RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2015

 / 

Сентябрь

←  →

Обзоры актуальных проблем


Дифракционное изображение дефектов в рентгеновской топографии (рентгеновской микроскопии)

,
Институт физики твердого тела имени Ю.А. Осипьяна РАН, ул. Академика Осипьяна 2, Черноголовка, Московская обл., 142432, Российская Федерация

Рассмотрены вопросы образования и структуры рентгеновского дифракционного изображения дефектов кристаллической решётки в методах рентгеновской топографии. Проанализированы подходы описания (лучевая и волновая оптика) и области применения геометрической и дифракционной оптики реального кристалла. На примерах конкретных экспериментальных изображений дислокаций и других дефектов продемонстрирована роль различных дифракционных эффектов (отражение волн от искажений кристаллической решётки, дифракционная фокусировка, каналирование), влияющих на характер формируемого изображения. Обсуждаются возможности получения количественной информации о параметрах дефектов.

Текст pdf (1,2 Мб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0185.201509a.0897
Ключевые слова: дефекты кристаллической структуры, физика дифракции рентгеновских лучей, рентгеновская топография, рентгеновская оптика, дифракционный контраст дефектов, дифракционное изображение, секционные топограммы, блоховские волны, траектории лучей, упругое поле дислокаций, уравнения Такаги—Топена, численное моделирование дифракционного изображения
PACS: 61.05.C−, 61.72.Dd, 61.72.Ff (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0185.201509a.0897
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2015/9/a/
000366405400001
2015PhyU...58..833S
Цитата: Суворов Э В, Смирнова И А "Дифракционное изображение дефектов в рентгеновской топографии (рентгеновской микроскопии)" УФН 185 897–915 (2015)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 5 мая 2015, 9 июня 2015

English citation: Suvorov E V, Smirnova I A “X-ray diffraction imaging of defects in topography (microscopy) studies” Phys. Usp. 58 833–849 (2015); DOI: 10.3367/UFNe.0185.201509a.0897

Список литературы (103) ↓ Статьи, ссылающиеся на эту (9) Похожие статьи (20)

  1. Berg W Naturwissenschaften 19 391 (1931)
  2. Berg W Z. Kristallogr. 89 286 (1934)
  3. Barrett C S Trans. AIME 161 15 (1945)
  4. Schulz L G Trans. AIME 200 1082 (1954)
  5. Fujiwara T Memo. Defense Acad. 2 (5) 127 (1963)
  6. Fujiwara T, Dohi S, Takeda T Memo. Defense Acad. 3 (2) 17 (1963)
  7. Turner A P, Vreeland T (Jnr.), Pope D P Acta Cryst. A 24 452 (1968)
  8. Bonse U Z. Phys. 153 278 (1958)
  9. Kohra K J. Phys. Soc. Jpn. 17 589 (1962)
  10. Kohra K, Kikuta S Acta Cryst. A 24 200 (1968)
  11. Lang A R Acta Cryst. 12 249 (1959)
  12. Authier A Adv. X-Ray Analysis 10 9 (1967)
  13. Darwin C G Phil. Mag. 27 315 (1914)
  14. Ewald P P Ann. Physik 49 117 (1916)
  15. v. Laue M Ergebnisse Exakten Naturwissenschaften 10 133 (1931)
  16. Cowley J M Diffraction Physics (Amsterdam: North-Holland, 1975); Каули Дж М Физика дифракции (М.: Мир, 1979)
  17. James R W The Optical Principles of the Diffraction of X-Rays (London: G. Bell and Sons, 1948); Джеймс Р Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей (М.: ИЛ, 1950)
  18. Takagi S J. Phys. Soc. Jpn. 13 278 (1958)
  19. Penning P, Polder D Philos. Res. Rep. 16 (4) 499 (1961)
  20. Penning P, Polder D Philos. Res. Rep. 16 (5) 419 (1961)
  21. Kato N Acta Cryst. 16 276 (1963)
  22. Kato N Acta Cryst. 16 282 (1963)
  23. Kato N J. Phys. Soc. Jpn. 18 1785 (1963)
  24. Kato N J. Phys. Soc. Jpn. 19 67 (1964)
  25. Kato N J. Phys. Soc. Jpn. 19 971 (1964)
  26. Patel J R, Kato N Appl. Phys. Lett. 13 40 (1968)
  27. Kato N, Patel J R J. Appl. Phys. 44 965 (1973)
  28. Patel J R, Kato N J. Appl. Phys. 44 971 (1973)
  29. Ando Y, Patel J R, Kato N J. Appl. Phys. 44 4405 (1973)
  30. Dederichs P H Phys. Status Solidi B 23 377 (1967)
  31. Dederichs P H Phys. Rev. B 1 1306 (1970)
  32. Кривоглаз М А Теория рассеяния рентгеновских лучей и тепловых нейтронов реальными кристаллами (М.: Наука, 1967); Krivoglaz M A Theory of X-ray and Thermal-Neutron Scattering by Real Crystals (New York: Plenum Press, 1969)
  33. Кривоглаз М А Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах (Киев: Наукова думка, 1983); Krivoglaz M A X-ray and Neutron Diffraction in Nonideal Crystals (Berlin: Springer, 1996)
  34. Takagi S Acta Cryst. 15 1311 (1962)
  35. Takagi S J. Phys. Soc. Jpn. 27 1239 (1969)
  36. Taupen D Bull. Soc. Franc. Mineral. Cryst. 87 469 (1964)
  37. Taupen D Acta Cryst. 23 25 (1967)
  38. Tanner B K, Phil M A X-Ray Diffraction Topography (New York: Pergamon Press, 1966)
  39. Bowen D K, Tanner B K High Resolution X-Ray Diffractometry and Topography (New York: Taylor and Francis); Боуэн Д К, Таннер Б К Высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия и топография (СПб.: Наука, 2002)
  40. Authier A Dynamical Theory of X-Ray Diffraction (Oxford: Science Publ., 2001)
  41. Елистратов А М Прямые методы исследования дефектов в кристаллах (Под ред. А М Елистратова) (М.: Мир, 1965) с. 268
  42. Hirsch P B et al. Electron Microscopy of Thin Crystals (London: Butterworths, 1965); Хирш П и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов (М.: Мир, 1968)
  43. Инденбом В Л, Чуховский Ф Н УФН 107 229 (1972); Indenbom V L, Chukhovskii F N Sov. Phys. Usp. 15 298 (1972)
  44. Инденбом В Л, Чуховский Ф Н Кристаллография 16 1101 (1971); Indenbom V L, Chukhovskii F N Sov. Phys. Crystallogr. 16 972 (1971)
  45. Кон В Г Кристаллография 52 625 (2007); Kohn V G Crystallogr. Rep. 52 598 (2007)
  46. Amelinckx S The Direct Observation of Dislocations (New York: Academic Press, 1964); Амелинкс С Методы прямого наблюдения дислокаций (М.: Мир, 1968)
  47. Borrmann G Z. Phys. 42 157 (1941)
  48. Borrmann G Z. Phys. 127 297 (1950)
  49. Иверонова В И, Ревкевич Г П Теория рассеяния рентгеновских лучей (М.: Изд-во МГУ, 1978)
  50. Пинскер З Г Рентгеновская кристаллооптика (М.: Наука, 1982); Pinsker Z G Dynamical Scattering of X-Rays in Crystals (New York: Springer, 1978)
  51. Суворов Э В, Смирнова И А ФТТ 52 241 (2010); Suvorov É V, Smirnova I A Phys. Solid State 52 258 (2010)
  52. Шульпина И Л, Петрашень П В, Осмакова О Ю Динамические эффекты рассеяния рентгеновских лучей и электронов, 4-е совещание, Ленинград, 31 марта - 2 апреля 1976, Тезисы докладов (Л.: ЛИЯФ, 1976) с. 50
  53. Petrashen P V, Shulpina I L Phys. Status Solidi A 78 K105 (1983)
  54. Данильчук Л Н, Никитенко В И ФТТ 9 2027 (1967)
  55. Suvorov E V et al. Phys. Status Solidi A 26 385 (1974)
  56. Indenbom V L, Nikitenko V I, Suvorov E V, Kaganer V M Phys. Status Solidi A 46 379 (1978)
  57. Suvorov E V et al. Phys. Status Solidi A 54 29 (1979)
  58. Kato N Acta Cryst. 14 526 (1961)
  59. Aristov V V et al. Phys. Status Solidi A 72 483 (1982)
  60. Суворов Э В, Половинкина В И, Никитенко В И ФТТ 13 2692 (1971); Suvorov E V, Polovinkina V I, Nikitenko V I Sov. Phys. Solid State 13 2253 (1972)
  61. Borrmann G, Lehmann K Crystallography and Crystal Perfection (Ed. G N Ramachandran) (London: Academic Press, 1963) p. 101
  62. Lehmann K, Borrmann G Z. Kristallogr. 125 234 (1967)
  63. Шулаков Е В, Смирнова И А, Суворов Э В Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (7) 32 (1996)
  64. Шулаков Е В, Смирнова И А, Суворов Э В Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (1) 101 (2002)
  65. Инденбом В Л, Слободецкий И Ш, Труни К Г ЖЭТФ 66 1110 (1974); Indenbom V L, Slobodetskii I Sh, Truni K G Sov. Phys. JETP 39 542 (1974)
  66. Суворов Э В, Половинкина В И Письма в ЖЭТФ 20 326 (1974); Suvorov É V, Polovinkina V I JETP Lett. 20 145 (1974)
  67. Инденбом В Л, Чуховский Ф Н Кристаллография 19 35 (1974)
  68. Инденбом В Л, Слободецкий И Ш Кристаллография 19 42 (1974)
  69. Суворов Э В, Мухин К Ю Динамические эффекты рассеяния рентгеновских лучей и электронов, 4-е совещание, Ленинград, 31 марта - 2 апреля 1976, Тезисы докладов (Л.: ЛИЯФ, 1976) с. 42
  70. Hirth J P, Lothe J Theory of Dislocations (New York: McGraw-Hill, 1968); Хирт Дж, Лоте И Теория дислокаций (М.: Атомиздат, 1972)
  71. de Wit R Phys. Status Solidi B 20 567 (1967)
  72. Brümmer O, Stephanik H Dynamische Interferenztheorie. Grundlagen und Anwendungen bei Röntgenstrahlung, Elektronen und Neutronen (Leipzig: Akademische Verlagsgesellschaft Geest und Portig K.-G., 1976)
  73. Epelboin Y, Riglet P Phys. Status Solidi A 54 547 (1979)
  74. Chukhovskii F N, Shtolberg A A Phys. Status Solidi B 41 815 (1970)
  75. Authier A Bull. Soc. Franc. Mineral. Cristallogr. 84 51 (1961)
  76. Balibar F, Authier A Phys. Status Solidi B 21 413 (1967)
  77. Indenbom V L, Nikitenko V I, Suvorov E V, Kaganer V M Phys. Status Solidi A 46 379 (1978)
  78. Suvorov E V et al. Phys. Status Solidi A 60 27 (1980)
  79. Indenbom V L, Kaganer V M, Möhling W, Suvorov E V Phys. Status Solidi A 83 195 (1984)
  80. Суворов Э В, Смирнова И А, Шулаков Е В Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (4) 100 (2004)
  81. Шульпина И Л, Даценко Л И Укр. физ. журн. 12 1474 (1967)
  82. Ерофеев В Н, Никитенко В И, Половинкина В И, Суворов Э В Кристаллография 16 190 (1971); Erofeev V N, Nikitenko V I, Polovinkina V I, Suvorov E V Sov. Phys. Crystallogr. 16 151 (1971)
  83. Суворов Э В, Шульпина И Л Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (7) 3 (2001)
  84. Шульпина И Л, Суворов Э В Изв. РАН Сер. физ. 74 1547 (2010); Shulpina I L, Suvorov E V Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 74 1488 (2010)
  85. Суворов Э В, Смирнова И А ФТТ 52 2325 (2010); Suvorov E V, Smirnova I A Phys. Solid State 52 2485 (2010)
  86. Инденбом В Л, Каганер В М, Суворов Э В ЖЭТФ 86 675 (1984); Indenbom V L, Kaganer V M, Suvorov E V Sov. Phys. JETP 59 394 (1984)
  87. Смирнова И А, Суворов Э В, Шулаков Е В Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (12) 1 (2006)
  88. Суворов Э В, Смирнова И А, Шулаков Е В Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (9) 1 (2007)
  89. Суворов Э В, Смирнова И А Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (12) 1 (2011)
  90. Суворов Э В, Смирнова И А Письма ЖТФ 38 (21) 70 (2012); Suvorov E V, Smirnova I A Tech. Phys. Lett. 38 991 (2012)
  91. Кютт Р Н, Рувимов С С, Шульпина И Л Письма в ЖТФ 32 (24) 79 (2006); Kyutt R N, Ruvimov S S, Shulpina I L Tech. Phys. Lett. 32 1079 (2006)
  92. Мильвидский М Г Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (4) 5 (2001)
  93. Суворов Э В, Смирнова И А, Шулаков Е В Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (11) 74 (2004)
  94. Суворов Э В, Смирнова И А, Шулаков Е В Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (12) 12 (2005)
  95. Смирнова И А, Суворов Э В, Шулаков Е В, Алежко-Ожевский О П<?twb> Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (1) 99 (2000)
  96. Bonse U, Hart M Appl. Phys. Lett. 6 155 (1965)
  97. Bonse U, Hart M Appl. Phys. Lett. 7 99 (1965)
  98. Hart M Proc. R. Soc. London A 3 09 281 (1969)
  99. Данильчук Л Н, Смородина Т А ФТТ 7 1245 (1965)
  100. Данильчук Л Н, Георгиев А И Кристаллография 11 2349 (1966)
  101. Данильчук Л Н, Никитенко В И ФТТ 9 2027 (1967)
  102. Смирнова И А, Суворов Э В, Шулаков Е В ФТТ 49 1050 (2007); Smirnova I A, Suvorov É V, Shulakov E V Phys. Solid State 49 1104 (2007)
  103. Суворов Э В, Смирнова И А Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. (10) 7 (2008)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение