Представлен обзор основных применений диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах. Рассмотрены основы метода функционала электронной плотности и его реализации в различных программных пакетах. Проанализированы результаты первопринципных расчётов электронной структуры для трёх наиболее важных и перспективных диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью — Al₂O₃, HfO₂ и TiO₂.

PACS: 71.15.Mb, 77.55.D−, 85.30.−z (все) DOI: 10.3367/UFNr.0180.201006b.0587 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2010/6/b/ 000281644500002 2-s2.0-77958606853 2010PhyU...53..561P Цитата: Перевалов Т В, Гриценко В А "Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью" УФН 180 587–603 (2010) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks English citation: Perevalov T V, Gritsenko V A “Application and electronic structure of high-permittivity dielectrics” Phys. Usp. 53 561–575 (2010); DOI: 10.3367/UFNe.0180.201006b.0587