Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы

Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.

Ключевые слова: спектроскопия, плазма, равновесие
PACS: 29.30.−h, 52.25.Os, 52.70.−m (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2021.07.039026
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/
Web of Science

001112536300004
Scopus

2-s2.0-85182907351
ADS NASA

2022PhyU...65.1071O
Цитата: Очкин В Н "Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы" УФН 192 1145–1178 (2022)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

@article{Ochkin:2022,
	author = {V. N. Ochkin},
	title = {Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasma},
	publisher = {Uspekhi Fizicheskikh Nauk},
	year = {2022},
	journal = {Usp. Fiz. Nauk},
	volume = {192},
	number = {10},
	pages = {1145-1178},
	url = {https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/},
	doi = {10.3367/UFNr.2021.07.039026}
}

Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, одобрена в печать: 23 июля 2021

English citation: Ochkin V N “Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasma” Phys. Usp. 65 1071–1103 (2022); DOI: 10.3367/UFNe.2021.07.039026