Выпуски

 / 

2013

 / 

октябрь

←  →

Приборы и методы исследований


Современные тенденции развития технологий выращивания графена методом химического осаждения паров на медных подложках


Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, просп. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Рассмотрены последние наиболее интересные достижения и тенденции развития технологий выращивания графена на медных подложках. Анализируются влияние качества подготовки подложки и других параметров процесса на свойства плёнок, полученных при разных давлениях и температурах на медной фольге и более тонких слоях меди. Обсуждаются способы получения крупных монокристаллических доменов графена и их свойства, а также технологии, не требующие переноса плёнки графена на диэлектрическую подложку. Ещё один обсуждаемый в статье важный подход — это возможность латерального роста графена от специально сформированных мультиграфеновых или углеродсодержащих зародышей и металлических катализаторов.

Текст pdf (835 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.3367/UFNe.0183.201310i.1115
PACS: 68.65.Pq, 81.05.ue, 81.15.Gh, 81.16.Be (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0183.201310i.1115
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2013/10/i/
000329313100004
2013PhyU...56.1013A
Цитата: Антонова И В "Современные тенденции развития технологий выращивания графена методом химического осаждения паров на медных подложках" УФН 183 1115–1122 (2013)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

поступила: 14 февраля 2013, доработана: 2 марта 2013, 27 февраля 2013

English citation: Antonova I V “Chemical vapor deposition growth of graphene on copper substrates: current trends” Phys. Usp. 56 1013–1020 (2013); DOI: 10.3367/UFNe.0183.201310i.1115

Список литературы (44) Статьи, ссылающиеся на эту (26) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Shchegolkov A V, Shchegolkov A V, Kaminskii V V J. Compos. Sci. 10 (1) 43 (2026)
  2. Kim B Ju, Kim J W et al J. Korean Phys. Soc. 86 (9) 819 (2025)
  3. Faul E-B A, Broussard A M et al Micromachines 15 (2) 277 (2024)
  4. (8TH BRUNEI INTERNATIONAL CONFERENCE ON ENGINEERING AND TECHNOLOGY 2021) Vol. 8TH BRUNEI INTERNATIONAL CONFERENCE ON ENGINEERING AND TECHNOLOGY 2021Effects of pressure variations in the quality of graphene production through chemical vapor deposition by regressionNur Aqidah Binti HajiDonglahNornasuha Binti MahmudAdenanMaziyarSabet2643 (2023) p. 060005
  5. Liang Y, Zhang W Mater. Res. Express 9 (11) 115601 (2022)
  6. Huang D, Duan Y et al Adv Funct Materials 32 (42) (2022)
  7. Maher A, Mahmoud M S, Saba A M S Nanotechnology 33 (6) 065202 (2022)
  8. Rodríguez-Villanueva Sandra, Mendoza F et al Nanomaterials 12 (17) 3033 (2022)
  9. Rodríguez-Villanueva Sandra, Mendoza F et al Nanomaterials 12 (1) 109 (2021)
  10. Zhou Wen‐Guang, Leng Yu‐Chen et al Nanophotonics 10 (10) 2695 (2021)
  11. Nguyen H-T, Nguyen Y et al Nanomaterials 11 (4) 981 (2021)
  12. Hossain M A, Khoo K T et al Nano Materials Science 2 (3) 204 (2020)
  13. Ponomarenko V P, Popov V S et al J. Commun. Technol. Electron. 65 (9) 1062 (2020)
  14. Munir T, Mahmood A et al Layered 2D Advanced Materials and Their Allied Applications 1 (2020) p. 283
  15. Kolesnikov S V, Sidorenkov A V, Saletsky A M Jetp Lett. 111 (2) 116 (2020)
  16. Arya Ch, De Silva K K H, Yoshimura M J Mater Sci: Mater Electron 31 (24) 21821 (2020)
  17. Vyatkin A F Tech. Phys. Lett. 45 (2) 170 (2019)
  18. Nikolaev D V, Popov V I et al (AIP Conference Proceedings) Vol. 2035 (2018) p. 020014
  19. Haidari M M, Kim H et al Journal of Industrial and Engineering Chemistry 64 367 (2018)
  20. Prasad K, Bandara Ch et al Nanomaterials 7 (7) 170 (2017)
  21. Orellana Ch, Cunha T et al AIP Advances 7 (8) (2017)
  22. Krauß Peter, Engstler Jörg, Schneider Jörg J Beilstein J. Nanotechnol. 8 2017 (2017)
  23. Sidorenkov A V, Kolesnikov S V, Saletsky A M Mod. Phys. Lett. B 31 (31) 1750289 (2017)
  24. Kolypaev I M, Sobol’ O V et al 2016 International Conference on Nanomaterials: Application & Properties (NAP), (2016) p. 02CBNM06-1
  25. Rudskoy A I, Kol’tsova T S et al Met Sci Heat Treat 58 (1-2) 40 (2016)
  26. Sidorenkov A V, Kolesnikov S V, Saletsky A M Eur. Phys. J. B 89 (10) (2016)

© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение