Issues

 / 

1984

 / 

November

  

Physics of our days


Physical limitations on miniaturization in microelectronics

 a, , ,
a Kotel'nikov Institute of Radio Engineering and Electronics, Russian Academy of Sciences, ul. Mokhovaya 11, kor. 7, Moscow, 125009, Russian Federation
Text can be downloaded in Russian. English translation is available here.
PACS: 85.40.Bh, 85.30.Tv (all)
DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121
URL: https://ufn.ru/en/articles/1984/11/e/
Citation: Gulyaev Yu V, Sandomirskii V B, Sukhanov A A, Tkach Yu Ya "Physical limitations on miniaturization in microelectronics" Sov. Phys. Usp. 27 868–880 (1984)
BibTex BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks
%0 Journal Article
%T Physical limitations on miniaturization in microelectronics
%A Yu. V. Gulyaev
%A V. B. Sandomirskii
%A A. A. Sukhanov
%A Yu. Ya. Tkach
%I Physics-Uspekhi
%D 1984
%J Phys. Usp.
%V 27
%N 11
%P 868-880
%U https://ufn.ru/en/articles/1984/11/e/
%U https://doi.org/10.1070/PU1984v027n11ABEH004121

Оригинал: Гуляев Ю В, Сандомирский В Б, Суханов А А, Ткач Ю Я «Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники» УФН 144 475–495 (1984); DOI: 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475

© 1918–2019 Uspekhi Fizicheskikh Nauk
Email: ufn@ufn.ru Editorial office contacts About the journal Terms and conditions