Выпуски

 / 

2011

 / 

Май

  

Обзоры актуальных проблем


Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний


Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе 21, Харьков, 61002, Украина

Процессы реакционной диффузии в наноразмерных материалах во многом отличаются от аналогичных процессов в объёмных материалах. В обзоре представлены основные модели и экспериментальные данные по закономерностям диффузии и фазовым превращениям в наноразмерных многослойных системах в процессе их изготовления и последующего термического отжига. Методами высокоразрешающей электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифракции установлена кинетика роста аморфной силицидной фазы в многослойных периодических системах Sc/Si и Mo/Si. Предложена модель диффузии атомов кремния через аморфный силицид, который в процессе роста испытывает структурную релаксацию и кристаллизацию. Исследована анизотропия диффузии и роста силицидной фазы на соседних межфазных границах раздела, измерены параметры диффузии на самых ранних стадиях диффузионного отжига.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
English fulltext is available at IOP
PACS: 66.30.−h, 68.35.Fx, 68.65.−k (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0181.201105c.0491
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2011/5/c/
Цитата: Зубарев Е Н "Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний" УФН 181 491–520 (2011)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 24 июня 2010, 21 сентября 2010

English citation: Zubarev E N “Reactive diffusion in multilayer metal/silicon nanostructuresPhys. Usp. 54 473–498 (2011); DOI: 10.3367/UFNe.0181.201105c.0491

Список литературы (143) Статьи, ссылающиеся на эту (20) Похожие статьи (20) ↓

  1. В.В. Лидер «Многослойные рентгеновские интерференционные структуры» 189 1137–1171 (2019)
  2. С.В. Демишев, Ю.В. Косичкин и др. «Аморфные полупроводники, синтезированные закалкой под давлением» 164 195–229 (1994)
  3. Д.К. Белащенко «Механизмы диффузии в неупорядоченных системах (компьютерное моделирование)» 169 361–384 (1999)
  4. И.К. Разумов, А.Е. Ермаков и др. «Неравновесные фазовые превращения в сплавах при интенсивной пластической деформации» 190 785–810 (2020)
  5. М.В. Кузнецов, А.С. Разинкин, А.Л. Ивановский «Оксидные наноструктуры на поверхности ниобия и родственные системы: эксперименты и ab initio расчёты» 180 1035–1054 (2010)
  6. В.И. Пунегов «Высокоразрешающая рентгеновская дифракция в кристаллических структурах с квантовыми точками» 185 449–478 (2015)
  7. В.П. Жданов, К.И. Замараев «Модель решеточного газа для описания хемосорбции на поверхности металлов» 149 635–670 (1986)
  8. А.И. Волокитин, Б.Н.Дж. Перссон «Радиационная передача тепла и бесконтактное трение между наноструктурами» 177 921–951 (2007)
  9. М.А. Ремнев, В.В. Климов «Метаповерхности: новый взгляд на уравнения Максвелла и новые методы управления светом» 188 169–205 (2018)
  10. Я.Е. Гегузин, Н.Н. Овчаренко «Поверхностная энергия и процессы на поверхности твердых тел» 76 283–328 (1962)
  11. А.Г. Сыромятников, С.В. Колесников и др. «Формирование и свойства металлических атомных цепочек и проводов», принята к публикации
  12. Т.В. Тропин, Ю.В.П. Шмельцер, В.Л. Аксенов «Современные аспекты кинетической теории стеклования» 186 47–73 (2016)
  13. В.И. Балыкин, П.Н. Мелентьев «Оптика и спектроскопия единичной плазмонной наноструктуры» 188 143–168 (2018)
  14. В.Н. Минеев, А.И. Фунтиков «Об измерении вязкости расплавов металлов при высоких давлениях и расчетах вязкости применительно к ядру Земли» 174 727–742 (2004)
  15. Д.С. Сандитов, М.И. Ожован «Релаксационные аспекты перехода жидкость—стекло» 189 113–133 (2019)
  16. В.В. Бражкин, А.Г. Ляпин «Универсальный рост вязкости металлических расплавов в мегабарном диапазоне давлений: стеклообразное состояние внутреннего ядра Земли» 170 535–551 (2000)
  17. А.В. Гапонцев, В.В. Кондратьев «Диффузия водорода в неупорядоченных металлах и сплавах» 173 1107–1129 (2003)
  18. В.В. Бражкин, А.Г. Ляпин и др. «Где находится область сверхкритического флюида на фазовой диаграмме?» 182 1137–1156 (2012)
  19. В.А. Гриценко «Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния» 178 727–737 (2008)
  20. А.А. Шкляев, М. Ичикава «Предельно плотные массивы наноструктур германия и кремния» 178 139–169 (2008)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение