Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и применения наномеханических резонаторов в составе наноэлектромеханических и оптомеханических систем для высокочувствительного детектирования и визуализации структуры материалов. Описаны методы изготовления и измерения параметров резонаторов нанометровых размеров и их характеристики. Обсуждаются квантовые свойства наномеханических резонаторов. Описаны схемы динамического охлаждения оптомеханических и наноэлектромеханических систем, направленные на снижение флуктуаций с целью повышения пороговой чувствительности этих устройств.

PACS: 61.46.−w, 62.25.−g, 81.07.−b, 81.07.Oj (все) DOI: 10.3367/UFNr.0182.201204c.0407 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2012/4/c/ 000306528000003 2012PhyU...55..382G Цитата: Гринберг Я С, Пашкин Ю А, Ильичёв Е В "Наномеханические резонаторы" УФН 182 407–436 (2012) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Наномеханические резонаторы AU Гринберг, Я. С. AU Пашкин, Ю. А. AU Ильичёв, Е. В. PB Успехи физических наук PY 2012 JO Успехи физических наук JF Успехи физических наук JA Усп. физ. наук VL 182 IS 4 SP 407-436 UR https://ufn.ru/ru/articles/2012/4/c/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0182.201204c.0407 Поступила: 21 мая 2011, доработана: 4 ноября 2011, одобрена в печать: 16 ноября 2011 English citation: Greenberg Ya S, Pashkin Yu A, Il’ichev E “Nanomechanical resonators” Phys. Usp. 55 382–407 (2012); DOI: 10.3367/UFNe.0182.201204c.0407