Выпуски

 / 

2007

 / 

Июль

  

Конференции и симпозиумы


Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии

 а,  б,  в
а Институт спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация
б ASML Netherlands B.V., De Run 6501, Veldhoven, 5504, The Netherlands
в Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.

Текст pdf (154 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006321
PACS: 42.72.−g, 42.82.Cr (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200707h.0777
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/h/
Цитата: Кошелев К Н, Банин В Е, Салащенко Н Н "Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии" УФН 177 777 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Koshelev K N, Banine V E, Salashchenko N N “Research and development in short-wave radiation sources for new-generation lithographyPhys. Usp. 50 741–744 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006321

Список литературы (6) Статьи, ссылающиеся на эту (3) Похожие статьи (20) ↓

  1. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» 177 777–780 (2007)
  2. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» 189 323–334 (2019)
  3. Ю.Е. Лозовик, А.М. Попов «Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок» 177 786–799 (2007)
  4. В.И. Балыкин «Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур» 177 780–786 (2007)
  5. А.Н. Рябцев, С.С. Чурилов «Спектроскопия ионизованных атомов для астрофизики и нанотехнологии» 179 305–309 (2009)
  6. О.Н. Крохин «Передача электрической энергии посредством лазерного излучения» 176 441 (2006)
  7. Ю.Е. Лозовик, С.П. Меркулова, А.А. Соколик «Коллективные электронные явления в графене» 178 757–776 (2008)
  8. В.С. Птускин «О происхождении галактических космических лучей» 177 558–565 (2007)
  9. С.В. Попова, В.В. Бражкин, Т.И. Дюжева «Структурные фазовые переходы в сильно сжатом веществе и синтез фаз высокого давления» 178 1104–1106 (2008)
  10. К.М. Салихов «Времяразрешенная ЭПР-спектроскопия неравновесных спиновых систем, создаваемых в ходе спин-зависимых фотофизических и фотохимических процессов в конденсированных средах» 176 664–668 (2006)
  11. А.А. Маненков «О роли электронного парамагнитного резонанса в становлении и развитии квантовой электроники: факты и комментарии» 176 669–673 (2006)
  12. Е.М. Дижур, В.А. Вентцель, А.Н. Вороновский «Квантовый транспорт при высоких давлениях» 178 1111–1118 (2008)
  13. Л.Н. Джавадов, Е.Л. Громницкая и др. «Исследования термодинамических, упругих, сверхпроводящих и магнитных свойств веществ под давлением» 178 1106–1110 (2008)
  14. В.Н. Рыжов, А.Ф. Барабанов и др. «Теоретические исследования конденсированных сред» 178 1118–1124 (2008)
  15. Л.Г. Хвостанцев, В.Н. Слесарев «Аппараты высокого давления большого объема для физических исследований» 178 1099–1104 (2008)
  16. С.М. Стишов «Институту физики высоких давлений им. Л.Ф. Верещагина РАН — 50 лет (вступительное слово)» 178 1095–1099 (2008)
  17. А.В. Горбунов, В.Б. Тимофеев и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, посвященная 60-летию Казанского физико-технического института им. Е.К. Завойского Казанского научного центра РАН (9 февраля 2006 г.)» 176 651–657 (2006)
  18. С.М. Стишов, Л.Г. Хвостанцев и др. «К 50-летию Института физики высоких давлений им. Л.Ф. Верещагина. Выездная научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 23 апреля 2008 г.» 178 1095–1124 (2008)
  19. С.В. Морозов, К.С. Новоселов, А.К. Гейм «Электронный транспорт в графене» 178 776–780 (2008)
  20. А.В. Горбунов, В.Б. Тимофеев «Бозе-конденсация межъямных экситонов и пространственная структура люминесценции в латеральных ловушках» 176 651 (2006)

Список формируется автоматически.

© Успехи физических наук, 1918–2022
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение