Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.

Ключевые слова: спектроскопия, плазма, равновесие PACS: 29.30.−h, 52.25.Os, 52.70.−m (все) DOI: 10.3367/UFNr.2021.07.039026 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/ 001112536300004 2-s2.0-85182907351 2022PhyU...65.1071O Цитата: Очкин В Н "Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы" УФН 192 1145–1178 (2022) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, одобрена в печать: 23 июля 2021 English citation: Ochkin V N “Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasma” Phys. Usp. 65 1071–1103 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026