Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы
В.Н. Очкин† Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация
Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии
для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности
методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов
в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических
покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.