Выпуски

 / 

2007

 / 

Май

  

Обзоры актуальных проблем


Магнетронная плазма и нанотехнология

 а,  б,  в
а Институт высоких температур, Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Российская Федерация
б Объединенный институт высоких температур РАН, ул. Ижорская 13/19, Москва, 127412, Российская Федерация
в Institute of Physics, University of Greifswald, Greifswald, Germany

Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

Текст: pdf
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы получить доступ к полным текстам статей.
English fulltext is available at IOP
PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnologyPhys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138

Список литературы (254) Статьи, ссылающиеся на эту (80) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Grammatikopoulos P, Kumar S Frontiers of Nanoscience Vol. Cluster Beam Deposition of Functional Nanomaterials and Devices15 (2020) p. 87
  2. Gabriela C L, Acsente T et al Nanomaterials - Toxicity, Human Health and Environment Chapter 5 (2020)
  3. Chami A, Arnas C J. Plasma Phys. 86 (5) (2020)
  4. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Tech. Phys. Lett. 46 42 (2020)
  5. Soler-Morala J, Jefremovas E M et al Applied Nano 1 87 (2020)
  6. Ferrari P, Sanzone G et al Nanoalloys (2020) p. 1
  7. Grammatikopoulos P Current Opinion in Chemical Engineering 23 164 (2019)
  8. Prudnikov A, Pashkevich Yu et al Advances in Thin Films, Nanostructured Materials, and Coatings Lecture Notes in Mechanical Engineering Chapter 20 (2019) p. 197
  9. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 28 035008 (2019)
  10. Gradov V M, Zimin A M et al Phys. Atom. Nuclei 82 1376 (2019)
  11. Kovtun Yu V, Shapoval A N, Siusko Y V Plasma Sources Sci. Technol. 28 105009 (2019)
  12. Arnas C, Chami A et al Physics of Plasmas 26 053706 (2019)
  13. Filippov A V, Pal A F et al J. Phys.: Conf. Ser. 946 012149 (2018)
  14. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 27 065010 (2018)
  15. Budaev V P Physics Letters A 381 3706 (2017)
  16. Budaev V P Jetp Lett. 105 307 (2017)
  17. Haberland H Gas-Phase Synthesis of Nanoparticles (2017) p. 1
  18. Hippler R, Cada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 50 445205 (2017)
  19. Lukin V G, Khvostenko O G Успехи физических наук 187 981 (2017)
  20. Pashkevich Yu, Prudnikov A et al 2017 IEEE 7th International Conference Nanomaterials: Application & Properties (NAP), (2017) p. 02NTF30-1
  21. Abduev A Kh, Akhmedov A K et al Crystallogr. Rep. 62 133 (2017)
  22. Smirnov B M Успехи физических наук 187 1329 (2017)
  23. Stranak V, Hippler R Gas-Phase Synthesis of Nanoparticles (2017) p. 203
  24. Aussems D U B, Khrapak S A et al Physics of Plasmas 24 113702 (2017)
  25. Herrendorf A-P, Sushkov V, Hippler R Journal of Applied Physics 121 123303 (2017)
  26. Mokhnenko М  І, Varyukhin V  M et al Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 37 741 (2016)
  27. Ahadi A M, Hinz A et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 34 021301 (2016)
  28. Ferrec A, Kéraudy Ju, Jouan P-Y Applied Surface Science 390 497 (2016)
  29. Sushkov V, Herrendorf A-P, Hippler R J. Phys. D: Appl. Phys. 49 425201 (2016)
  30. Grammatikopoulos P, Steinhauer S et al Advances in Physics: X 1 81 (2016)
  31. Zeniieh D, Rostas A M et al Plasma Process. Polym. 13 744 (2016)
  32. Smirnov B M, Son E E High Temp 53 742 (2015)
  33. Zhao Ju, Singh V et al Phys. Rev. B 91 (3) (2015)
  34. Ganeva M, Kashtanov P V et al Успехи физических наук 185 619 (2015) [Ganeva M, Kashtanov P V et al Phys.-Usp. 58 579 (2015)]
  35. Blažek J, Kousal J et al J. Phys. D: Appl. Phys. 48 415202 (2015)
  36. Baitimbetova B A, Vermenichev B M et al Russ Phys J 58 394 (2015)
  37. Ivanov A S, Pal A F et al Russ J Gen Chem 85 1270 (2015)
  38. Rogov A V, Kapustin Yu V, Martynenko Yu V Tech. Phys. 60 283 (2015)
  39. Acsente T, Negrea R F et al Eur. Phys. J. D 69 (6) (2015)
  40. Maicu M, Schmittgens R et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 32 02B113 (2014)
  41. Ganeva M, Kashtanov P V et al Vacuum 110 140 (2014)
  42. Singh V, Cassidy C et al J. Phys. Chem. C 118 13869 (2014)
  43. Bray K R, Jiao Ch Q, DeCerbo Je N Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 32 031805 (2014)
  44. (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014) Vol. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014Surface treatment of polyimide film for metal magnetron deposition in vacuumAlexander A.OrlikovskyV.PetrovD.VertyanovS.TimoshenkovV.Nikolaev9440 (2014) p. 94400A
  45. Drache S, Stranak V et al Journal of Applied Physics 116 143303 (2014)
  46. Tolstoguzov A B, Drozdov M N et al J Anal Chem 69 1245 (2014)
  47. Rawat R S IEEE Trans. Plasma Sci. 41 701 (2013)
  48. Ahadi A M, Zaporojtchenko V et al J Nanopart Res 15 (12) (2013)
  49. Rai A, Mutzke A et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 316 6 (2013)
  50. Cassidy C, Singh V et al Sci Rep 3 (1) (2013)
  51. Ganeva M, Pipa A V et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 045011 (2013)
  52. Nafarizal N, Sasaki K J. Phys. D: Appl. Phys. 45 505202 (2012)
  53. Muslimov A E, Butashin A V et al Crystallogr. Rep. 57 415 (2012)
  54. Ganeva M, Pipa A V, Hippler R Surface and Coatings Technology 213 41 (2012)
  55. Kvasov N T, Pun’ko A V et al J. Synch. Investig. 6 145 (2012)
  56. Sushkov V, Do H T et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 015002 (2012)
  57. Kudryavtseva E N, Pichugin V F et al J. Synch. Investig. 6 688 (2012)
  58. Rogov A V, Fanchenko S S Tech. Phys. 57 286 (2012)
  59. Martynenko Yu V, Rogov A V, Shul’ga V I Tech. Phys. 57 439 (2012)
  60. Peter T, Polonskyi O et al Journal of Applied Physics 112 114321 (2012)
  61. Ganeva M, Peter T et al Contrib. Plasma Phys. 52 881 (2012)
  62. Gradov V M, Zimin A M et al Plasma Phys. Rep. 38 1099 (2012)
  63. Peter T, Wegner M et al Surface and Coatings Technology 205 S38 (2011)
  64. Straňák V, Block S et al Surface and Coatings Technology 205 2755 (2011)
  65. Okunev V D, Lewandowski S J et al Phys. Solid State 53 13 (2011)
  66. Goncharov A V, Kashtanov P V High Temp 49 178 (2011)
  67. Smirnov B M Uspekhi Fizicheskikh Nauk 181 713 (2011)
  68. Nikolaenko Yu M, Mukhin A B et al Tech. Phys. 55 1189 (2010)
  69. Kashtanov P V, Smirnov B M High Temp 48 846 (2010)
  70. Knyazeva A G, Shanin S A Russ Phys J 53 83 (2010)
  71. MOTEGI Nobuo, KUREHASHI Miki et al Japanese Journal of Environmental Infections 25 302 (2010)
  72. Hippler R, Bhattacharyya S R, Smirnov B M Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics Vol. Introduction to Complex Plasmas59 Chapter 12 (2010) p. 299
  73. Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R EPL 91 63001 (2010)
  74. Cluster Processes in Gases and Plasmas (2010) p. 423
  75. Kabaldin Yu G, Seryi S V et al Russ. Engin. Res. 30 235 (2010)
  76. Straňák V, Čada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 42 105204 (2009)
  77. Blonskii I V, Goncharov A A et al Tech. Phys. 54 1052 (2009)
  78. Ekpe S D, Jimenez F J et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 27 1275 (2009)
  79. Berndt J, Kovačević E et al Contrib. Plasma Phys. 49 107 (2009)
  80. Lukyanov G A, Nikolaeva L Yu, Bykov N Yu Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 16 551 (2008)

© Успехи физических наук, 1918–2021
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение