Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все) DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473 URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/ 000249374100001 2-s2.0-34548594195 2007PhyU...50..455K Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007) BibTexBibNote ® (generic) BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks Русский English TY JOUR TI Magnetron plasma and nanotechnology AU Kashtanov, P. V. AU Smirnov, B. M. AU Hippler, R. PB Uspekhi Fizicheskikh Nauk PY 2007 JO Uspekhi Fizicheskikh Nauk JF Uspekhi Fizicheskikh Nauk JA Usp. Fiz. Nauk VL 177 IS 5 SP 473-510 UR https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/ ER https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200705a.0473 English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138