Выпуски

 / 

2022

 / 

Октябрь

  

Приборы и методы исследований


Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы

 
Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.

Текст: pdf (Полный текст предоставляется по подписке)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026
Ключевые слова: спектроскопия, плазма, равновесие
PACS: 29.30.−h, 52.25.Os, 52.70.−m (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.07.039026
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/
001112536300004
2-s2.0-85182907351
2022PhyU...65.1071O
Цитата: Очкин В Н "Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы" УФН 192 1145–1178 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks
Русский English
RT Journal
T1 Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasma
A1 Ochkin,V.N.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 2022
FD 10 Oct, 2022
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JO Usp. Fiz. Nauk
VO 192
IS 10
SP 1145-1178
DO 10.3367/UFNr.2021.07.039026
LK https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/

Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, 23 июля 2021

English citation: Ochkin V N “Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasmaPhys. Usp. 65 1071–1103 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение