RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2008

 / 

Июль

←  →

Обзоры актуальных проблем


Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния


Институт физики полупроводников СО РАН, просп. Ак. Лаврентьева 13, Новосибирск, 630090, Российская Федерация

Аморфные пленки окcида SiO2 и нитрида Si3N4 кремния являются двумя ключевыми диэлектриками в современных кремниевых приборах. В настоящее время кроме технологии получения стехиометрических пленок SiO2, Si3N4 разрабатывается технология создания нестехиометрических нитридов и оксидов кремния SiOxNy, SiNx, SiOx. Изменение химического состава этих соединений позволяет в широком диапазоне управлять их физическими (оптическими и электрическими) свойствами. Разработка технологии синтеза таких пленок требует детального понимания их атомной структуры. В обзоре систематизированы и обобщены современные представления об атомном строении нестехиометрических нитридов и оксидов кремния.

Текст pdf (910 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2008v051n07ABEH006592
PACS: 33.60.Fy, 61.43.−j, 61.66.Fn, 68.35.Dv, 71.55.Jv (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0178.200807c.0727
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2008/7/c/
000260580700003
2-s2.0-55749101208
2008PhyU...51..699G
Цитата: Гриценко В А "Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния" УФН 178 727–737 (2008)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Gritsenko V A “Atomic structure of the amorphous nonstoichiometric silicon oxides and nitrides” Phys. Usp. 51 699–708 (2008); DOI: 10.1070/PU2008v051n07ABEH006592

Список литературы (30) Статьи, ссылающиеся на эту (62) Похожие статьи (20) ↓

  1. Т.В. Перевалов, В.А. Гриценко «Применение и электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью» УФН 180 587–603 (2010)
  2. В.А. Гриценко «Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид» УФН 179 921–930 (2009)
  3. А.И. Гусев «Нестехиометрия и сверхструктуры» УФН 184 905–945 (2014)
  4. В.А. Гриценко «Горячие электроны в оксиде кремния» УФН 187 971–979 (2017)
  5. А.И. Гусев «Высокоэнергетический размол нестехиометрических соединений» УФН 190 371–395 (2020)
  6. А.И. Гусев «Ближний порядок и диффузное рассеяние в нестехиометрических соединениях» УФН 176 717–743 (2006)
  7. А.И. Гусев, С.З. Назарова «Магнитная восприимчивость нестехиометрических соединений переходных d-металлов» УФН 175 681–704 (2005)
  8. Р.А. Андриевский «Тугоплавкие соединения: новые подходы и результаты» УФН 187 296–310 (2017)
  9. Г.В. Козлов, В.У. Новиков «Кластерная модель аморфного состояния полимеров» УФН 171 717–764 (2001)
  10. Л.Н. Демьянец «Высокотемпературные сверхпроводники: получение монокристаллов» УФН 161 (1) 71–142 (1991)
  11. В.В. Бражкин, А.Г. Ляпин «Универсальный рост вязкости металлических расплавов в мегабарном диапазоне давлений: стеклообразное состояние внутреннего ядра Земли» УФН 170 535–551 (2000)
  12. Д.К. Белащенко «Механизмы диффузии в неупорядоченных системах (компьютерное моделирование)» УФН 169 361–384 (1999)
  13. Б.А. Клумов «Универсальные структурные свойства трёхмерных и двумерных расплавов» УФН 193 305–330 (2023)
  14. А.И. Головашкин «Высокотемпературные сверхпроводящие керамики (обзор экспериментальных данных)» УФН 152 553–573 (1987)
  15. В.А. Кизель, Ю.И. Красилов, В.И. Бурков «Экспериментальные исследования гиротропии кристаллов» УФН 114 295–349 (1974)
  16. И.М. Лифшиц «О структуре энергетического спектра и квантовых состояниях неупорядоченных конденсированных систем» УФН 83 617–663 (1964)
  17. А.Р. Челядинский, Ф.Ф. Комаров «Дефектно-примесная инженерия в имплантированном кремнии» УФН 173 813–846 (2003)
  18. Л.В. Спивак «Синергические эффекты деформационного отклика в термодинамически открытых системах металл-водород» УФН 178 897–922 (2008)
  19. Р. Фольк, Ю. Головач, Т. Яворский «Критические показатели трехмерной слабо разбавленной замороженной модели Изинга» УФН 173 175–200 (2003)
  20. Б.И. Шкловский, А.Л. Эфрос «Теория протекания и проводимость сильно неоднородных сред» УФН 117 401–435 (1975)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение