Технологии кремниевой интегральной фотоники являются основой для создания целого класса устройств, таких как оптические модуляторы, фотодетекторы, оптические фильтры и переключатели, мультиплексоры и демультиплексоры, оптические трансиверы и др. По многим параметрам кремниевая интегральная фотоника конкурирует с альтернативными платформами на основе фосфида индия, нитрида и оксида кремния и других материалов. Рассмотрены современные подходы, используемые в технологиях кремниевой интегральной фотоники, и описаны разработанные на их основе компоненты фотонных интегральных схем и устройств, а также проведено сравнение с альтернативными технологическими платформами.
Ключевые слова: кремний, интегральная фотоника, нанофотоника, кремний-на-изоляторе, компоненты фотонных интегральных схем PACS:42.82.−m, 42.82.Et, 84.40.Lj (все) DOI:10.3367/UFNr.2024.09.039762 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/ 001382736300010 2-s2.0-85213257616 2024PhyU...67.1153K Цитата: Косолобов С С, Пшеничнюк И А, Тазиев К Р, Земцова А К, Земцов Д С, Смирнов А С, Жигунов Д М, Драчев В П "Кремниевая интегральная фотоника" УФН194 1223–1239 (2024)
PT Journal Article
TI Silicon integrated photonics
AU Kosolobov S S
FAU Kosolobov SS
AU Pshenichnyuk I A
FAU Pshenichnyuk IA
AU Taziev K R
FAU Taziev KR
AU Zemtsova A K
FAU Zemtsova AK
AU Zemtsov D S
FAU Zemtsov DS
AU Smirnov A S
FAU Smirnov AS
AU Zhigunov D M
FAU Zhigunov DM
AU Drachev V P
FAU Drachev VP
DP 10 Nov, 2024
TA Usp. Fiz. Nauk
VI 194
IP 11
PG 1223-1239
RX 10.3367/UFNr.2024.09.039762
URL https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/
SO Usp. Fiz. Nauk 2024 Nov 10;194(11):1223-1239
Поступила: 15 апреля 2024, доработана: 12 сентября 2024, одобрена в печать: 13 сентября 2024
English citation: Kosolobov S S, Pshenichnyuk I A, Taziev K R, Zemtsova A K, Zemtsov D S, Smirnov A S, Zhigunov D M, Drachev V P “Silicon integrated photonics” Phys. Usp.67 1153–1167 (2024); DOI: 10.3367/UFNe.2024.09.039762