Выпуски

 / 

2011

 / 

Май

  

Обзоры актуальных проблем


Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний


Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», ул. Фрунзе 21, Харьков, 61002, Украина

Процессы реакционной диффузии в наноразмерных материалах во многом отличаются от аналогичных процессов в объёмных материалах. В обзоре представлены основные модели и экспериментальные данные по закономерностям диффузии и фазовым превращениям в наноразмерных многослойных системах в процессе их изготовления и последующего термического отжига. Методами высокоразрешающей электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифракции установлена кинетика роста аморфной силицидной фазы в многослойных периодических системах Sc/Si и Mo/Si. Предложена модель диффузии атомов кремния через аморфный силицид, который в процессе роста испытывает структурную релаксацию и кристаллизацию. Исследована анизотропия диффузии и роста силицидной фазы на соседних межфазных границах раздела, измерены параметры диффузии на самых ранних стадиях диффузионного отжига.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
English fulltext is available at IOP
PACS: 66.30.−h, 68.35.Fx, 68.65.−k (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0181.201105c.0491
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2011/5/c/
Цитата: Зубарев Е Н "Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний" УФН 181 491–520 (2011)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Поступила: 24 июня 2010, 21 сентября 2010

English citation: Zubarev E N “Reactive diffusion in multilayer metal/silicon nanostructuresPhys. Usp. 54 473–498 (2011); DOI: 10.3367/UFNe.0181.201105c.0491

Список литературы (143) Статьи, ссылающиеся на эту (20) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Zhu J, Ji B et al Applied Surface Science 515 146066 (2020)
  2. Kondrat’ev S Yu, Anastasiadi G P et al Materialia 7 100427 (2019)
  3. Lu M, Mao Y et al Chem. Commun. 54 8320 (2018)
  4. Drozdov M N, Drozdov Y N et al Thin Solid Films 661 65 (2018)
  5. (EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V) Vol. EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space V Development of depth-graded W/Si multilayer mirrors for x-ray focusing telescope application RenéHudecLadislavPinaRunzeQiQiushi HuangYangYangZhongZhangZhanshanWang10235 (2017) p. 102350G
  6. Molokhina L A, Rogalin V E et al Russ. J. Phys. Chem. 91 2302 (2017)
  7. Plusnin Nikolay I Modern Electronic Materials 3 57 (2017)
  8. Komissarova T A, Lebedev M V et al Semicond. Sci. Technol. 32 045012 (2017)
  9. Huang Q, Zhang J et al Opt. Express 24 15620 (2016)
  10. Knyazeva A G (AIP Conference Proceedings) Vol. 1683 (2015) p. 020084
  11. Drozdov M N, Drozdov Y N et al Thin Solid Films 577 11 (2015)
  12. Gao Q, Gu M et al Chem. Mater. 26 1660 (2014)
  13. Filatov A, Pogorelov A, Pogoryelov Y Phys. Status Solidi B 251 172 (2014)
  14. Lakshun N K, Ghanashyam K M Philosophical Magazine 94 3431 (2014)
  15. Dranenko A S, Lavrenko V A et al Powder Metall Met Ceram 52 572 (2014)
  16. Zhuravel’ I A, Bugaev E A et al Tech. Phys. 59 701 (2014)
  17. Gu M, Wang Zh et al ACS Nano 7 6303 (2013)
  18. Bozorg-Grayeli E, Li Z et al Journal of Applied Physics 112 083504 (2012)
  19. Ahamad M M, Ghanashyam K M Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 30 061203 (2012)
  20. Wang Ch-M, Li X et al Nano Lett. 12 1624 (2012)

© Успехи физических наук, 1918–2020
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение