Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка PACS:07.60.−j, 07.85.Fv, 42.79.−e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A, 68.65.Ac, 81.15.−z (все) DOI:10.3367/UFNr.2019.05.038623 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/ 000537855600007 2-s2.0-85084758667 2020PhyU...63...83P Цитата: Полковников В Н, Салащенко Н Н, Свечников М В, Чхало Н И "Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия" УФН190 92–106 (2020)
TY JOUR
TI Beryllium-based multilayer X-ray optics
AU Polkovnikov, V. N.
AU Salashchenko, N. N.
AU Svechnikov, M. V.
AU Chkhalo, N. I.
PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk
PY 2020
JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk
JA Usp. Fiz. Nauk
VL 190
IS 1
SP 92-106
UR https://ufn.ru/ru/articles/2020/1/g/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623
Поступила: 18 июля 2019, одобрена в печать: 22 мая 2019