|
||||||||||||||||||
Наномеханические резонаторыа Новосибирский государственный технический университет, просп. Карла Маркса 20, Новосибирск, 630092, Российская Федерация б NEC Green Innovation Research Laboratories and RIKEN Advanced Science Institute, Tsukuba, Ibaraki, Japan в Department of Physics, Lancaster University, Lancaster, United Kingdom г Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН, Ленинский проспект 53, Москва, 119991, Российская Федерация д Institute of Photonic Technology, Albert-Einstein-Strasse 9, Jena, D-07702, Germany Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и применения наномеханических резонаторов в составе наноэлектромеханических и оптомеханических систем для высокочувствительного детектирования и визуализации структуры материалов. Описаны методы изготовления и измерения параметров резонаторов нанометровых размеров и их характеристики. Обсуждаются квантовые свойства наномеханических резонаторов. Описаны схемы динамического охлаждения оптомеханических и наноэлектромеханических систем, направленные на снижение флуктуаций с целью повышения пороговой чувствительности этих устройств.
|
||||||||||||||||||
|