RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 9, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2006

 / 

сентябрь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа

 а, б,  б
а Институт физики полупроводников СО РАН, просп. Ак. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация
б Quantum-Phase Electronics Center, Department of Applied Physics, The University of Tokyo and Japan Science and Technology Agency, CREST, 7-3-1 Hongo, Tokyo, 113-8656, Japan

Рассмотрено состояние исследований по созданию наноструктур на поверхностях полупроводников с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа (СТМ). Анализируется процесс непрерывного переноса атомов при направленной поверхностной диффузии под действием электрического поля СТМ в условиях испарения поверхностных атомов полем. Исследуется влияние облучения внешним электронным пучком на взаимодействие образца и зонда. Облучение создает условия как для уменьшения барьера для прямых межатомных реакций, так и для изменения направления переноса атомов между зондом и образцом. Показаны возможности создания наноструктур, таких, как островки и линии германия и кремния, а также окон кремния на окисленной поверхности кремния.

Текст pdf (911 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2006v049n09ABEH006070
PACS: 68.37.Ef, 79.70.+q, 81.16.Ta (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0176.200609a.0913
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2006/9/a/
000243785700001
2-s2.0-33846649562
2006PhyU...49..887S
Цитата: Шкляев А А, Ичикава М "Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа" УФН 176 913–930 (2006)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Shklyaev A A, Ichikawa M “Fabrication of germanium and silicon nanostructures using a scanning tunneling microscope” Phys. Usp. 49 887–903 (2006); DOI: 10.1070/PU2006v049n09ABEH006070

Список литературы (79) Статьи, ссылающиеся на эту (8) Похожие статьи (20) ↓

  1. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния» УФН 178 139–169 (2008)
  2. В.В. Егоров, М.В. Алфимов «Теория J-полосы: от экситона Френкеля к переносу заряда» УФН 177 1033–1081 (2007)
  3. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов «Процессы конденсации тонких пленок» УФН 168 1083–1116 (1998)
  4. Г.Н. Макаров «Применение лазеров в нанотехнологии: получение наночастиц и наноструктур методами лазерной абляции и лазерной нанолитографии» УФН 183 673–718 (2013)
  5. А.В. Латышев, А.Л. Асеев «Моноатомные ступени на поверхности кремния» УФН 168 1117–1127 (1998)
  6. Ю.Б. Болховитянов, О.П. Пчеляков, С.И. Чикичев «Кремний-германиевые эпитаксиальные пленки: физические основы получения напряженных и полностью релаксированных гетероструктур» УФН 171 689–715 (2001)
  7. В.Ю. Аристов «Поверхность β-SiC (100): атомная структура и электронные свойства» УФН 171 801–826 (2001)
  8. Е.Д. Эйдельман, А.В. Архипов «Полевая эмиссия из углеродных наноструктур: модели и эксперимент» УФН 190 693–714 (2020)
  9. Э.Я. Зандберг, Н.И. Ионов «Поверхностная ионизация» УФН 67 581–623 (1959)
  10. Р.З. Бахтизин, Ч.-Ж. Щуе и др. «Сканирующая туннельная микроскопия гетероэпитаксиального роста пленок III-нитридов» УФН 174 383–405 (2004)
  11. А.Л. Суворов, В.В. Требуховский «Масс-анализ в автоионной микроскопии» УФН 107 657–683 (1972)
  12. В.А. Цукерман, Л.В. Тарасова, С.И. Лобов «Новые источники рентгеновских лучей» УФН 103 319–337 (1971)
  13. С.Я. Килин «Квантовая информация» УФН 169 507–527 (1999)
  14. А.И. Волокитин, Б.Н.Дж. Перссон «Радиационная передача тепла и бесконтактное трение между наноструктурами» УФН 177 921–951 (2007)
  15. Б.М. Смирнов «Металлические наноструктуры: от кластеров к нанокатализу и сенсорам» УФН 187 1329–1364 (2017)
  16. А.В. Елецкий, А.А. Книжник и др. «Электрические характеристики полимерных композитов, содержащих углеродные нанотрубки» УФН 185 225–270 (2015)
  17. С.П. Бугаев, Е.А. Литвинов и др. «Взрывная эмиссия электронов» УФН 115 101–120 (1975)
  18. Ю.А. Изюмов, Э.З. Курмаев «Материалы с сильными электронными корреляциями» УФН 178 25–60 (2008)
  19. Р.А. Андриевский «Водород в наноструктурах» УФН 177 721–735 (2007)
  20. В.С. Попов «Туннельная и многофотонная ионизация атомов и ионов в сильном лазерном поле (теория Келдыша)» УФН 174 921–951 (2004)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение