Кремниевая интегральная фотоника

С.С. Косолобов^†, И.А. Пшеничнюк^‡, К.Р. Тазиев^§, А.К. Земцова^*, Д.С. Земцов^#, А.С. Смирнов^°, Д.М. Жигунов^&, В.П. Драчев
Сколковский институт науки и технологий, Территория Инновационного Центра Сколково , Большой бульвар 30, стр.1, Москва, 121205, Российская Федерация

Технологии кремниевой интегральной фотоники являются основой для создания целого класса устройств, таких как оптические модуляторы, фотодетекторы, оптические фильтры и переключатели, мультиплексоры и демультиплексоры, оптические трансиверы и др. По многим параметрам кремниевая интегральная фотоника конкурирует с альтернативными платформами на основе фосфида индия, нитрида и оксида кремния и других материалов. Рассмотрены современные подходы, используемые в технологиях кремниевой интегральной фотоники, и описаны разработанные на их основе компоненты фотонных интегральных схем и устройств, а также проведено сравнение с альтернативными технологическими платформами.

Текст pdf (556 Кб)

Скачивая файл я соглашаюсь с условиями использования.

Ключевые слова: кремний, интегральная фотоника, нанофотоника, кремний-на-изоляторе, компоненты фотонных интегральных схем
PACS: 42.82.−m, 42.82.Et, 84.40.Lj (все)
DOI: 10.3367/UFNr.2024.09.039762
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/
Цитата: Косолобов С С, Пшеничнюк И А, Тазиев К Р, Земцова А К, Земцов Д С, Смирнов А С, Жигунов Д М, Драчев В П "Кремниевая интегральная фотоника" УФН 194 1223–1239 (2024)

BibTex

BibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

%0 Journal Article
%T Silicon integrated photonics
%A S. S. Kosolobov
%A I. A. Pshenichnyuk
%A K. R. Taziev
%A A. K. Zemtsova
%A D. S. Zemtsov
%A A. S. Smirnov
%A D. M. Zhigunov
%A V. P. Drachev
%I Uspekhi Fizicheskikh Nauk
%D 2024
%J Usp. Fiz. Nauk
%V 194
%N 11
%P 1223-1239
%U https://ufn.ru/ru/articles/2024/11/j/
%U https://doi.org/10.3367/UFNr.2024.09.039762

Поступила: 15 апреля 2024, доработана: 12 сентября 2024, одобрена в печать: 13 сентября 2024

English citation: Kosolobov S S, Pshenichnyuk I A, Taziev K R, Zemtsova A K, Zemtsov D S, Smirnov A S, Zhigunov D M, Drachev V P “Silicon integrated photonics” Phys. Usp. 67 (11) (2024); DOI: 10.3367/UFNe.2024.09.039762