Выпуски

 / 

2022

 / 

Июль

  

Приборы и методы исследований


Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

  а,   б, в, г,  д,  в,  а
а Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация
б Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация
в Wuhan University, Wuhan, Hubei Province, China
г Universidade Nova de Lisboa, Campus de Campolide, Lisboa, 1099-085, Portugal
д Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
Ключевые слова: кластеры, газовые кластерные ионы, источники ионов, сверхзвуковые потоки, ионизация, масс-сепарация, распыление, самоорганизация, ионная имплантация, РФЭС, МСВИ
PACS: 29.25.Ni, 36.40.−c, 41.75.−i, 68.49.Sf (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/
Цитата: Иешкин А Е, Толстогузов А Б, Коробейщиков Н Г, Пеленович В О, Черныш В С "Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач" УФН 192 722–753 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 23 марта 2021, доработана: 20 мая 2021, 7 июня 2021

English citation: Ieshkin A E, Tolstoguzov A B, Korobeishchikov N G, Pelenovich V O, Chernysh V S “Gas-dynamic sources of cluster ions for basic and applied researchPhys. Usp. 65 (7) (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.06.038994

© Успехи физических наук, 1918–2022
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение