Технологии кремниевой интегральной фотоники являются основой для создания целого класса устройств, таких как оптические модуляторы, фотодетекторы, оптические фильтры и переключатели, мультиплексоры и демультиплексоры, оптические трансиверы и др. По многим параметрам кремниевая интегральная фотоника конкурирует с альтернативными платформами на основе фосфида индия, нитрида и оксида кремния и других материалов. Рассмотрены современные подходы, используемые в технологиях кремниевой интегральной фотоники, и описаны разработанные на их основе компоненты фотонных интегральных схем и устройств, а также проведено сравнение с альтернативными технологическими платформами.

Ключевые слова: кремний, интегральная фотоника, нанофотоника, кремний-на-изоляторе, компоненты фотонных интегральных схем PACS: 42.82.−m, 42.82.Et, 84.40.Lj (все) DOI: 10.3367/UFNr.2024.09.039762 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/ 001382736300010 2-s2.0-85213257616 2024PhyU...67.1153K Цитата: Косолобов С С, Пшеничнюк И А, Тазиев К Р, Земцова А К, Земцов Д С, Смирнов А С, Жигунов Д М, Драчев В П "Кремниевая интегральная фотоника" УФН 194 1223–1239 (2024) BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)Medline RefWorks Русский English RT Journal T1 Silicon integrated photonics A1 Kosolobov,S.S. A1 Pshenichnyuk,I.A. A1 Taziev,K.R. A1 Zemtsova,A.K. A1 Zemtsov,D.S. A1 Smirnov,A.S. A1 Zhigunov,D.M. A1 Drachev,V.P. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2024 FD 10 Nov, 2024 JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JO Usp. Fiz. Nauk VO 194 IS 11 SP 1223-1239 DO 10.3367/UFNr.2024.09.039762 LK https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/ Поступила: 15 апреля 2024, доработана: 12 сентября 2024, одобрена в печать: 13 сентября 2024 English citation: Kosolobov S S, Pshenichnyuk I A, Taziev K R, Zemtsova A K, Zemtsov D S, Smirnov A S, Zhigunov D M, Drachev V P “Silicon integrated photonics” Phys. Usp. 67 1153–1167 (2024); DOI: 10.3367/UFNe.2024.09.039762