Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.

Ключевые слова: спектроскопия, плазма, равновесие PACS: 29.30.−h, 52.25.Os, 52.70.−m (все) DOI: 10.3367/UFNr.2021.07.039026 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/ 001112536300004 2-s2.0-85182907351 2022PhyU...65.1071O Цитата: Очкин В Н "Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы" УФН 192 1145–1178 (2022) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks Русский English RT Journal T1 Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы A1 Очкин,В.Н. PB Успехи физических наук PY 2022 FD 10 Oct, 2022 JF Успехи физических наук JO Усп. физ. наук VO 192 IS 10 SP 1145-1178 DO 10.3367/UFNr.2021.07.039026 LK https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/ Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, одобрена в печать: 23 июля 2021 English citation: Ochkin V N “Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasma” Phys. Usp. 65 1071–1103 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026