Выпуски

 / 

2000

 / 

Февраль

  

Обзоры актуальных проблем


Метастабильные и бистабильные дефекты в кремнии

, ,
Физико-технический институт, Алматы, Казахстан

Анализируются известные к настоящему времени данные по свойствам и структуре метастабильных и бистабильных дефектов в кремнии. Рассматриваются первичные радиационные дефекты: вакансии, собственные междоузельные атомы и пары Френкеля, примесные комплексы, содержащие атомы кислорода, углерода, водорода и другие примесные атомы, а также дефекты с отрицательной корреляционной энергией.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 61.72.−y, 61.72.Tt, 61.80.−x, 71.55.−i (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0170.200002b.0143
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2000/2/b/
Цитата: Мукашев Б Н, Абдуллин Х А, Горелкинский Ю В "Метастабильные и бистабильные дефекты в кремнии" УФН 170 143–155 (2000)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Mukashev B N, Abdullin Kh A, Gorelkinskii Yu V “Metastable and bistable defects in siliconPhys. Usp. 43 139–150 (2000); DOI: 10.1070/PU2000v043n02ABEH000649

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение