. Теория, эксперимент, практика (Ростов-на-Дону: Изд-во Ростовского ун-та, 1988)
  11. Mayer J W, Rimini E (Eds) Ion Beam Handbook for Material Analysis (New York: Academic Press, 1977)
  12. Overbury S H Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 27 65 (1987)
  13. Евстифеев В В Многочастичные взаимодействия при рассеянии медленных ионов поверхностью металла (Пенза: Изд-во Пензенского гос. ун-та, 2009)
  14. Maazouz M et al Surf. Sci. 398 49 (1998)
  15. Kuehner J A, Almovist E, Bromley D A Phys. Rev. 131 1254 (1963)
  16. Толстогузов А Б, Гусев С И, Fu D J Письма в ЖТФ 48 (7) 47 (2022); Tolstoguzov A B, Gusev S I, Fu D J Tech. Phys. Lett. 48 (4) 36 (2022)
  17. Арифов У А, Аюханов А Х ДАН Узб.ССР (4) 12 (1951)
  18. Еремеев М А ДАН СССР 79 775 (1951)
  19. Панин Б В ЖЭТФ 42 313 (1962); Panin B V Sov. Phys. JETP 15 215 (1962)
  20. Benninghoven A, Rüdenauer F G, Werner H W Secondary Ion Mass Spectrometry. Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications, and Trends (New York: J. Wiley, 1987)
  21. Smith D P J. Appl. Phys. 18 340 (1967)
  22. Goff R F, Smith D P J. Vac. Sci. Technol. 7 72 (1970)
  23. Smith D P Surf. Sci. 25 171 (1971)
  24. Smith D P US Patent 3,480,744 dated Nov. 25 (1969)
  25. Begemann S H A, Boers A L Surf. Sci. 30 134 (1972)
  26. Heiland W, Taglauer E J. Vac. Sci. Technol. 9 620 (1972)
  27. Brongersmal H H, Mu P M Surf. Sci. 35 393 (1973)
  28. Czanderna A W (Ed.) Methods of Surface Analysis (Amsterdam: Elsevier, 1975); Пер. на русск. яз., Зандерна А (Ред.) Методы анализа поверхностей (Пер. с англ. под ред. В В Кораблева, Н Н Петрова) (М.: Мир, 1979)
  29. Fiermans L, Vennik J, Dekeyser W (Eds) Electron and Ion Spectroscopy of Solids (New York: Plenum Press, 1978); Пер. на русск. яз., Фирмэнс Л, Вэнник Д, Декейсера В (Ред.) Электронная и ионная спектроскопия твердых тел (Пер. с англ. под ред. В И Раховского ) (М.: Мир, 1981)
  30. Briggs D, Seah M P (Eds) Practical Surface Analysis: by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy (Chichester: J. Wiley and Sons, 1983); Пер. на русск. яз., Бриггс Д, Сих М П (Ред.) Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (Пер. с англ. под ред. В И Раховского, И С Реза) (М.: Мир, 1987)
  31. Woodruff D P, Delchar T A Modern Techniques of Surface Science (Cambridge: Cambridge Univ. Press, 1986); Пер. на русск. яз., Вудраф Д, Дэлчар Т Современные методы исследования поверхностей (Пер. с англ. под ред. В И Раховского) (М.: Мир, 1989)
  32. Парилис Э С Эффект Оже (Ташкент: Фан, 1969)
  33. Немошкаленко В В, Алешин В Г Электронная спектроскопия кристаллов (Киев: Наукова думка, 1976); Пер. на англ. яз., Nemoshkalenko V V, Aleshin V G Electron Spectroscopy of Crystals (New York: Plenum Press, 1979)
  34. Черепин В Т, Васильев М А Методы и приборы для анализа поверхности (Киев: Наукова думка, 1982), Справочник
  35. Черепин В Т Ионный микрозондовый анализ (Киев: Наукова думка, 1992)
  36. Петров Н Н, Аброян И А Диагностика поверхности с помощью ионных пучков (Л.: Изд-во Ленинградского ун-та, 1977)
  37. Шуппе Г Н Диагностика поверхностей электронными, ионными и фотонными зондами Т. 2 (Рязань: Изд-во Рязанского радиотехнического ин-та, 1984)
  38. Оура К и др Введение в физику поверхности (Отв. ред. В И Сергиенко) (М.: Наука, 2006); Пер. с англ. яз., Oura K et al Surface Science: an Introduction (Berlin: Springer, 2003)
  39. Vickerman J C, Gilmore I S (Eds) Surface Analysis: The Principal Techniques (Chichester: J. Wiley, 2009)
  40. The Surface Science Society of Japan (Ed.) Compendium of Surface and Interface Analysis (Singapore: Springer, 2018)
  41. Erickson R L, Smith D P Phys. Rev. Lett. 34 297 (1975)
  42. Niehus H, Heiland W, Taglauer E Surf. Sci. Rep. 17 213 (1993)
  43. Курнаев В А, Машкова Е С, Молчанов В А Отражение легких ионов от поверхности твердого тела (М.: Энергоатомиздат, 1985)
  44. Рязанов М И, Тилинин И С Исследования поверхности по обратному рассеянию частиц (М.: Энергоатомиздат, 1985)
  45. Юрасова В Е Взаимодействие ионов с поверхностью. Избранные труды (М., 1999)
  46. Kawano H Prog. Surf. Sci. 97 1000583 (2022)
  47. Аристархова А А, Волков С С, Толстогузов А Б Электронная промышленность (1-2) 41 (1979)
  48. Волков С С, Толстогузов А Б Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ (9) 25 (1981)
  49. Толстогузов А Б, Шуппе Г Н Радиотехника и электроника 27 592 (1982)
  50. Толстогузов А Б Металлофизика (5) 85 (1982)
  51. Bush W Julchen (München: Adamant Media Corp., 2001)
  52. Monreal R C Prog. Surf. Sci. 89 80 (2014)
  53. Миронов В Л Основы сканирующей зондовой микроскопии (М: Техносфера, 2004)
  54. ONTOF GmbH, https://www.iontof.com/
  55. Cushman C V et al Anal. Methods 8 3419 (2016)
  56. Průša S et al Appl. Surf. Sci. 657 158793 (2024)
  57. Rabalais J W Principles and Applications of Ion Scattering Spectrometry: Surface Chemical and Structural Analysis (Hoboken, NJ: J. Wiley and Sons, 2003)
  58. Парилис Э С и др Теория рассеяния атомов средних энергий поверхностью твердого тела (Ташкент: ФАН, 1987)
  59. Parilis E S et al Atomic Collisions on Solid Surfaces (Amsterdam: North-Holland, 1993)
  60. Юрасова В Е Известия АН СССР. Сер. физ. 28 1470 (1964)
  61. Юрасова В Е, Бржезинский В А, Иванов Г М ЖЭТФ 47 473 (1964); Yurasova V E, Brzhezinskii V A, Ivanov G M Sov. Phys. JETP 20 313 (1965)
  62. Yurasova V E, Shulga V I, Karpuzov D S Canadian J. Phys. 46 759 (1968)
  63. Yurasova V E et al Radiation Effects 12 175 (1972)
  64. Martynenko Yu V Radiation Effects 20 211 (1973)
  65. Атлас спектров обратно рассеянных ионов инертных газов (Рязань: НИТИ, 1986)
  66. Bierman D J, Turkenburg W C, Bhalla C P Physica 60 357 (1972)
  67. Ландау Л Д, Лифшиц Е М Механика Т. 1 (М: Наука, 1988); Пер. на англ. яз., Landau L D, Lifshitz E M Mechanics Vol. 1 (Oxford: Butterworth-Heinemann, 1976)
  68. Torrens L M Interatomic Potentials (New York: Academic Press, 1972)
  69. Lehmann C Interaction of Radiation with Solids and Elementary Defect Production (Amsterdam: North-Holland, 1977); Пер. на русск. яз., Лейман К Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов (Пер. с англ. под ред. Г И Бабкина) (М.: Атомиздат, 1979)
  70. Фирсов О Б ЖЭТФ 34 447 (1958); Firsov O B Sov. Phys. JETP 7 (2) 308 (1958)
  71. Robinson M T, Torrens I M Phys. Rev. B 9 5008 (1974)
  72. Ziegler I F, Biersack J P, Littmark U The Stopping and Range of Ions in Solids Vol. 1 (New York: Pergamon Press, 1985)
  73. Зиновьев А Н ЖТФ 78 (1) 15 (2008); Zinov'ev A N Tech. Phys. 53 13 (2008)
  74. Wilson W D, Haggmark L G, Biersack J P Phys. Rev. B 15 2458 (1977)
  75. Zinoviev A N, Nordlund K Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 406 511 (2017)
  76. Molière G Z. Naturforsch. A 2 133 (1949)
  77. Abrahamson A A Phys. Rev. 178 76 (1969)
  78. Andersen H H, Sigmund P Risø Report No. 103 (1965)
  79. Tsuneyuki S, Tsukada M Phys. Rev. B 34 5758 (1986)
  80. Sasaki M et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 190 127 (2002)
  81. Шехтер Ш Ш ЖЭТФ 7 750 (1937)
  82. Hagstrum H D Phys. Rev. 96 336 (1954)
  83. Аброян И А, Еремеев М А, Петров Н Н УФН 92 105 (1967); Abroyan I A, Eremeev M A, Petrov N N Sov. Phys. Usp. 10 332 (1967)
  84. Winter H Phys. Rep. 367 387 (2002)
  85. Hagstrum H D Phys. Rev. 96 336 (1954)
  86. Woodruff D P Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. 194 639 (1982)
  87. Bertrand P et al Surf. Sci. 68 108 (1977)
  88. Ackermans P A J et al Surf. Sci. 227 361 (1990)
  89. Wittmaack K Surf. Sci. 345 110 (1996)
  90. Tolstogouzov A et al Surf. Sci. 466 127 (2000)
  91. Rabalais J W et al J. Chem. Phys. 83 6489 (1985)
  92. Kasi S R et al Surf. Sci. Rep. 10 1 (1989)
  93. Buck T M et al Phys. Rev. B 48 774 (1993)
  94. Cortenraad R et al Appl. Surf. Sci. 146 69 (1999)
  95. Rusch T W, Erickson R L J. Vac. Sci. Technol. 13 374 (1976)
  96. Rusch T W, Erickson R L Inelastic Ion-Surface Collisions (Eds N H Tolk et al) (New York: Academic Press, 1977)
  97. 24th Intern. Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions, IISC-24, September 10-15, 2023, Charleston, South Carolina; https://scienceweb.clemson.edu/iisc24/iisc-history/
  98. Tolk N et al Phys. Rev. Lett. 36 747 (1976)
  99. Christensen D L et al Chem. Phys. Lett. 44 8 (1976)
  100. Helbig H F, Adelmann P J J. Vac. Sci. Technol. 14 488 (1977)
  101. Christensen D L et al Nucl. Instrum. Meth. 149 587 (1978)
  102. Zartner A, Taglauer E, Heiland W Phys. Rev. Lett. 40 1259 (1978)
  103. Helbig H F, Orvek K J Nucl. Instrum. Meth. 170 505 (1980)
  104. Mikhailov S N, van den Oetelaar L C A, Brongersma H H Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 93 210 (1994)
  105. Goebl D et al J. Phys. Condens. Matter 25 485006 (2013)
  106. Erickson R L, Smith D P Patent 3,9290,989 dated Nov. 18 (1975)
  107. Vaníčková E, Průša S, Šikola T Surf. Sci. Spectra 30 024201 (2023)
  108. Vaníčková E, Průša S, Šikola T Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 553 165385 (2024)
  109. Tolstogouzov A et al Surf. Sci. 531 95 (2003)
  110. Tolstogouzov A, Daolio S, Pagura C Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 217 246 (2004)
  111. Canário A R et al Phys. Rev. B 71 121401 (2005)
  112. Hecht T et al Phys. Rev. Lett. 84 2517 (2000)
  113. Taglauer E et al Phys. Rev. Lett. 45 740 (1980)
  114. Borisov A G et al Phys. Rev. B 54 17166 (1996)
  115. Gainullin I K Surf. Sci. 677 324 (2018)
  116. Romero M A, Iglesias-García A, García E A Surf. Sci. 721 122070 (2022)
  117. Koppers W R et al Phys. Rev. B 57 13246 (1998)
  118. Heiland W, Taglauer E Nucl. Instrum. Meth. 132 535 (1976)
  119. Бабенко П Ю, Микушкин В М, Шергин А П ЖТФ 75 (12) 82 (2005); Babenko P Yu, Mikoushkin V M, Shergin A P Tech. Phys. 50 1617 (2005)
  120. Hagstrum H D Inelastic Ion-Surface Collisions (Eds N H Tolk et al) (New York: Academic Press, 1977)
  121. MacDonald R J, O'Connor D J Surf. Sci. 124 423 (1983)
  122. Bertrand P, Pierson E, Beuken J M Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 33 396 (1988)
  123. Tolstogouzov A, Daolio S, Pagura C Surf. Sci. 441 213 (1999)
  124. Бабенко П Ю, Шергин А П ЖТФ 79 (7) 32 (2009); Babenko P Yu, Shergin A P Tech. Phys. 54 958 (2009)
  125. Xu F et al Phys. Rev. A 57 1096 (1998)
  126. Draxler M et al Phys. Rev. A 68 022901 (2003)
  127. Markin S N et al Phys. Rev. B 78 195122 (2008)
  128. LEIS Energy Calculator. Institut für Angewandte Physik. Technische Univ. Wien, https://www2.iap.tuwien.ac.at/www/surface/leis
  129. SRIM - The Stopping and Range of Ions in Matter, http://srim.org
  130. Robinson M T, Torrens I M Phys. Rev. B 9 5008 (1974)
  131. Yamamura Y, Kimura H Surf. Sci. 185 L475 (1987)
  132. Robinson M, Torrens I Phys. Rev. B 9 5008 (1974)
  133. Robinson M T J. Nucl. Mater. 103 525 (1981)
  134. Mutzke A et al SDTrimSP Version 7.00. IPP Report 2024-06 (Greifswald: IPP, 2024)
  135. Shulga V I Radiation Effects 70 65 (1983)
  136. Bykov V et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 114 371 (1996)
  137. Мелузова Д С и др Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (4) 74 (2019); Meluzova D S et al J. Surf. Investig. 13 335 (2019)
  138. Babenko P Yu et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 406 460 (2017)
  139. Thompson A P et al Comput. Phys. Commun. 271 108171 (2022)
  140. Karolewski M A Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 230 402 (2005)
  141. Johnson P R, Sosolik C E Comput. Phys. Commun. 280 108479 (2022)
  142. Соловьев А В, Толстогузов А Б ЖТФ 57 953 (1987); Solov'ev A V, Tolstoguzov A B Sov. Phys. Tech. Phys. 32 580 (1987)
  143. IQE 12/38 Wien Filter. SPECS Group, https://www.specs-group.com/specs/products/detail/iqe-1238-wien-filter/
  144. Афанасьев В П, Явор С Я Электростатические энергоанализаторы для пучков заряженных частиц (М.: Наука, 1978)
  145. ESCALAB QXi XPS Microprobe. Thermo Fisher Scientific Inc, https://www.thermofisher.com/ru/ru/home/electron-microscopy/products/xps-instruments/escalab.html
  146. Teodoro O M N D, Silva J A M C, Moutinho A M C Vacuum 46 1205 (1995)
  147. Волков С С и др Электронная промышленность (5) 42 (1987)
  148. Кессельман Л А, Томашевский А Г Электронная промышленность (11-12) 102 (1978)
  149. McKinney US Patent 4,117,322 dated Sept. 26 (1978)
  150. Gisler E, Bas E B Vacuum 36 715 (1986)
  151. Brongersma H H et al Rev. Sci. Instrum. 49 707 (1978)
  152. Hellings G J A et al Surf. Sci. 162 913 (1985)
  153. Ackermans P A J et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 35 541 (1988)
  154. Brongersma H H et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 190 11 (2002)
  155. Schultz J A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 118 758 (1996)
  156. Schultz J A, Schmidt H K US Patent 5,087,815 dated Feb. 11 (1992)
  157. Linnarsson M K et al Rev. Sci. Instrum. 83 095107 (2012)
  158. Sortica M A et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 463 16 (2020)
  159. Brongersma H H et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 142 377 (1998)
  160. Ackermans P A J, Krutzen G C R, Brongersma H H Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 45 384 (1990)
  161. Jacobs J-P et al J. Vac. Sci. Technol A 12 2308 (1994)
  162. Průša S et al Surf. Sci. Spectra 27 024201 (2020)
  163. Wilson R G, Stevie F A, Magee C W Secondary Ion Mass Spectrometry: a Practical Handbook for Depth Profiling and Bulk Impurity Analysis (New York: J. Wiley and Sons, 1989)
  164. Wilson R G Int. J. Mass Spectrom. Ion Proces. 143 43 (1995)
  165. Drozdov M N et al Thin Solid Films 607 25 (2016)
  166. Zhao H et al IEEE J. Select. Topics Quantum Electron. 31 7900208 (2025)
  167. Karpuzov D S Surf. Sci. 45 342 (1974)
  168. Poelsema B, Verheij L K, Boers A L Surf. Sci. 133 344 (1983)
  169. Hecht D, Strehblow H-H J. Electroanal. Chem. 436 109 (1997)
  170. Welton T Chem. Rev. 99 2071 (1999)
  171. Мажаров П А, Дудников В Г, Толстогузов А Б УФН 190 1293 (2020); Mazarov P, Dudnikov V G, Tolstoguzov A B Phys. Usp. 63 1219 (2020)
  172. Yang P et al J. Chem. Phys. 135 034502 (2011)
  173. Caporali S, Bardi U, Lavacchi A J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 151 4 (2006)
  174. Villar-Garcia I J et al Chem. Sci. 5 4404 (2014)
  175. Andersson G, Ridings C Chem. Rev. 114 8361 (2014)
  176. Kumar A, Andersson G G Adv. Colloid Interface Sci. 333 103302 (2024)
  177. Almeida R M et al J. Non-Cryst. Solids 385 124 (2014)
  178. Виттмаак К Распыление под действием бомбардировки частицами III. Характеристики распыленных частиц, применения в технике (Под ред. Р Бериша, К Виттмака) (М.: Мир, 1998); Пер. с англ. яз., Wittmaack K Sputtering by Particle Bombardment III. Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications (Topics in Applied Physics) Vol. 64 (Eds R Behrisch, K Wittmaack) (Berlin: Springer, 1991) p. 161
  179. Fujimoto T, Iiyama M, Nakamura T European Patent EP 0646786 dated Sept. 29 (1993)
  180. Quantitative top atomic layer characterisation. The Qtac. ONTOF GmbH, https://www.iontof.com/qtac-low-energy-ion-scattering-leis-surface-analysis.html
  181. Bare S R et al Surf. Sci. 648 376 (2016)
  182. Šik O et al Vacuum 152 138 (2018)
  183. ARXPS, Depth Profiling, XPD. SPECS Group, https://www.specsgroup.com/specsgroup/knowledge/methods/detail/arxps-depth-profiling-xpd/
  184. Андерсен Х, Бай Х Распыление твердых тел ионной бомбардировкой I. Физическое распыление одноэлементных твердых тел (Под ред. Р Бериша) (М.: Мир, 1984); Пер. с англ. яз., Andersen H H, Bay H Sputtering by Particle Bombardment I. Physical Sputtering of Single-Element Solids (Topics in Applied Physics) Vol. 47 (Ed. R Behrisch) (Berlin: Springer, 1981) p. 145
  185. Rousset J L, Renouprez A J, Cadrot A M Phys Rev. B 58 2150 (1998)
  186. Rafati A, ter Veen R, Castner D G Surf. Interface Anal. 45 1737 (2013)
  187. Kolíbal M et al Surf. Sci. 566-568 885 (2004)
  188. Dittmar K et al Surf. Interface Anal. 49 1175 (2017)
  189. Valpreda A et al J. Vac. Sci. Technol. A 41 043203 (2023)
  190. Аристархова А А и др Письма в ЖТФ 15 (19) 81 (1989)
  191. Аристархова А А и др Письма в ЖТФ 16 (2) 43 (1990)
  192. Волков С С, Китаева Т И, Николин С В Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования (10) 94 (2024); Volkov S S, Kitaeva T I, Nikolin S V J. Surf. Investig. 18 1233 (2024)
  193. Мамедов Н В и др Известия РАН. Сер. физ. 76 764 (2012); Mamedov N V et al Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 76 683 (2012)
  194. Mamedov N V et al Vacuum 148 248 (2018)
  195. Мамедов Н В, Мамедов И М Известия РАН. Сер. физ. 84 863 (2020); Mamedov N V, Mamedov I M Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 84 713 (2020)
  196. Бабенко П Ю, Шергин А П Письма в ЖТФ 33 (9) 37 (2007); Babenko P Yu, Shergin A P Tech. Phys. Lett. 33 377 (2007)
  197. Волков С С, Рутковский С В, Толстогузов А Б Электронная промышленность (10-11) 41 (1982)
  198. Rabalais J W Critical Rev. Solid State Mater. Sci. 14 319 (1988)
  199. Rabalais J W Science 250 521 (1990)
  200. Волков С С и др Электронная промышленность (5) 42 (1987)
  201. Borisov A M, Mashkova E S, Molchanov V A Phys. Lett. A 66 129 (1978)
  202. Mitrovic B C, O'Connor D J, Shen Y G Surf. Rev. Lett. 5 599 (1998)
  203. Bastasz R et al Surf. Sci. 571 31 (2004)
  204. Синельников Д Н и др "Анализ изотопов водорода на поверхности вольфрама с помощью спектроскопии малоуглового ионного рассеяния" Проблемы термоядерной энергетики и плазменные технологии, Материалы III Международ. конф., 16-21 октября 2023, Таруса (М.: Изд. дом МЭИ, 2023) с. 100; https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54792663
  205. Spectroscopy vs. Spectrometry, Verichek Technical Services, https://verichek.net/spectroscopy-vs-spectrometry.html
  206. https://goldbook.iupac.org/terms/view/S05848
  207. Бабенко П Ю и др Письма в ЖТФ 48 (14) 10 (2022); Babenko P Yu et al Tech. Phys. Lett. 48 (7) 50 (2022)
  208. Verbeek H, Eckstein W, Bhattacharya R S J. Appl. Phys. 51 1783 (1980)
  209. Бабенко П Ю, Михайлов В С, Зиновьев А Н Письма в ЖЭТФ 117 723 (2023); Babenko P Yu, Mikhailov V S, Zinoviev A N JETP Lett. 117 725 (2023)
  210. Киттель Ч Введение в физику твердого тела (М.: Наука, 1978), пер. 5-го англ. изд.; Kittel C Introduction to Solid State Physics 8th ed. (Hoboken, NJ: J. Wiley and Sons, 2005)
  211. Rabalais J W Surf. Sci. 299-300 219 (1994)
  212. Masson F, Rabalais J W Chem. Phys. Lett. 179 63 (1991)
  213. Shi M, Wang Y, Rabalais J W Phys. Rev. B 48 1689 (1993)
  214. Bolotin I L et al Surf. Sci. 472 205 (2001)
  215. Rabalais J W Analytical Chem. 73 206A (2001)
  216. Bykov V, Houssiau L, Rabalais J W J. Phys. Chem. B 104 6340 (2000)
  217. Bolotin I L, Houssiau L, Rabalais J W J. Chem. Phys. 112 7181 (2000)
  218. Houssiau L et al J. Chem. Phys. 110 8139 (1999)
  219. Moisson J M, Bensoussan M J. Vac. Sci. Technol. 21 315 (1982)
  220. Aono M et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res B 37-38 264 (1989)
  221. Aono M, Katayama M "Impact collision ion scattering spectroscopy" Compendium of Surface and Interface Analysis (Singapore: Springer, 2018) p. 275
  222. Miret-Artés S, Pollak E Surf. Sci. Rep. 67 161 (2012)
  223. Юрасова В Е, Карпузов Д С ФТТ 9 2508 (1967)
  224. Tiwald P et al Phys. Rev. B 82 125453 (2010)
  225. Babenko P Yu et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 406 460 (2017)
  226. Бабенко П Ю и др ЖЭТФ 155 612 (2019); Babenko P Yu et al J. Exp. Theor. Phys. 128 523 (2019)
  227. Hulpke E, Mann K Surf. Sci. 133 171 (1983)
  228. Tenner A D et al Surf. Sci. 172 121 (1986)
  229. Tongson L L, Cooper C B Surf. Sci. 52 263 (1975)
  230. Wallington M J J. Phys. E 4 1 (1971)
  231. Аристархова А А и др Письма в ЖТФ 17 (4) 81 (1991)
  232. Волков С С, Путилин И К Известия РАН. Сер. физ. 62 2026 (1998)
  233. Gordon M J, Giapis K P Rev. Sci. Instrum. 76 083302 (2005)
  234. Tolstogouzov A, Daolio S, Pagura C Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 183 116 (2001)
  235. Gordon M J, Mace J, Giapis K P Phys. Rev A 72 012904 (2005)
  236. Kutana A, Gordon M J, Giapis K P Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 248 16 (2006)
  237. Rezayat T, Shukla A K Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 264 400 (2007)
  238. Johnson P R, Sosolik C E Comput. Phys. Commun. 280 108479 (2022)
  239. Yang M C et al Surf. Sci. 357-358 595 (1996)
  240. Dahl E B et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 125 237 (1997)
  241. Векслер В И ЖЭТФ 49 90 (1965); Veksler V I Sov. Phys. JETP 22 65 (1966)
  242. Ferleger V Kh, Wojciechowski I A Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 164-165 641 (2000)
  243. Smith R (Ed.) Atomic and Ion Collisions in Solids and at Surfaces: Theory Simulation and Applications (Cambridge: Cambridge Univ. Press, 1997)
  244. Губин С П Химия кластеров: Основы классификации и стоение (М.: Наука, 1987)
  245. Аристархова А А и др Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (7) 27 (2006)
  246. Bundaleski N et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 256 86 (2007)
  247. Grundner M, Heiland W, Taglauer E Appl. Phys. 4 243 (1974)
  248. Bernheim M, Slodzian G Nucl. Instrum. Meth. 132 615 (1976)
  249. Schultz J A, Kumar R, Rabalais J W Chem. Phys. Lett. 100 214 (1983)
  250. Толстогузов А Б и др Письма в ЖТФ 42 (17) 70 (2016); Tolstoguzov A B et al Tech. Phys. Lett. 42 915 (2016)
  251. Wittmaack K Phys. Rev. B 56 R5701 (1997)
  252. Wittmaack K J. Vac. Sci. Technol. A 15 2557 (1997)
  253. Franzreb K et al Surf. Interface Anal. 26 597 (1998)
  254. Franzreb K, Williams P Appl. Surf. Sci. 203-204 98 (2003)
  255. Products. Hiden Analytical, https://www.hidenanalytical.com/products/
  256. Tolstogouzov A et al Int. J. Mass Spectrom. 214 327 (2002)
  257. Толстогузов А Б, Гусев С И, Fu D J Письма в ЖТФ 49 (1) 35 (2023); Tolstoguzov A B, Gusev S I, Fu D J Tech. Phys. Lett. 49 (1) 32 (2023)
  258. Daolio S, Pagura C, Tolstogouzov A Appl. Surf. Sci. 222 166 (2004)
  259. De Ruitz M Monete a Venezia nel tardo Medioevo. Un ritorno alle fonti (Treviso: Canova, 2001)
  260. Tolstogouzov A B, Greenwood C L Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (12) 33 (2002)
  261. Bardi U et al Appl. Surf. Sci. 252 7373 (2006)
  262. Tondare V N J. Vac. Sci. Technol. A 23 1498 (2005)
  263. Hill R, Notte J, Ward B Phys. Proced. 1 135 (2008)
  264. Sijbrandij S et al J. Vac. Sci. Technol. B 26 2103 (2008)
  265. Sijbrandij S et al J. Vac. Sci. Technol. B 28 73 (2010)
  266. Klingner N et al Ultramicroscopy 162 91 (2016)
  267. Newbury D E Scanning 27 227 (2005)
  268. Grachev S Y et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 219-220 593 (2004)
  269. Wang Y et al J. Nucl. Mater. 593 154975 (2024)
  270. Efimov N et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 546 165177 (2024)
  271. Efimov N et al Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B 567 165823 (2025)
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение