Кремниевая интегральная фотоника

С.С. Косолобов^†, И.А. Пшеничнюк^‡, К.Р. Тазиев^§, А.К. Земцова^*, Д.С. Земцов^#, А.С. Смирнов^°, Д.М. Жигунов^&, В.П. Драчев
Сколковский институт науки и технологий, Территория Инновационного Центра Сколково , Большой бульвар 30, стр.1, Москва, 121205, Российская Федерация

Технологии кремниевой интегральной фотоники являются основой для создания целого класса устройств, таких как оптические модуляторы, фотодетекторы, оптические фильтры и переключатели, мультиплексоры и демультиплексоры, оптические трансиверы и др. По многим параметрам кремниевая интегральная фотоника конкурирует с альтернативными платформами на основе фосфида индия, нитрида и оксида кремния и других материалов. Рассмотрены современные подходы, используемые в технологиях кремниевой интегральной фотоники, и описаны разработанные на их основе компоненты фотонных интегральных схем и устройств, а также проведено сравнение с альтернативными технологическими платформами.

Текст pdf (556 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.2024.09.039762

Ключевые слова: кремний, интегральная фотоника, нанофотоника, кремний-на-изоляторе, компоненты фотонных интегральных схем
PACS: 42.82.−m, 42.82.Et, 84.40.Lj (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2024.09.039762
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/
Цитата: Косолобов С С, Пшеничнюк И А, Тазиев К Р, Земцова А К, Земцов Д С, Смирнов А С, Жигунов Д М, Драчев В П "Кремниевая интегральная фотоника" УФН 194 1223–1239 (2024)

BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)

MedlineRefWorks

Русский

English

PT Journal Article
TI Кремниевая интегральная фотоника
AU Косолобов С С
FAU Косолобов СС
AU Пшеничнюк И А
FAU Пшеничнюк ИА
AU Тазиев К Р
FAU Тазиев КР
AU Земцова А К
FAU Земцова АК
AU Земцов Д С
FAU Земцов ДС
AU Смирнов А С
FAU Смирнов АС
AU Жигунов Д М
FAU Жигунов ДМ
AU Драчев В П
FAU Драчев ВП
DP 10 Nov, 2024
TA Усп. физ. наук
VI 194
IP 11
PG 1223-1239
RX 10.3367/UFNr.2024.09.039762
URL https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/
SO Усп. физ. наук 2024 Nov 10;194(11):1223-1239

Поступила: 15 апреля 2024, доработана: 12 сентября 2024, одобрена в печать: 13 сентября 2024

English citation: Kosolobov S S, Pshenichnyuk I A, Taziev K R, Zemtsova A K, Zemtsov D S, Smirnov A S, Zhigunov D M, Drachev V P “Silicon integrated photonics” Phys. Usp. 67 1153–1167 (2024); DOI: 10.3367/UFNe.2024.09.039762