Physics of our days

Physical limitations on miniaturization in microelectronics

 a, , ,
a Kotel'nikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, ul. Mokhovaya 11, kor. 7, Moscow, 125009, Russian Federation
PACS: 85.40.Bh, 85.30.Tv (all)
DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121
Citation: Gulyaev Yu V, Sandomirskii V B, Sukhanov A A, Tkach Yu Ya "Physical limitations on miniaturization in microelectronics" Sov. Phys. Usp. 27 868–880 (1984)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Оригинал: Гуляев Ю В, Сандомирский В Б, Суханов А А, Ткач Ю Я «Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники» УФН 144 475–495 (1984); DOI: 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475

Cited by (11) Similar articles (3) ↓

  1. E.A. Andryushin, A.P. Silin “Physical problems in solar energy34 (8) 705–710 (1991)
  2. I.L. Rozental’ “Physical laws and the numerical values of fundamental constants23 296–305 (1980)
  3. V.S. Vavilov “Some physical aspects of ion implantation28 196–206 (1985)

The list is formed automatically.

© 1918–2020 Uspekhi Fizicheskikh Nauk
Email: Editorial office contacts About the journal Terms and conditions