Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.

Ключевые слова: спектроскопия, плазма, равновесие PACS: 29.30.−h, 52.25.Os, 52.70.−m (все) DOI: 10.3367/UFNr.2021.07.039026 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/ 001112536300004 2-s2.0-85182907351 2022PhyU...65.1071O Цитата: Очкин В Н "Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы" УФН 192 1145–1178 (2022) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы AU Очкин, В. Н. PB Успехи физических наук PY 2022 JO Успехи физических наук JF Успехи физических наук JA Усп. физ. наук VL 192 IS 10 SP 1145-1178 UR https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2021.07.039026 Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, одобрена в печать: 23 июля 2021 English citation: Ochkin V N “Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasma” Phys. Usp. 65 1071–1103 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026