Спектроскопия малых газовых составляющих неравновесной низкотемпературной плазмы
В.Н. Очкин† Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация
Обсуждаются состояние и перспективы развития методов количественной оптической спектроскопии
для анализа состава малых химически активных составляющих неравновесной плазмы. Возможности
методов рассматриваются в их сочетании с условиями применимости как для фундаментальных исследований в области физики и химии плазмы, так и для контроля за проведением технологических процессов
в реакторах в интересах энергетики, микро- и наноэлектроники, медицины, для создания оптических
покрытий, генерации активных радикалов и возбуждённых частиц.
%0 Journal Article
%T Spectroscopy of small gas components of a nonequilibrium low-temperature plasma
%A V. N. Ochkin
%I Uspekhi Fizicheskikh Nauk
%D 2022
%J Usp. Fiz. Nauk
%V 192
%N 10
%P 1145-1178
%U https://ufn.ru/ru/articles/2022/10/d/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.2021.07.039026
Поступила: 4 июня 2021, доработана: 22 июля 2021, одобрена в печать: 23 июля 2021