RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2007

 / 

Май

←  →

Обзоры актуальных проблем


Магнетронная плазма и нанотехнология

 а,  б,  в
а Институт высоких температур, Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Российская Федерация
б Объединенный институт высоких температур РАН, ул. Ижорская 13/19, Москва, 127412, Российская Федерация
в Institute of Physics, University of Greifswald, Greifswald, Germany

Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

Текст pdf (622 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138
PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
000249374100001
2-s2.0-34548594195
2007PhyU...50..455K
Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138

Список литературы (254) Статьи, ссылающиеся на эту (94) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Knabl F, Bandl Ch et al 42 (2) (2024)
  2. Zikmund Tomáš, Bulíř J et al Materials 16 1591 (2023)
  3. Curda P, Hippler R et al Surface and Coatings Technology 473 130045 (2023)
  4. Grammatikopoulos P, Bouloumis T, Steinhauer S Phys. Chem. Chem. Phys. 25 897 (2023)
  5. Curda P, Kaftan D et al Applied Surface Science 640 158307 (2023)
  6. Okunev V D, Szymczak H 133 (8) (2023)
  7. Arnas C, Guidez T et al 29 (7) (2022)
  8. Sanzone G, Field S et al ACS Appl. Mater. Interfaces 14 10154 (2022)
  9. Sanzone G, Yin J, Sun H Front. Chem. Sci. Eng. 15 1360 (2021)
  10. Sanzone G, Yin J et al 92 (3) (2021)
  11. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Phys. Solid State 63 603 (2021)
  12. Batková Š, Kozák T et al Surface and Coatings Technology 417 127196 (2021)
  13. Longo S, Micca L G et al Nanotechnology 32 145604 (2021)
  14. Abduev A, Akhmedov A et al J. Phys.: Conf. Ser. 2056 012046 (2021)
  15. Gabriela C L, Acsente T et al Nanomaterials - Toxicity, Human Health and Environment Chapter 5 (2020)
  16. Chami A, Arnas C J. Plasma Phys. 86 (5) (2020)
  17. Soler-Morala J, Jefremovas E M et al Applied Nano 1 87 (2020)
  18. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Tech. Phys. Lett. 46 42 (2020)
  19. Ferrari P, Sanzone G et al Nanoalloys (2020) p. 1
  20. Grammatikopoulos P, Kumar S Frontiers of Nanoscience Vol. Cluster Beam Deposition of Functional Nanomaterials and DevicesCluster nanoportals for the hydrogenation of underlying nanofilms15 (2020) p. 87
  21. Prudnikov A, Pashkevich Yu et al Advances in Thin Films, Nanostructured Materials, and Coatings Lecture Notes in Mechanical Engineering Chapter 20 (2019) p. 197
  22. Arnas C, Chami A et al 26 (5) (2019)
  23. Gradov V M, Zimin A M et al Phys. Atom. Nuclei 82 1376 (2019)
  24. Grammatikopoulos P Current Opinion in Chemical Engineering 23 164 (2019)
  25. Kovtun Yu V, Shapoval A N, Siusko Y V Plasma Sources Sci. Technol. 28 105009 (2019)
  26. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 28 035008 (2019)
  27. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 27 065010 (2018)
  28. Filippov A V, Pal A F et al J. Phys.: Conf. Ser. 946 012149 (2018)
  29. Haberland H Gas‐Phase Synthesis of Nanoparticles 1 (2017) p. 1
  30. Hippler R, Cada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 50 445205 (2017)
  31. Budaev V P Physics Letters A 381 3706 (2017)
  32. Pashkevich Yu, Prudnikov A et al 2017 IEEE 7th International Conference Nanomaterials: Application & Properties (NAP), (2017) p. 02NTF30-1
  33. Aussems D U B, Khrapak S A et al 24 (11) (2017)
  34. Stranak V, Hippler R Gas‐Phase Synthesis of Nanoparticles 1 (2017) p. 203
  35. Abduev A Kh, Akhmedov A K et al Crystallogr. Rep. 62 133 (2017)
  36. Budaev V P Jetp Lett. 105 307 (2017)
  37. Lukin V G, Khvostenko O G Успехи физических наук 187 981 (2017)
  38. Herrendorf A-P, Sushkov V, Hippler R 121 (12) (2017)
  39. Smirnov B M Успехи физических наук 187 1329 (2017)
  40. Sushkov V, Herrendorf A-P, Hippler R J. Phys. D: Appl. Phys. 49 425201 (2016)
  41. Zeniieh D, Rostas A M et al Plasma Process. Polym. 13 744 (2016)
  42. Ahadi A M, Hinz A et al 34 (2) (2016)
  43. Mokhnenko М  І, Varyukhin V  M et al Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 37 741 (2016)
  44. Ferrec A, Kéraudy Ju, Jouan P-Y Applied Surface Science 390 497 (2016)
  45. Grammatikopoulos P, Steinhauer S et al Advances in Physics: X 1 81 (2016)
  46. Baitimbetova B A, Vermenichev B M et al Russ Phys J 58 394 (2015)
  47. Ivanov A S, Pal A F et al Russ J Gen Chem 85 1270 (2015)
  48. Blažek J, Kousal J et al J. Phys. D: Appl. Phys. 48 415202 (2015)
  49. Rogov A V, Kapustin Yu V, Martynenko Yu V Tech. Phys. 60 283 (2015)
  50. Ganeva M, Kashtanov P V et al Успехи физических наук 185 619 (2015) [Ganeva M, Kashtanov P V et al Phys.-Usp. 58 579 (2015)]
  51. Acsente T, Negrea R F et al Eur. Phys. J. D 69 (6) (2015)
  52. Smirnov B M, Son E E High Temp 53 742 (2015)
  53. Zhao Ju, Singh V et al Phys. Rev. B 91 (3) (2015)
  54. (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014) Vol. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014Surface treatment of polyimide film for metal magnetron deposition in vacuumAlexander A.OrlikovskyV.PetrovD.VertyanovS.TimoshenkovV.Nikolaev9440 (2014) p. 94400A
  55. Singh V, Cassidy C et al J. Phys. Chem. C 118 13869 (2014)
  56. Tolstoguzov A B, Drozdov M N et al J Anal Chem 69 1245 (2014)
  57. Maicu M, Schmittgens R et al 32 (2) (2014)
  58. Drache S, Stranak V et al 116 (14) (2014)
  59. Ganeva M, Kashtanov P V et al Vacuum 110 140 (2014)
  60. Bray K R, Jiao Ch Q, DeCerbo Je N 32 (3) (2014)
  61. Ahadi A M, Zaporojtchenko V et al J Nanopart Res 15 (12) (2013)
  62. Rai A, Mutzke A et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 316 6 (2013)
  63. Cassidy C, Singh V et al Sci Rep 3 (1) (2013)
  64. Ganeva M, Pipa A V et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 045011 (2013)
  65. Rawat R S IEEE Trans. Plasma Sci. 41 701 (2013)
  66. Muslimov A E, Butashin A V et al Crystallogr. Rep. 57 415 (2012)
  67. Sushkov V, Do H T et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 015002 (2012)
  68. Ganeva M, Pipa A V, Hippler R Surface and Coatings Technology 213 41 (2012)
  69. Kvasov N T, Pun’ko A V et al J. Synch. Investig. 6 145 (2012)
  70. Ganeva M, Peter T et al Contrib. Plasma Phys. 52 881 (2012)
  71. Nafarizal N, Sasaki K J. Phys. D: Appl. Phys. 45 505202 (2012)
  72. Gradov V M, Zimin A M et al Plasma Phys. Rep. 38 1099 (2012)
  73. Peter T, Polonskyi O et al 112 (11) (2012)
  74. Martynenko Yu V, Rogov A V, Shul’ga V I Tech. Phys. 57 439 (2012)
  75. Rogov A V, Fanchenko S S Tech. Phys. 57 286 (2012)
  76. Kudryavtseva E N, Pichugin V F et al J. Synch. Investig. 6 688 (2012)
  77. Goncharov A V, Kashtanov P V High Temp 49 178 (2011)
  78. Peter T, Wegner M et al Surface and Coatings Technology 205 S38 (2011)
  79. Okunev V D, Lewandowski S J et al Phys. Solid State 53 13 (2011)
  80. Smirnov B M Uspekhi Fizicheskikh Nauk 181 713 (2011)
  81. Straňák V, Block S et al Surface and Coatings Technology 205 2755 (2011)
  82. Hippler R, Bhattacharyya S R, Smirnov B M Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics Vol. Introduction to Complex PlasmasFormation and Deposition of Nanosize Particles on Surfaces59 Chapter 12 (2010) p. 299
  83. Cluster Processes in Gases and Plasmas 1 (2010) p. 423
  84. Nikolaenko Yu M, Mukhin A B et al Tech. Phys. 55 1189 (2010)
  85. Knyazeva A G, Shanin S A Russ Phys J 53 83 (2010)
  86. Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R EPL 91 63001 (2010)
  87. Kashtanov P V, Smirnov B M High Temp 48 846 (2010)
  88. MOTEGI Nobuo, KUREHASHI Miki et al Japanese Journal of Environmental Infections 25 302 (2010)
  89. Kabaldin Yu G, Seryi S V et al Russ. Engin. Res. 30 235 (2010)
  90. Blonskii I V, Goncharov A A et al Tech. Phys. 54 1052 (2009)
  91. Ekpe S D, Jimenez F J et al 27 1275 (2009)
  92. Straňák V, Čada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 42 105204 (2009)
  93. Berndt J, Kovačević E et al Contrib. Plasma Phys. 49 107 (2009)
  94. Lukyanov G A, Nikolaeva L Yu, Bykov N Yu Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 16 551 (2008)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение