Магнетронная плазма и нанотехнология

П.В. Каштанов^а, Б.М. Смирнов^б, Р. Хипплер^в
^аИнститут высоких температур, Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Российская Федерация
^бОбъединенный институт высоких температур РАН, ул. Ижорская 13/19, Москва, 127412, Российская Федерация
^вInstitute of Physics, University of Greifswald, Greifswald, Germany

Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007)

BibTexBibNote ® (generic)

BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

Русский

English

TY JOUR
TI Магнетронная плазма и нанотехнология
AU Каштанов, П. В.
AU Смирнов, Б. М.
AU Хипплер, Р.
PB Успехи физических наук
PY 2007
JO Успехи физических наук
JF Успехи физических наук
JA Усп. физ. наук
VL 177
IS 5
SP 473-510
UR https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200705a.0473

English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138