Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии
К.Н. Кошелева,
В.Е. Банинб,
Н.Н. Салащенков аИнститут спектроскопии РАН, ул. Физическая 5, Троицк, Москва, 108840, Российская Федерация бASML Netherlands B.V., De Run 6501, Veldhoven, 5504, The Netherlands вИнститут физики микроструктур РАН, ул. Ульянова 46, Нижний Новгород, 603950, Российская Федерация
31 января 2007 г. в конференц-зале Физического института им. П.Н. Лебедева РАН состоялась Научная сессия Отделения физических наук Российской академии наук. На сессии были заслушаны доклады:
1. Кошелев К.Н. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.), Банин В.Е. (ASML, Veldhoven, Нидерланды), Салащенко Н.Н. (Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород). Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии.
2. Балыкин В.И. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Атомно-проекционная параллельная фабрикация наноструктур.
3. Лозовик Ю.Е., Попов А.М. (Институт спектроскопии РАН, г. Троицк, Московская обл.). Свойства и нанотехнологические применения нанотрубок
Публикуется краткое содержание докладов.
@article{Koshelev:2007,author = {К. Н. Кошелев and В. Е. Банин and Н. Н. Салащенко},title = {Работы по созданию источников коротковолнового излучения для нового поколения литографии},publisher = {Успехи физических наук},year = {2007},journal = {Усп. физ. наук},volume = {177},number = {7},pages = {777},url = {https://ufn.ru/ru/articles/2007/7/h/},doi = {10.3367/UFNr.0177.200707h.0777}}