Выпуски

 / 

2011

 / 

Май

  

Обзоры актуальных проблем


Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний


Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе 21, Харьков, 61002, Украина

Процессы реакционной диффузии в наноразмерных материалах во многом отличаются от аналогичных процессов в объёмных материалах. В обзоре представлены основные модели и экспериментальные данные по закономерностям диффузии и фазовым превращениям в наноразмерных многослойных системах в процессе их изготовления и последующего термического отжига. Методами высокоразрешающей электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифракции установлена кинетика роста аморфной силицидной фазы в многослойных периодических системах Sc/Si и Mo/Si. Предложена модель диффузии атомов кремния через аморфный силицид, который в процессе роста испытывает структурную релаксацию и кристаллизацию. Исследована анизотропия диффузии и роста силицидной фазы на соседних межфазных границах раздела, измерены параметры диффузии на самых ранних стадиях диффузионного отжига.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
PACS: 66.30.−h, 68.35.Fx, 68.65.−k (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0181.201105c.0491
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2011/5/c/
Цитата: Зубарев Е Н "Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний" УФН 181 491–520 (2011)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 24 июня 2010, 21 сентября 2010

English citation: Zubarev E N “Reactive diffusion in multilayer metal/silicon nanostructuresPhys. Usp. 54 473–498 (2011); DOI: 10.3367/UFNe.0181.201105c.0491

Список литературы (143) Статьи, ссылающиеся на эту (18) Похожие статьи (20) ↓

  1. С.В. Демишев, Ю.В. Косичкин и др. «Аморфные полупроводники, синтезированные закалкой под давлением» 164 195–229 (1994)
  2. Д.К. Белащенко «Механизмы диффузии в неупорядоченных системах (компьютерное моделирование)» 169 361–384 (1999)
  3. М.В. Кузнецов, А.С. Разинкин, А.Л. Ивановский «Оксидные наноструктуры на поверхности ниобия и родственные системы: эксперименты и ab initio расчёты» 180 1035–1054 (2010)
  4. В.И. Пунегов «Высокоразрешающая рентгеновская дифракция в кристаллических структурах с квантовыми точками» 185 449–478 (2015)
  5. В.П. Жданов, К.И. Замараев «Модель решеточного газа для описания хемосорбции на поверхности металлов» 149 635–670 (1986)
  6. А.И. Волокитин, Б.Н.Дж. Перссон «Радиационная передача тепла и бесконтактное трение между наноструктурами» 177 921–951 (2007)
  7. М.А. Ремнев, В.В. Климов «Метаповерхности: новый взгляд на уравнения Максвелла и новые методы управления светом» 188 169–205 (2018)
  8. Я.Е. Гегузин, Н.Н. Овчаренко «Поверхностная энергия и процессы на поверхности твердых тел» 76 283–328 (1962)
  9. Т.В. Тропин, Ю.В.П. Шмельцер, В.Л. Аксенов «Современные аспекты кинетической теории стеклования» 186 47–73 (2016)
  10. В.И. Балыкин, П.Н. Мелентьев «Оптика и спектроскопия единичной плазмонной наноструктуры» 188 143–168 (2018)
  11. В.Н. Минеев, А.И. Фунтиков «Об измерении вязкости расплавов металлов при высоких давлениях и расчетах вязкости применительно к ядру Земли» 174 727–742 (2004)
  12. Д.С. Сандитов, М.И. Ожован «Релаксационные аспекты перехода жидкость—стекло» 189 113–133 (2019)
  13. В.В. Бражкин, А.Г. Ляпин «Универсальный рост вязкости металлических расплавов в мегабарном диапазоне давлений: стеклообразное состояние внутреннего ядра Земли» 170 535–551 (2000)
  14. А.В. Гапонцев, В.В. Кондратьев «Диффузия водорода в неупорядоченных металлах и сплавах» 173 1107–1129 (2003)
  15. В.В. Бражкин, А.Г. Ляпин и др. «Где находится область сверхкритического флюида на фазовой диаграмме?» 182 1137–1156 (2012)
  16. В.В. Аристов, Л.Г. Шабельников «Современные достижения рентгеновской оптики преломления» 178 61–83 (2008)
  17. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния» 178 139–169 (2008)
  18. В.А. Гриценко «Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния» 178 727–737 (2008)
  19. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда сканирующего туннельного микроскопа» 176 913–930 (2006)
  20. В.А. Гриценко «Горячие электроны в оксиде кремния» 187 971–979 (2017)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2019
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение