Выпуск 11, 2024

Подписчикам

Для авторов

Дмитрий Андреевич Ким

Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН
Адрес: Миусская пл. 4, Москва, 125047, Российская Федерация

Статьи

Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов, Д.И. Астахов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 323–334 (2019)

См. также: И.П. Цыгвинцев, И.Ю. Вичев, А.С. Грушин, А.Д. Соломянная, А.А. Лаш, П.С. Анциферов, А.А. Якушкин, О.Ф. Якушев, М.В. Спиридонов, Е.П. Снегирев, Ю.В. Сидельников, А.Н. Рябцев, В.В. Медведев, Д.Б. Абраменко, Б.В. Лакатош

PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.-f, 52.70.-m, 52.77.-j

© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение