Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка PACS:07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все) DOI:10.3367/UFNr.2019.05.038623 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/ 000537855600007 2-s2.0-85084758667 2020PhyU...63...83P Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН190 92–106 (2020)