RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 9, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2008

 / 

июль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния


Институт физики полупроводников СО РАН, просп. Ак. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Аморфные пленки окcида SiO2 и нитрида Si3N4 кремния являются двумя ключевыми диэлектриками в современных кремниевых приборах. В настоящее время кроме технологии получения стехиометрических пленок SiO2, Si3N4 разрабатывается технология создания нестехиометрических нитридов и оксидов кремния SiOxNy, SiNx, SiOx. Изменение химического состава этих соединений позволяет в широком диапазоне управлять их физическими (оптическими и электрическими) свойствами. Разработка технологии синтеза таких пленок требует детального понимания их атомной структуры. В обзоре систематизированы и обобщены современные представления об атомном строении нестехиометрических нитридов и оксидов кремния.

Текст pdf (910 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2008v051n07ABEH006592
PACS: 33.60.Fy, 61.43.−j, 61.66.Fn, 68.35.Dv, 71.55.Jv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0178.200807c.0727
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2008/7/c/
000260580700003
2-s2.0-55749101208
2008PhyU...51..699G
Цитата: Гриценко В А "Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния" УФН 178 727–737 (2008)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gritsenko V A “Atomic structure of the amorphous nonstoichiometric silicon oxides and nitrides” Phys. Usp. 51 699–708 (2008); DOI: 10.1070/PU2008v051n07ABEH006592

Список литературы (30) Статьи, ссылающиеся на эту (65) Похожие статьи (20) ↓

  1. Т.В. Перевалов, В.А. Гриценко «Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью» УФН 180 587–603 (2010)
  2. В.А. Гриценко «Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид» УФН 179 921–930 (2009)
  3. В.А. Гриценко «Горячие электроны в оксиде кремния» УФН 187 971–979 (2017)
  4. А.И. Гусев «Нестехиометрия и сверхструктуры» УФН 184 905–945 (2014)
  5. Р.А. Андриевский «Тугоплавкие соединения: новые подходы и результаты» УФН 187 296–310 (2017)
  6. А.И. Гусев «Высокоэнергетический размол нестехиометрических соединений» УФН 190 371–395 (2020)
  7. А.И. Гусев «Ближний порядок и диффузное рассеяние в нестехиометрических соединениях» УФН 176 717–743 (2006)
  8. А.И. Гусев, С.З. Назарова «Магнитная восприимчивость нестехиометрических соединений переходных d-металлов» УФН 175 681–704 (2005)
  9. Г.В. Козлов, В.У. Новиков «Кластерная модель аморфного состояния полимеров» УФН 171 717–764 (2001)
  10. Д.К. Белащенко «Механизмы диффузии в неупорядоченных системах (компьютерное моделирование)» УФН 169 361–384 (1999)
  11. В.П. Будаев «Стохастическая кластеризация поверхности при интенсивном взаимодействии плазмы с материалами» УФН 196 899–937 (2026)
  12. Ф.Ф. Комаров «Дефектообразование и трекообразование в твердых телах при облучении ионами сверхвысоких энергий» УФН 173 1287–1318 (2003)
  13. М.П. Тонконогов «Диэлектрическая спектроскопия кристаллов с водородными связями. Протонная релаксация» УФН 168 29–54 (1998)
  14. А.Р. Челядинский, Ф.Ф. Комаров «Дефектно-примесная инженерия в имплантированном кремнии» УФН 173 813–846 (2003)
  15. Л.В. Спивак «Синергические эффекты деформационного отклика в термодинамически открытых системах металл – водород» УФН 178 897–922 (2008)
  16. В.Л. Кузьмин, В.П. Романов «Когерентные эффекты при рассеянии света в неупорядоченных системах» УФН 166 247–278 (1996)
  17. Н.П. Кобелев, В.А. Хоник «Новые представления о природе образования металлических стёкол, их структурной релаксации и кристаллизации» УФН 193 717–736 (2023)
  18. Б.А. Клумов «Универсальные структурные свойства трёхмерных и двумерных расплавов» УФН 193 305–330 (2023)
  19. Л.Н. Демьянец «Высокотемпературные сверхпроводники: получение монокристаллов» УФН 161 (1) 71–142 (1991)
  20. А.И. Головашкин «Высокотемпературные сверхпроводящие керамики (обзор экспериментальных данных)» УФН 152 553–573 (1987)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение