Кремниевая интегральная фотоника

С.С. Косолобов^†, И.А. Пшеничнюк^‡, К.Р. Тазиев^§, А.К. Земцова^*, Д.С. Земцов^#, А.С. Смирнов^°, Д.М. Жигунов^&, В.П. Драчев
Сколковский институт науки и технологий, Территория Инновационного Центра Сколково , Большой бульвар 30, стр.1, Москва, 121205, Российская Федерация

Технологии кремниевой интегральной фотоники являются основой для создания целого класса устройств, таких как оптические модуляторы, фотодетекторы, оптические фильтры и переключатели, мультиплексоры и демультиплексоры, оптические трансиверы и др. По многим параметрам кремниевая интегральная фотоника конкурирует с альтернативными платформами на основе фосфида индия, нитрида и оксида кремния и других материалов. Рассмотрены современные подходы, используемые в технологиях кремниевой интегральной фотоники, и описаны разработанные на их основе компоненты фотонных интегральных схем и устройств, а также проведено сравнение с альтернативными технологическими платформами.

Текст pdf (556 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2024.09.039762

Ключевые слова: кремний, интегральная фотоника, нанофотоника, кремний-на-изоляторе, компоненты фотонных интегральных схем
PACS: 42.82.−m, 42.82.Et, 84.40.Lj (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2024.09.039762
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/
Цитата: Косолобов С С, Пшеничнюк И А, Тазиев К Р, Земцова А К, Земцов Д С, Смирнов А С, Жигунов Д М, Драчев В П "Кремниевая интегральная фотоника" УФН 194 1223–1239 (2024)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Кремниевая интегральная фотоника
AU Косолобов, С. С.
AU Пшеничнюк, И. А.
AU Тазиев, К. Р.
AU Земцова, А. К.
AU Земцов, Д. С.
AU Смирнов, А. С.
AU Жигунов, Д. М.
AU Драчев, В. П.
PB Успехи физических наук
PY 2024
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 194
IS 11
SP 1223-1239
UR https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2024.09.039762

Поступила: 15 апреля 2024, доработана: 12 сентября 2024, одобрена в печать: 13 сентября 2024

English citation: Kosolobov S S, Pshenichnyuk I A, Taziev K R, Zemtsova A K, Zemtsov D S, Smirnov A S, Zhigunov D M, Drachev V P “Silicon integrated photonics” Phys. Usp. 67 1153–1167 (2024); DOI: 10.3367/UFNe.2024.09.039762