RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2008

 / 

Май

←  →

Из текущей литературы


Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы на его основе


Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Ленинские горы 1 стр. 2, Москва, 119991, Российская Федерация

Плазменные реакторы и источники ионов, принцип действия которых основан на индуктивном высокочастотном (ВЧ) разряде низкого давления, уже в течение нескольких десятилетий являются важнейшей составляющей современных земных и космических технологий. Однако постоянно возрастающие и изменяющиеся требования плазменных технологий требуют усовершенствования старых моделей устройств и создания их новых перспективных моделей. Большое значение при разработке индуктивных источников плазмы имеет обеспечение условий, при которых плазма эффективно поглощает ВЧ-мощность. В последние годы стало очевидным, что в индуктивном ВЧ-разряде низкого давления мощность ВЧ-генератора распределяется между активным сопротивлением внешней цепи и плазмой, причем в плазму мощность поступает по двум каналам: индуктивному, существующему благодаря току, текущему по индуктору или антенне, и емкостному, обусловленному наличием емкостной связи между антенной и плазмой. Рассмотрены особенности поведения индуктивного ВЧ-разряда, связанные с перераспределением ВЧ-мощности между каналами, проанализированы механизмы поглощения ВЧ-мощности. Обсуждаются возможности оптимизации источников плазмы, работающих на индуктивном ВЧ-разряде.

Текст pdf (841 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2008v051n05ABEH006422
PACS: 52.40.Fd, 52.50.−b, 52.80.Pi (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0178.200805f.0519
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2008/5/f/
000259376200006
2-s2.0-51549088632
2008PhyU...51..493K
Цитата: Кралькина Е А "Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления и возможности оптимизации источников плазмы на его основе" УФН 178 519–540 (2008)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kral’kina E A “Low-pressure radio-frequency inductive discharge and possibilities of optimizing inductive plasma sources” Phys. Usp. 51 493–512 (2008); DOI: 10.1070/PU2008v051n05ABEH006422

Список литературы (55) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (51) Похожие статьи (2)

  1. Thomson J J Philos. Mag. 32 321 (1891)
  2. Hittorf W Ann. Phys. Chem. 21 90 (1884)
  3. Townsend J S, Donaldson R H Philos. Mag. 5 178 (1928)
  4. Townsend J S, Donaldson R H Philos. Mag. 7 600 (1929)
  5. MacKinnon K A Philos. Mag. 8 605 (1929)
  6. Godyak V A "Plasma phenomena in inductive discharges" Invited Papers from the 30th European Physical Soc. Conf. on Controlled Fusion and Plasma Physics (St. Petersburg), Russia, 7 – 11 July 2003, Plasma Phys. Control. Fusion 45 A399 (2003)
  7. Hopwood J Plasma Sources Sci. Technol. 1 109 (1992)
  8. Loeb H W "Recent work on radio frequency ion thrusters" J. Spacecraft Rockets 8 494 (1971)
  9. Godyak V A, Alexandrovich B M, Piejak R B US Patent 5,834,905 (November 19, 1998)
  10. Stevens J E "Electron cyclotron resonance plasma sources" High Density Plasma Sources : Design, Physics, and Phenomena (Ed. O A Popov) (Park Ridde, NJ: Noyes Publ., 1995) p. 312
  11. Uchida T Jpn. J. Appl. Phys. 33 L43 (1994)
  12. Tsuboi H et al. Jpn. J. Appl. Phys. 34 2476 (1995)
  13. Yoshida Z, Uchida T Jpn. J. Appl. Phys. 34 4213 (1995)
  14. Uchida T J. Vac. Sci. Technol. A 16 1529 (1998)
  15. Uchida T, Jpn. Patents 07-090632, 08-078188, 07-263190 (1994)
  16. Арсенин А В, Лейман В Г, Тараканов В П Краткие сообщения по физике ФИАН (4) 19 (2003); Arsenin A V, Leiman V G, Tarakanov V P Bull. Lebedev Phys. Inst. (4) 15 (2003)
  17. Boswell R W US Patent 4,810,935 (March 7, 1989)
  18. Chen F F "Helicon plasma sources" High Density Plasma Sources : Design, Physics, and Phenomena (Ed. O A Popov) (Park Ridde, NJ: Noyes Publ., 1995) p. 1
  19. Александров А Ф и др. ЖТФ 64 (11) 53 (1994); Aleksandrov A F et al. Tech Phys. 39 1118 (1994)
  20. Александров А Ф Патент РФ № 2095877
  21. Силин В П, Рухадзе А А Электромагнитные свойства плазмы и плазмоподобных сред (М.: Госатомиздат, 1961)
  22. Гинзбург В Л, Рухадзе А А Волны в магнитоактивной плазме (М.: Наука, 1970)
  23. Александров А Ф, Богданкевич Л С, Рухадзе А А Основы электродинамики плазмы (М.: Высшая школа, 1978); Translated into English, Aleksandrov A F, Bogdankevich L S, Rukhadze A A Principles of Plasma Electrodynamics (Berlin: Springer-Verlag, 1984)
  24. Кондратенко А Н Проникновение поля в плазму (М.: Атомиздат, 1979)
  25. Lieberman M A, Lichtenberg A J Priniciples of Plasma Discharges and Materials Processing (New York: Wiley, 1994)
  26. Boswell R W Phys. Lett. A 33 457 (1970)
  27. Boswell R W Plasma Phys. Control. Fusion 26 1147 (1984)
  28. Boswell R W, Henry D Appl. Phys. Lett. 47 1095 (1985)
  29. Chen F F "Helicon plasma sources" High Density Plasma Sources : Design, Physics, and Phenomena (Ed. O A Popov) (Park Ridde, NJ: Noyes Publ., 1995) p. 1
  30. Kolobov V I, Economou D J Plasma Sources Sci. Technol. 6 R1 (1997)
  31. Chen F F Phys. Plasmas 8 3008 (2001)
  32. Godyak V A, Piejak R B, Alexandrovich B M Plasma Sources Sci. Technol. 11 525 (2002)
  33. Miljak D G, Chen F F Plasma Sources Sci. Technol. 7 61 (1998)
  34. Blackwell D D, Chen F F Plasma Sources Sci. 10 226 (2001)
  35. Chen F F Plasma Phys. Control. Fusion 33 339 (1991)
  36. Александров А Ф и др. ЖТФ 64 (11) 53 (1994); Aleksandrov A F et al. Tech Phys. 39 1118 (1994)
  37. Shamrai K P, Taranov V B Plasma Sources Sci. Technol. 5 474 (1996)
  38. Turner M M, Lieberman M A Plasma Sources Sci. Technol. 8 313 (1999)
  39. Thomson J J Philos. Mag. 4 1128 (1927)
  40. Piejak R B, Godyak V A, Alexandrovich B M Plasma Sources Sci. Technol. 1 179 (1992)
  41. Александров А Ф и др. Физика плазмы 30 434 (2004); Aleksandrov A F et al. Plasma Phys. Rep. 30 398 (2004)
  42. Вавилин К В и др. ЖТФ 74 (5) 44 (2004); Vavilin K V et al. Tech. Phys. 49 565 (2004)
  43. Вавилин К В и др. ЖТФ 74 (6) 25 (2004); Vavilin K V et al. Tech. Phys. 49 686 (2004)
  44. Вавилин К В и др. ЖТФ 74 (6) 29 (2004); Vavilin K V et al. Tech. Phys. 49 691 (2004)
  45. Александров А Ф и др. Физика плазмы 30 434 (2004); Aleksandrov A F et al. Plasma Phys. Rep. 30 398 (2004)
  46. Александров А Ф (4) 70 (2005); Александров А Ф Прикладная физика (5) 72 (2005); Александров А Ф (1) 36 (2006); Александров А Ф (2) 41 (2006); Александров А Ф (4) 54 (2006); Александров А Ф (5) 33 (2006); Александров А Ф (5) 39 (2006)
  47. Godyak V A, Piejak R B, Alexandrovich B M J. Appl. Phys. 85 703 (1999)
  48. Godyak V A, Piejak R B, Alexandrovich B M Plasma Sources Sci. Technol. 3 169 (1994)
  49. Cunge G et al. Plasma Sources Sci. Technol. 8 576 (1999)
  50. El-Fayoumi I M, Jones I R, Turner M M J. Phys. D: Appl. Phys. 31 3082 (1998)
  51. Suzuki K et al. Plasma Sources Sci. Technol. 7 13 (1998)
  52. Godyak V Plasma Phys. Control. Fusion 45 A399 (2003)
  53. Lee H-J, Yang I-D, Whang K-W Plasma Sources Sci. Technol. 5 383 (1996)
  54. Alexandrov A F et al. "On the possibilities of RF ion thrusters optimization" 29th Intern. Electric. Propulsion Conf. Conf. (IEPCO5), Princeton, NJ, October 31 – November 4, 2005 (2005)
  55. Козлов Н П, Морозов А И (Отв. ред.) Плазменные ускорители и ионные инжекторы (М.: Наука, 1984)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение