RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2025 Получить статью →
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов
Поиск →

Выпуски

 / 

2007

 / 

Июль

←  →

Конференции и симпозиумы


Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии

 а,  б,  в
а Институт спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация
б ASML Netherlands B.V., De Run 6501, Veldhoven, 5504, The Netherlands
в Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.

Текст pdf (154 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006321
PACS: 42.72.−g, 42.82.Cr (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200707h.0777
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/h/
2-s2.0-35948961904
2007PhyU...50..741K
Цитата: Кошелев К Н, Банин В Е, Салащенко Н Н "Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии" УФН 177 777 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Koshelev K N, Banine V E, Salashchenko N N “Research and development in short-wave radiation sources for new-generation lithography” Phys. Usp. 50 741–744 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006321

Список литературы (6) Статьи, ссылающиеся на эту (3) Похожие статьи (20) ↓

  1. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» УФН 177 777–780 (2007)
  2. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 323–334 (2019)
  3. В.И. Балыкин «Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур» УФН 177 780–786 (2007)
  4. Ю.Е. Лозовик, А.М. Попов «Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок» УФН 177 786–799 (2007)
  5. А.Н. Рябцев, С.С. Чурилов «Спектроскопия ионизованных атомов для астрофизики и нанотехнологии» УФН 179 305–309 (2009)
  6. О.Н. Крохин «Передача электрической энергии посредством лазерного излучения» УФН 176 441 (2006)
  7. Ю.Е. Лозовик, С.П. Меркулова, А.А. Соколик «Коллективные электронные явления в графене» УФН 178 757–776 (2008)
  8. В.С. Птускин «О происхождении галактических космических лучей» УФН 177 558–565 (2007)
  9. А.В. Горбунов, В.Б. Тимофеев «Бозе-конденсация межъямных экситонов и пространственная структура люминесценции в латеральных ловушках» УФН 176 651 (2006)
  10. С.М. Стишов, Л.Г. Хвостанцев и др. «К 50-летию Института физики высоких давлений им. Л.Ф. Верещагина. Выездная научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 23 апреля 2008 г.» УФН 178 1095–1124 (2008)
  11. А.И. Смирнов «Моды магнитного резонанса в спин-щелевых магнетиках» УФН 176 673–676 (2006)
  12. В.Н. Рыжов, А.Ф. Барабанов и др. «Теоретические исследования конденсированных сред» УФН 178 1118–1124 (2008)
  13. Е.М. Дижур, В.А. Вентцель, А.Н. Вороновский «Квантовый транспорт при высоких давлениях» УФН 178 1111–1118 (2008)
  14. С.В. Попова, В.В. Бражкин, Т.И. Дюжева «Структурные фазовые переходы в сильно сжатом веществе и синтез фаз высокого давления» УФН 178 1104–1106 (2008)
  15. Л.Г. Хвостанцев, В.Н. Слесарев «Аппараты высокого давления большого объема для физических исследований» УФН 178 1099–1104 (2008)
  16. С.В. Чекалин «Уникальный фемтосекундный спектрометрический комплекс как инструмент для ультрабыстрой спектроскопии, фемтохимии и нанооптики» УФН 176 657–664 (2006)
  17. С.М. Стишов «Институту физики высоких давлений им. Л.Ф. Верещагина РАН — 50 лет (вступительное слово)» УФН 178 1095–1099 (2008)
  18. Л.Н. Джавадов, Е.Л. Громницкая и др. «Исследования термодинамических, упругих, сверхпроводящих и магнитных свойств веществ под давлением» УФН 178 1106–1110 (2008)
  19. И.А. Гарифуллин «Эффект близости сверхпроводник/ферромагнетик и его возможное использование в спинтронике» УФН 176 676–679 (2006)
  20. А.А. Маненков «О роли электронного парамагнитного резонанса в становлении и развитии квантовой электроники: факты и комментарии» УФН 176 669–673 (2006)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2025
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение