Выпуски

 / 

1984

 / 

Ноябрь

  

Физика наших дней


Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники

 а, , ,
а Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, ул. Моховая 11, кор. 7, Москва, 125009, Российская Федерация

Микроэлектроника — область электроники, объединяющая комплекс физических, радиотехнических и технологических проблем, направленных на создание сложных электронных схем для переработки и передачи информации.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 85.40.Bh, 85.30.Tv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0144.198411e.0475
URL: https://ufn.ru/ru/articles/1984/11/e/
Цитата: Гуляев Ю В, Сандомирский В Б, Суханов А А, Ткач Ю Я "Физические ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники" УФН 144 475–495 (1984)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gulyaev Yu V, Sandomirskii V B, Sukhanov A A, Tkach Yu Ya “Physical limitations on miniaturization in microelectronicsSov. Phys. Usp. 27 868–880 (1984); DOI: 10.1070/PU1984v027n11ABEH004121

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение