Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач
А.Е. Иешкин†а,
А.Б. Толстогузов‡б,в,г,
Н.Г. Коробейщиковд,
В.О. Пеленовичв,
В.С. Черныша аМосковский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация бРязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина, ул. Гагарина 59/1, Рязань, 390005, Российская Федерация вWuhan University, Wuhan, Hubei Province, China гUniversidade Nova de Lisboa, Campus de Campolide, Lisboa, 1099-085, Portugal дНовосибирский национальный исследовательский государственный университет, Академгородок, ул. Пирогова 2, Новосибирск, 630090, Российская Федерация
Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.
@article{Ieshkin:2022,author = {A. E. Ieshkin and A. B. Tolstoguzov and N. G. Korobeishchikov and V. O. Pelenovich and V. S. Chernysh},title = {Gas-dynamic sources of cluster ions for basic and applied research},publisher = {Uspekhi Fizicheskikh Nauk},year = {2022},journal = {Usp. Fiz. Nauk},volume = {192},number = {7},pages = {722-753},url = {https://ufn.ru/ru/articles/2022/7/b/},doi = {10.3367/UFNr.2021.06.038994}}
Поступила: 23 марта 2021, доработана: 20 мая 2021, одобрена в печать: 7 июня 2021