RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2007

 / 

июль

←  →

Конференции и симпозиумы


Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии

 а,  б,  в
а Институт спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация
б ASML Netherlands B.V., De Run 6501, Veldhoven, 5504, The Netherlands
в Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация

31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик  Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.

Текст pdf (154 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006321
PACS: 42.72.−g, 42.82.Cr (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200707h.0777
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/h/
2-s2.0-35948961904
2007PhyU...50..741K
Цитата: Кошелев К Н, Банин В Е, Салащенко Н Н "Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии" УФН 177 777 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Koshelev K N, Banine V E, Salashchenko N N “Research and development in short-wave radiation sources for new-generation lithography” Phys. Usp. 50 741–744 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n07ABEH006321

Список литературы (6) Статьи, ссылающиеся на эту (3) Похожие статьи (20) ↓

  1. К.Н. Кошелев, В.Е. Банин и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (31 января 2007 г.)» УФН 177 777–780 (2007)
  2. Д.Б. Абраменко, П.С. Анциферов и др. «Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)» УФН 189 323–334 (2019)
  3. А.Н. Рябцев, С.С. Чурилов «Спектроскопия ионизованных атомов для астрофизики и нанотехнологии» УФН 179 305–309 (2009)
  4. В.И. Балыкин «Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур» УФН 177 780–786 (2007)
  5. Ю.Е. Лозовик, А.М. Попов «Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок» УФН 177 786–799 (2007)
  6. «Плазмоника (Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 21 февраля 2012 г.)» УФН 182 1111–1135 (2012)
  7. Б.М. Болотовский, А.Н. Лебедев «Академик В.И. Векслер» УФН 177 889 (2007)
  8. В.С. Птускин «О происхождении галактических космических лучей» УФН 177 558–565 (2007)
  9. В.И. Белявский, Ю.В. Копаев «Уравнения Гинзбурга – Ландау для высокотемпературных сверхпроводников» УФН 177 565–570 (2007)
  10. Ю.В. Гуляев, П.Е. Зильберман, Э.М. Эпштейн «Наноразмерные структуры с включением ферромагнитных металлических слоев: новые эффекты при прохождении перпендикулярного тока» УФН 178 433 (2008)
  11. Ю.Е. Лозовик, С.П. Меркулова и др. «Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук (27 февраля 2008 г.)» УФН 178 757–780 (2008)
  12. Ю.Е. Лозовик, С.П. Меркулова, А.А. Соколик «Коллективные электронные явления в графене» УФН 178 757–776 (2008)
  13. С.В. Морозов, К.С. Новоселов, А.К. Гейм «Электронный транспорт в графене» УФН 178 776–780 (2008)
  14. Ю.А. Косевич «Многоканальное распространение и рассеяние фононов и фотонов в низкоразмерных наноструктурах» УФН 178 884–896 (2008)
  15. «Объединенная научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук и Объединенного физического общества Российской Федерации по обратным волнам (25 января 2006 г.)» УФН 176 557–562 (2006)
  16. «Астрофизика и астрономия (Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 26 января 2011 г.)» УФН 181 1097–1122 (2011)
  17. «К 100-летию со дня рождения академика В.В. Мигулина (Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук, 28 сентября 2011 г.)» УФН 182 323–336 (2012)
  18. Е.М. Дианов «А.М. Прохоров и квантовая электроника» УФН 177 677 (2007)
  19. Н.В. Карлов, В.И. Конов и др. «А.М. Прохоров — основатель Института общей физики» УФН 177 684–689 (2007)
  20. В.А. Никитин «Исследования на Синхрофазотроне» УФН 177 905–914 (2007)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение