RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2022

 / 

Октябрь

←  →

Приборы и методы исследований


Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы

† 
Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация

Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.

Текст: pdf (Полный текст предоставляется по подписке)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026
Ключевые слова: спектроскопия, плазма, равновесие
PACS: 29.30.−h, 52.25.Os, 52.70.−m (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.07.039026
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/
001112536300004
2-s2.0-85182907351
2022PhyU...65.1071O
Цитата: Очкин В Н "Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы" УФН 192 1145–1178 (2022)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, 23 июля 2021

English citation: Ochkin V N “Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasma” Phys. Usp. 65 1071–1103 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026

Список литературы (281) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (6) Похожие статьи (13)

  1. Фортов В Е (Гл. ред.), Очкин В Н (Отв. ред.) Энциклопедия низкотемпературной плазмы Сер. Б Справочные приложения, базы и банки данных Т. 3-2 Термодинамические, оптические и транспортные свойства низкотемпературной плазмы Ч. 1 Оптические свойства низкотемпературной плазмы (М.: Янус-К, 2008) с. 1
  2. Lochte-Holtgreven W (Ed.) Plasma Diagnostics (Amsterdam: North-Holland, 1968)
  3. Прохоров А М (Гл. ред.) Физический энциклопедический словарь (М.: Сов. энциклопедия, 1984)
  4. Арцимович Л А, Сагдеев Р З Физика плазмы для физиков (М.: Атомиздат, 1979)
  5. Бернацкий А В, Кочетов И В, Очкин В Н Физика плазмы 46 783 (2020); Bernatskiy A V, Kochetov I V, Ochkin V N Plasma Phys. Rep. 46 874 (2020)
  6. Griem H R Plasma Spectroscopy (New York: McGraw-Hill, 1964)
  7. Thorne A, Litzén U, Johansson S Spectrophysics: Principles and Applications (Berlin: Springer, 1999)
  8. Fujimoto T Plasma Spectroscopy (Oxford: Clarendon Press, 2004)
  9. Фриш С Э (Отв. ред.) Спектроскопия газоразрядной плазмы (Л.: Наука, 1970)
  10. Словецкий Д И Механизмы химических реакций в неравновесной плазме (М.: Наука, 1980)
  11. Ochkin V N Spectroscopy of Low Temperature Plasma (Weinheim: Wiley-VCH Verlag, 2009)
  12. Fantz U Plasma Sources Sci. Technol. 15 S137 (2006)
  13. Chen F F, Chang J P Lecture Notes on Principles of Plasma Processing (New York: Kluwer Acad., Plenum Publ., 2003)
  14. Engeln R, Klarenaar B, Guaitella O Plasma Sources Sci. Technol. 29 063001 (2020)
  15. Peverall R, Ritchie G A D Plasma Sources Sci. Technol. 28 073002 (2019)
  16. Lange H, Bussiahn R Proc. SPIE 4460 177 (2002)
  17. Reuter S et al Plasma Sources Sci. Technol. 24 054001 (2015)
  18. Lu X et al Phys. Rep. 630 1 (2016)
  19. Reuter S, von Woedtke T, Weltmann K-D J. Phys. D 51 233001 (2018)
  20. Iseki S et al Appl. Phys. Express 4 116201 (2011)
  21. Zhang K et al Crit. Rev. Food Sci. Nutr. 59 812 (2019)
  22. Röpcke J et al Plasma Sources Sci. Technol. 15 S148 (2006)
  23. Hori M, Goto T Appl. Surf. Sci. 192 135 (2002)
  24. Podmar'kov Yu P, Raspopov N A, Frolov M P Proc. SPIE 4460 188 (2002)
  25. Wang C J. Anal. At. Spectrom. 22 1347 (2007)
  26. Maity A, Maithani S, Pradhan M Anal. Chem. 93 388 (2021)
  27. Ochkin V N et al IEEE Trans. Plasma Sci. 26 1502 (1998)
  28. Kiefer J, Ewart P Prog. Energy Combust. Sci. 37 525 (2011)
  29. Wiese W L, Smith M W, Miles B M Atomic Transition Probabilities Vol. 2 Sodium through Calcium. A Critical Data Compilation (NSRDS-NBS, 22) (Washington, DC: US Department of Commerce, National Bureau of Standards, 22)
  30. Ochkin V N, Savinov S Yu, Sobolev N N Electron-Excited Molecules in Nonequilibrium Plasma (Eds N N Sobolev) (Commack, NY: Nova Science Publ., 1989) p. 7
  31. Herzberg G Molecular Spectra and Molecular Structure 1. Spectra of Diatomic Molecules (New York: Van Nostrand, 1951)
  32. Herzberg G Molecular Spectra and Molecular Structure Vol. 2 Infrared and Raman Spectra of Polyatomic Molecules (New York: Prentice-Hall, 1945); Пер. на русск. яз., Герцберг Г Колебательные и вращательные спектры многоатомных молекул (М.: ИЛ, 1949)
  33. Глушко В П (Отв. ред.) Термодинамические свойства индивидуальных веществ (М.: Наука, 1978)
  34. Микаберидзе А А, Очкин В Н, Соболев Н Н J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transf. 12 169 (1972)
  35. Летохов В С (Отв. ред.) Лазерная аналитическая спектроскопия (М.: Наука, 1986)
  36. Копылов С М и др Перестраиваемые лазеры на красителях и их применения (М.: Радио и связь, 1991)
  37. Witteman W J Detection and Signal Processing: Technical Realization (Berlin: Springer, 2006)
  38. Очкин В Н Физика плазмы 41 381 (2015); Ochkin V N Plasma Phys. Rep. 41 350 (2015)
  39. Mitchell A C G, Zemansky M W Resonance Radiation and Excited Atoms (Cambridge: The Univ. Press, 1934); Пер. на русск. яз., Митчелл А, Земанский М Резонансное излучение и возбужденные атомы (М.: ГТТЛ, 1937)
  40. Герасимов Г Н и др УФН 162 (5) 123 (1992); Gerasimov G N et al Sov. Phys. Usp. 35 400 (1992)
  41. Лебедева В В Энциклопедия низкотемпературной плазмы Сер. Б Справочные приложения, базы и банки данных Т. 3-2 Термодинамические, оптические и транспортные свойства низкотемпературной плазмы Ч. 1 Оптические свойства низкотемпературной плазмы (Гл. ред. В Е Фортов, отв. ред. В Н Очкин) (М.: Янус-К, 2008) с. 469
  42. Ломаев М И и др УФН 173 201 (2003); Lomaev M I et al Phys. Usp. 46 193 (2003)
  43. Hori M, Kondo H, Hiramatsu M J. Phys. D 44 174027 (2011)
  44. Sousa J S, Puech V J. Phys. D 46 464005 (2013)
  45. Огурцова Н Н, Подмошенский И В Низкотемпературная плазма. Труды Международного симпозиума по свойствам и применению низкотемпературной плазмы при XX Международном конгрессе по теоретической и прикладной химии, Москва, июль 15 - 17, 1965 (Под ред. А Е Шейндлина) (М.: Мир, 1967) с. 432
  46. Митько C В и др Краткие сообщения по физике ФИАН (11) 47 (1989)
  47. Wang H et al J. Phys. D 51 035203 (2018)
  48. Kern C et al Appl. Opt. 45 2077 (2006)
  49. Тернов И М УФН 165 429 (1995); Ternov I M Phys. Usp. 38 409 (1995)
  50. Dedrick J et al J. Phys. D 50 455204 (2017)
  51. Hall J L Rev. Mod. Phys. 78 1279 (2006)
  52. Udem Th, Holzwarth R, Hänsch T W Nature 416 233 (2002)
  53. Желтиков А М УФН 176 623 (2006); Zheltikov A M Phys. Usp. 49 605 (2006)
  54. Багаев С Н, Чеботаев В П УФН 148 143 (1986); Bagaev S N, Chebotaev V P Sov. Phys. Usp. 29 82 (1986)
  55. Adler F et al Annu. Rev. Anal. Chem. 3 175 (2010)
  56. Gotti R et al J. Chem. Phys. 148 054202 (2018)
  57. Picqué N, Hänsch T W Nat. Photon. 13 146 (2019)
  58. Griffiths P R, de Haseth J A Fourier Transform Infrared Spectrometry (Hoboken, NJ: Wiley-Interscience, 2007)
  59. Telle H R et al Appl. Phys. B 69 327 (1999)
  60. Zimmermann M et al Opt. Lett. 29 310 (2004)
  61. Дианов Е М, Крюков П Г Квантовая электроника 31 877 (2001); Dianov E M Kryukov P G Quantum Electron. 31 877 (2001)
  62. Schliesser А, Picqué N, Hänsch T W Nat. Photon. 6 440 (2012)
  63. Weichman M L et al J. Mol. Spectrosc. 355 66 (2019)
  64. Link S M et al Science 356 1164 (2017)
  65. Shelton R K et al Science 293 1286 (2001)
  66. Niermann B et al J. Phys. D 45 245202 (2012)
  67. Golkowski M et al IEEE Trans. Plasma Sci. 40 1984 (2012)
  68. Durocher-Jean А et al J. Phys. D 54 085204 (2021)
  69. Murnick D E, Peer B J Science 263 945 (1994)
  70. Chernin S M J. Mod. Opt. 48 619 (2001)
  71. Пахомычева Л А и др Письма в ЖЭТФ 12 60 (1970); Pakhomycheva L A et al JETP Lett. 12 43 (1970)
  72. Baev V M, Latz T, Toshek P E Appl. Phys. B 69 171 (1999)
  73. Очкин В Н, Распопов Н А Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том Кн. 2 (Гл. ред. В Е Фортов, ред.-сост. А Ф Александров и др) (М.: Наука, 2000) с. 583
  74. Crosson E R et al Anal. Chem. 74 2003 (2002)
  75. Nikolaev I V et al Spectrochim. Acta A 66 832 (2007)
  76. Lagunov V V, Nikolaev I V, Ochkin V N Spectrochim. Acta A 246 119060 (2021)
  77. Аневский С И и др Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том Кн. 2 (Гл. ред. В Е Фортов, ред.-сост. А Ф Александров и др) (М.: Наука, 2000) с. 532
  78. Oda T, Ono R Proc. SPIE 4460 263 (2002)
  79. Salmon J T, Laurendeau N M Appl. Opt. 26 2881 (1987)
  80. Andresen P et al Appl. Opt. 27 365 (1988)
  81. Niemi K, Schulz-von der Gathen V, Döbele H F J. Phys. D 34 2330 (2001)
  82. Doebele H F, Niemi K, Sculz-von Der Gathen V p. 71
  83. Elliott D, Scime E, Short Z Rev. Sci. Instrum. 87 11E504 (2016)
  84. Curry J J et al Proc. of the X Intern. Conf. on Laser-Aided Plasma Diagnostics, Fukuoka, Japan, 2001 p. 362
  85. Очкин В Н и др УФН 148 473 (1986); Ochkin V N et al Sov. Phys. Usp. 29 260 (1986)
  86. Ochkin V N, Preobrazhensky N G, Shaparev N Ya Optogalvanic Effect in Ionized Gas (London - Moscow - Amsterdam: Lebedev Physical Institute. Foundation for Intern. Scientific and Education Cooperation, distributed by Gordon and Breach, 1999)
  87. Александров Н Л, Напартович А П УФН 163 (3) 1 (1993); Aleksandrov N L, Napartovich A P Phys. Usp. 36 107 (1993)
  88. Лебедев В С, Пресняков Л П, Собельман И И УФН 173 491 (2003); Lebedev V S, Presnyakov L P, Sobel'man I I Phys. Usp. 46 473 (2003)
  89. Shibagaki K, Sasaki K J. Phys. D 41 195204 (2008)
  90. Kim M AIP Scilight 21 (2019)
  91. Wu Y, Zhang Z Appl. Opt. 54 157 (2015)
  92. Лансберг Г С Оптика (М.: Наука, 1976)
  93. Kronig R de L J. Opt. Soc. Am. 12 547 (1926)
  94. Kramers H A Atti Congresso Int. Fisici, Como (Trans. Volta Centenary Congress, Como) 2 545 (1927)
  95. Киржниц Д А УФН 152 399 (1987); Kirzhnits D A Sov. Phys. Usp. 30 575 (1987)
  96. Engeln R et al J. Chem. Phys. 107 4458 (1997)
  97. Westberg J, Wysocki G Appl. Phys. B 123 168 (2017)
  98. Gianella M et al J. Chem. Phys. 151 124202 (2019)
  99. Miles R B, Lempert W R, Forkey J N Meas. Sci. Technol. 12 R33 (2001)
  100. Boyd R W Nonlinear Optics (Boston: Academic Press, 1992)
  101. Ахманов С А, Коротеев Н И Методы нелинейной оптики в спектроскопии рассеяния света: Активная спектроскопия рассеяния света (М.: Наука, 1981)
  102. Животов В К, Русанов В Д, Фридман А А Диагностика неравновесной химически активной плазмы (М.: Энергоатомиздат, 1985)
  103. Kiefer J, Ewart P Prog. Energy Combust. Sci. 37 525 (2011)
  104. Eckbreth A C Laser Diagnostics for Combustion Temperature and Species (Amsterdam: Gordon and Breach, 1996)
  105. Schrötter H W, Klöckner H W Raman Spectroscopy of Gases and Liquids (Topics in Current Physics) Vol. 11 (Ed. A Weber) (Berlin: Springer-Verlag, 1979) p. 123
  106. Regnier P R, Moya F, Taran J P E AIAA J. 12 826 (1974)
  107. Prior Y Appl. Opt. 19 1741 (1980)
  108. Nibler J W, Knighten G V Raman Spectroscopy of Gases and Liquids (Topics in Current Physics) Vol. 11 (Ed. A Weber) (Berlin: Springer-Verlag, 1979) p. 253
  109. Massabieaux B et al J. Phys. France 48 1939 (1987)
  110. Péalat М et al J. Chem. Phys. 82 4943 (1985)
  111. Doerk T et al Opt. Commun. 118 637 (1995)
  112. Ono R J. Phys. D 49 083001 (2016)
  113. Stauffer H U et al J. Chem. Phys. 145 124308 (2016)
  114. Очкин В Н, Цхай С Н УФН 173 1253 (2003); Ochkin V N, Tskhai S N Phys. Usp. 46 1214 (2003)
  115. Tskhai S N et al J. Raman Spectrosc. 32 177 (2001)
  116. van der Schans M et al Plasma Sources Sci. Technol. 26 115006 (2017)
  117. Goldberg B M et al Plasma Sources Sci. Technol. 25 045008 (2016)
  118. Abrams R L, Lind R C Opt. Lett. 2 94 (1978)
  119. Lucht R P, Farrow R L, Rakestraw D J J. Opt. Soc. Am. B 10 1508 (1993)
  120. Smith A P, Astill A G Appl. Phys. B 58 459 (1994)
  121. Tsay S J et al Opt. Lett. 20 1725 (1995)
  122. Nyholm K, Kaivola M, Aminoff C G Opt. Commun. 107 406 (1994)
  123. Germann G J, Rakestraw D J Science 264 1750 (1994)
  124. Reichardt T A et al Appl. Opt. 38 6951 (1999)
  125. Mischler B et al Combust. Sci. Technol. 119 375 (1996)
  126. Williams S et al J. Am. Chem. Soc. 114 9122 (1992)
  127. Walewski J et al Phys. Rev. A 64 063816 (2001)
  128. Reichardt T A, Giancola W C, Lucht R P Appl. Opt. 39 2002 (2000)
  129. Alwahabi Z T et al Eur. Phys. J. D 42 41 (2007)
  130. Sun Z W et al Appl. Phys. B 101 423 (2010)
  131. Пикалов В В Энциклопедия низкотемпературной плазмы. Вводный том Кн. 2 (Гл. ред. В Е Фортов, ред.-сост. А Ф Александров и др) (М.: Наука, 2000) с. 563
  132. Биберман Л М, Воробьев В С, Якубов И Т Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы (М.: Наука, 1982); Пер. на англ. яз., Biberman L M, Vorob'ev V S, Yakubov I T Kinetics of Nonequilibrium Low-Temperature Plasmas (New York: Consultants Bureau, 1987)
  133. Лебедева В В Техника оптической спектроскопии (М.: Изд-во Моск. ун-та, 1977)
  134. Пикалов В В, Мельникова Т С Томография плазмы (Новосибирск: Наука, 1995)
  135. Fujimoto T, Kazantsev S A Plasma Phys. Control. Fusion 39 1267 (1997)
  136. Bergert R, Mitic S Plasma Sources Sci. Technol. 28 115001 (2019)
  137. Очкин В Н, Савинов С Ю, Соболев Н Н Электронно-возбужденные молекулы в неравновесной плазме (Труды Физического института им. П.Н. Лебедева) Т. 157 (Отв. ред. Н Н Соболев) (М.: Наука, 1985) с. 6; Пер. на англ. яз., Ochkin V N, Savinov S Yu, Sobolev N N Elektron-Excited Molecules in Nonequilibrium Plasma (Proc. of the Lebedev Physics Institute of the Academy of Sciences of the USSR, Suppl. 2) Vol. 179 (Ed. N N Sobolev) (Commack, NY: Nova Science Publ., 1989) p. 6
  138. Бернацкий А В и др Физика плазмы 41 767 (2015); Bernatskiy A V et al Plasma Phys. Rep. 41 705 (2015)
  139. Behringer K, Fantz U New J. Phys. 2 23 (2000)
  140. Wünderlich D, Fantz U Atoms 4 (4) 26 (2016)
  141. Friedl R et al Plasma Sources Sci. Technol. 29 015014 (2020)
  142. Полак Л С и др Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных физико-химических процессов Вып. 2 (Отв. ред. Л С Полак) (М.: Ин-т нефтехим. синтеза им. А.В. Топчиева, 1974) с. 188
  143. Полак Л С Неравновесная химическая кинетика и ее применение (М.: Наука, 1979)
  144. Coburn J W, Chen M J. Appl. Phys. 51 3134 (1980)
  145. Bernatskiy A V, Ochkin V N, Kochetov I V J. Phys. D 49 395204 (2016)
  146. Lavrov B P et al Plasma Sources Sci. Technol. 12 576 (2003)
  147. Filippov A V et al Proc. SPIE 4450 285 (2002)
  148. Takashima S et al Appl. Phys. Lett. 75 2520 (1999)
  149. Takeuchi W et al J. Appl. Phys. 105 113305 (2009)
  150. Bokor J et al Phys. Rev. A 24 612 (1981)
  151. Magee R M et al Rev. Sci. Instrum. 83 10D701 (2012)
  152. Kulatilaka W D et al Combust. Flame 137 523 (2004)
  153. Cho D G, Han J, Moon S Y Appl. Phys. 20 550 (2020)
  154. Bernatskiy A V, Ochkin V N Plasma Sources Sci. Technol. 26 015002 (2017)
  155. Elliott D et al Rev. Sci. Instrum. 87 1E506 (2016)
  156. Galante M E, Magee R M, Scime E E Phys. Plasmas 21 055704 (2014)
  157. Lopaev D V et al J. Phys. D 50 075202 (2017)
  158. Proshina O V et al Plasma Sources Sci. Technol. 26 075005 (2017)
  159. Ibbotson D E, Flamm D L, Donnelly V M J. Appl. Phys. 54 5974 (1983)
  160. Hamann S et al Plasma Sources Sci. Technol. 23 045015 (2014)
  161. Rayar M et al J. Appl. Phys. 104 033304 (2008)
  162. Иванов В В и др Физика плазмы 26 1046 (2000); Ivanov V V et al Plasma Phys. Rep. 26 980 (2000)
  163. Takeda K et al J. Phys. D 46 464006 (2013)
  164. Gessel A F H, Grootel S C, Bruggeman P J Plasma Sources Sci. Technol. 22 055010 (2013)
  165. Teslja A, Dagdigian P J Chem. Phys. Lett. 400 374 (2004)
  166. Takeda K et al J. Phys. D 52 165202 (2019)
  167. Gragston M et al J. Appl. Phys. 125 203301 (2019)
  168. Reuter S et al Plasma Sources Sci. Technol. 21 024005 (2012)
  169. Sirotkin N A, Khlyustova A V, Titov V A Plasma Chem. Plasma Process. 40 187 (2020)
  170. Flikweert A J "Spectroscopy on metal-halide lamps under varying gravity conditions" PhD Thesis (Eindhoven: Technische Univ. Eindhoven, 2008)
  171. Tada S et al J. Appl. Phys. 88 1756 (2000)
  172. Mazouffre S et al Plasma Sources Sci. Technol. 10 168 (2001)
  173. Kuwano K et al J. Appl. Phys. 55 086101 (2016)
  174. Lelevkin V M, Otorbaev D K, Schram D C Physics of Non-Equilibrium Plasmas (Amsterdam: North-Holland, 1992)
  175. Schwabedissen A et al J. Phys. D 34 1116 (2001)
  176. Kogelschatz M, Cunge G, Sadeghi N J. Phys. D 37 1954 (2004)
  177. Franzke J, Stancu D G, Niemax K Spectrochim. Acta B 58 1359 (2003)
  178. Aramaki M et al Jpn. J. Appl. Phys. 44 6759 (2005)
  179. Rousseau A, Teboul E, Sadeghi N Plasma Sources Sci. Technol. 13 166 (2004)
  180. Wu S et al Jpn. J. Appl. Phys. 52 071301 (2013)
  181. Benedikt J et al J. Appl. Phys. 94 6932 (2003)
  182. Arkhipenko V I, Simonchik L V Proc. SPIE 4450 1 (2002)
  183. Urabe K et al J. Phys. D 43 095201 (2010)
  184. Cadot G et al IEEE Trans. Plasma Sci. 42 10 (2014)
  185. Winter J et al Plasma Sources Sci. Technol. 24 025015 (2015)
  186. Niermann B et al Eur. Phys. J. D 60 489 (2010)
  187. Ferreira C M, Tatarova E Proc. SPIE 4450 99 (2002)
  188. Schroter S et al J. Phys. D 46 464009 (2013)
  189. Es-sebbar Et et al J. Appl. Phys. 126 073302 (2019)
  190. Gazeli K et al Plasma Sources Sci. Technol. 27 065003 (2018)
  191. Hoskinson A R et al J. Appl. Phys. 119 233301 (2016)
  192. Modiano S H et al Appl. Opt. 35 21 (1996)
  193. Hubner S et al J. Appl. Phys. 113 143306 (2013)
  194. Kaupe J, Coenen D, Mitic S Plasma Sources Sci. Technol. 27 105003 (2018)
  195. Penache M C "Study of high-pressure glow discharges generated by micro-structured electrode (MSE) arrays" Dissertation zur Erlangung des Doktorgrades der Naturwissenschaften (Frankfurt am Main: Univ. in Frankfurt am Main, 2002)
  196. Makabe T J. Phys. D 52 213002 (2019)
  197. Quandt E, Kraemer I, Dobele H F Europhys. Lett. 45 32 (1998)
  198. Quandt E et al Appl. Phys. Lett. 72 2394 (1998)
  199. Grangeon F et al Plasma Sources Sci. Technol. 8 448 (1999)
  200. Pandey A et al Plasma Phys. Control. Fusion 61 065003 (2019)
  201. Fantz U, Wünderlich D New J. Phys. 8 301 (2006)
  202. Agnello R et al Nucl. Fusion 60 026007 (2020)
  203. Ohkubo T et al Proc. SPIE 4450 318 (2002)
  204. Welzel S et al Plasma Sources Sci. Technol. 20 015020 (2011)
  205. Kulatilaka W D et al Opt. Lett. 31 3357 (2006)
  206. Pipa A V et al J. Phys. D 41 194011 (2008)
  207. Pipa A V et al J. Phys. D 45 085201 (2012)
  208. Smith J A et al J. Appl. Phys. 92 672 (2002)
  209. Lempert W R Combust. Flame 73 89 (1988)
  210. Hibert C et al J. Appl. Phys. 85 7070 (1999)
  211. Dilecce G et al J. Phys. D 45 125203 (2012)
  212. Martini L M et al Plasma Process. Polym. 11 232 (2014)
  213. Очкин В Н, Савинов С Ю, Соболев Н Н Журн. прикладной 26 900 (1977); Ochkin V N, Savinov S Yu, Sobolev N N J. Appl. Spectosc. 26 647 (1977)
  214. Verreycken T et al J. Phys. D 46 464004 (2013)
  215. Winter H T et al J. Phys. D 47 285401 (2014)
  216. Verreycken T et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 055014 (2013)
  217. Wang C et al Appl. Spectrosc. 58 734 (2004)
  218. Kim S et al Meas. Sci. Technol. 14 1662 (2003)
  219. Li Z S et al Opt. Lett. 33 1836 (2008)
  220. Трубачеев Э А Газовые лазеры и их применение (Труды Физического института им. П.Н. Лебедева) Т. 102 (Отв. ред. Н Н Соболев) (М.: Наука, 1977) с. 3
  221. Hempel F et al Mol. Phys. 101 589 (2003)
  222. Luque J, Juchmann W, Jeffries J B J. Appl. Phys. 82 2072 (1997)
  223. Juchmann W, Luque J, Jeffries J B Appl. Opt. 39 3704 (2000)
  224. Wills J B et al J. Appl. Phys. 92 4213 (2002)
  225. Engeln R et al Chem. Phys. Lett. 310 405 (1999)
  226. Booth J-P et al Plasma Sources Sci. Technol. 29 115009 (2020)
  227. Busch C, Moller I, Soltwisch H Plasma Sources Sci. Technol. 10 250 (2001)
  228. Zimmermann S et al Microelectron. Eng. 88 671 (2011)
  229. Hempel F et al Plasma Sources Sci. Technol. 21 055001 (2012)
  230. Hamann S et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 055022 (2013)
  231. Puth A et al Plasma Sources Sci. Technol. 29 035001 (2020)
  232. Susuki C, Sasaki K, Kadota K Jpn. J. Appl. Phys. 37 5763 (1998)
  233. Cunge G, Kogelschatz M, Sadeghi N Plasma Sources Sci. Technol. 13 522 (2004)
  234. Lang N et al Jpn. J. Appl. Phys. 50 08JB04 (2011)
  235. Бернацкий А В, Лагунов В В, Очкин В Н Ядерная физика и 10 151 (2019); Bernatskiy A V, Lagunov V V, Ochkin V N<?tlsb> Phys. At. Nucl. 82 1382 (2019)
  236. Бернацкий А В, Лагунов В В, Очкин В Н Квантовая электроника 49 157 (2019); Bernatskiy A V, Lagunov V V, Ochkin V N Quantum Electron. 49 157 (2019)
  237. Lopatik D et al Contrib. Plasma Phys. 52 864 (2012)
  238. Vinogradov I P, Dinkelmann A, Lunk A J. Phys. D 37 3000 (2004)
  239. Hubner M et al Appl. Phys. Lett. 106 031102 (2015)
  240. Marinov D et al J. Phys. D 45 175201 (2012)
  241. Керимкулов М А и др Письма в ЖЭТФ 54 212 (1991); Kerimkulov M A et al JETP Lett. 54 208 (1991)
  242. Hempel F et al Plasma Sources Sci. Technol. 12 S98 (2003)
  243. Ropcke J et al Plasma Chem. Plasma Process. 19 395 (1999)
  244. Lombardi G et al Plasma Sources Sci. Technol. 13 27 (2004)
  245. Mechold L et al Plasma Sources Sci. Technol. 10 52 (2001)
  246. Wu Y et al Appl. Phys. B 111 391 (2013)
  247. Sick V, Bui-Pham M N, Farrow R L Opt. Lett. 20 2036 (1995)
  248. Ouaras K, Righetti F, Cappelli M A J. Phys. D 52 195202 (2019)
  249. Penetrante B M et al Plasma Sources Sci. Technol. 6 251 (1997)
  250. Kim Y et al Appl. Phys. Lett. 87 011502 (2005)
  251. Winter J et al J. Phys. D 45 385201 (2012)
  252. Schulz-von der Gathen V et al Contrib. Plasma Phys. 47 510 (2007)
  253. Ono R, Oda T J. Phys. D 37 730 (2004)
  254. Reuter S et al Plasma Sources Sci. Technol. 21 034015 (2012)
  255. Moiseev T et al Plasma Sources Sci. Technol. 23 065033 (2014)
  256. Schmidt-Bleker A et al J. Phys. D 47 145201 (2014)
  257. Hübner M et al Rev. Sci. Instrum. 82 093102 (2011)
  258. Laroche G et al Rev. Sci. Instrum. 83 103508 (2012)
  259. Chatain A et al Plasma Sources Sci. Technol. 29 085019 (2020)
  260. Campargue A, Romanini D, Sadeghi N J. Phys. D 31 1168 (1998)
  261. Escribano R, Campargue A J. Chem. Phys. 108 6249 (1998)
  262. Boogaarts M G H et al Chem. Phys. Lett. 326 400 (2000)
  263. Lang N et al IEEE Trans. Plasma Sci. 37 2335 (2009)
  264. Gianella M et al Plasma Sources Sci. Technol. 27 095013 (2018)
  265. Klose S-J et al Plasma Sources Sci. Technol. 29 085011 (2020)
  266. Starikovskaia S M et al Proc. SPIE 4450 63 (2002)
  267. Akishev Yu S et al Proc. SPIE 4450 90 (2002)
  268. Foissac C et al J. Phys. D 33 2434 (2000)
  269. Sadeghi N, Foissac C, Supiot P J. Phys. D 34 1779 (2001)
  270. Stancu G D et al J. Phys. Chem. A 114 201 (2010)
  271. Jans E R et al J. Mol. Spectrosc. 365 111205 (2019)
  272. Hancock G et al J. Phys. D 39 1846 (2006)
  273. Пазюк В С и др Квантовая электроника 34 363 (2001); Pazyuk V S et al Quantum Electron. 31 363 (2001)
  274. Sousa J S et al Appl. Phys. Lett. 93 011502 (2008)
  275. Sousa J S et al Eur. Phys. J. Appl. Phys. 47 22807 (2009)
  276. Gupta M et al Chem. Phys. Lett. 400 42 (2004)
  277. Sousa J S et al J. Appl. Phys. 109 123302 (2011)
  278. Kotterer M, Conceicao J, Maier J P Chem. Phys. Lett. 259 233 (1996)
  279. Yalin A P et al Plasma Sources Sci. Technol. 11 248 (2002)
  280. Pan F, Oka T Phys. Rev. A 36 2297 (1987)
  281. Liu K et al J. Phys. D 54 065201 (2021)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение