Выпуски

 / 

2022

 / 

Октябрь

  

Приборы и методы исследований


Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы

 
Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.

Текст: pdf (Полный текст предоставляется по подписке)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026
Ключевые слова: спектроскопия, плазма, равновесие
PACS: 29.30.−h, 52.25.Os, 52.70.−m (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.07.039026
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/
001112536300004
2-s2.0-85182907351
2022PhyU...65.1071O
Цитата: Очкин В Н "Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы" УФН 192 1145–1178 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks
Русский English
RT Journal
T1 Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы
A1 Очкин,В.Н.
PB Успехи физических наук
PY 2022
FD 10 Oct, 2022
JF Успехи физических наук
JO Усп. физ. наук
VO 192
IS 10
SP 1145-1178
DO 10.3367/UFNr.2021.07.039026
LK https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/

Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, 23 июля 2021

English citation: Ochkin V N “Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasmaPhys. Usp. 65 1071–1103 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение