RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2007

 / 

Май

←  →

Обзоры актуальных проблем


Магнетронная плазма и нанотехнология

 а,  б,  в
а Институт высоких температур, Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Российская Федерация
б Объединенный институт высоких температур РАН, ул. Ижорская 13/19, Москва, 127412, Российская Федерация
в Institute of Physics, University of Greifswald, Greifswald, Germany

Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

Текст pdf (622 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138
PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
000249374100001
2-s2.0-34548594195
2007PhyU...50..455K
Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138

Список литературы (254) Статьи, ссылающиеся на эту (97) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Ahadi A M, Tjardts T et al Vacuum 231 113794 (2025)
  2. Bohra M, Giaremis S et al Advanced Science 11 (43) (2024)
  3. Gushenets V I, Bugaev A S et al Tech. Phys. 69 1967 (2024)
  4. Knabl F, Bandl Ch et al 42 (2) (2024)
  5. Okunev V D, Szymczak H 133 (8) (2023)
  6. Curda P, Hippler R et al Surface and Coatings Technology 473 130045 (2023)
  7. Grammatikopoulos P, Bouloumis T, Steinhauer S Phys. Chem. Chem. Phys. 25 897 (2023)
  8. Zikmund Tomáš, Bulíř J et al Materials 16 1591 (2023)
  9. Curda P, Kaftan D et al Applied Surface Science 640 158307 (2023)
  10. Sanzone G, Field S et al ACS Appl. Mater. Interfaces 14 10154 (2022)
  11. Arnas C, Guidez T et al 29 (7) (2022)
  12. Abduev A, Akhmedov A et al J. Phys.: Conf. Ser. 2056 012046 (2021)
  13. Batková Š, Kozák T et al Surface and Coatings Technology 417 127196 (2021)
  14. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Phys. Solid State 63 603 (2021)
  15. Sanzone G, Yin J et al 92 (3) (2021)
  16. Sanzone G, Yin J, Sun H Front. Chem. Sci. Eng. 15 1360 (2021)
  17. Longo S, Micca L G et al Nanotechnology 32 145604 (2021)
  18. Ferrari P, Sanzone G et al Nanoalloys (2020) p. 1
  19. Grammatikopoulos P, Kumar S Frontiers of Nanoscience Vol. Cluster Beam Deposition of Functional Nanomaterials and DevicesCluster nanoportals for the hydrogenation of underlying nanofilms15 (2020) p. 87
  20. Soler-Morala J, Jefremovas E M et al Applied Nano 1 87 (2020)
  21. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Tech. Phys. Lett. 46 42 (2020)
  22. Chami A, Arnas C J. Plasma Phys. 86 (5) (2020)
  23. Gabriela C L, Acsente T et al Nanomaterials - Toxicity, Human Health and Environment Chapter 5 (2020)
  24. Prudnikov A, Pashkevich Yu et al Advances in Thin Films, Nanostructured Materials, and Coatings Lecture Notes in Mechanical Engineering Chapter 20 (2019) p. 197
  25. Arnas C, Chami A et al 26 (5) (2019)
  26. Gradov V M, Zimin A M et al Phys. Atom. Nuclei 82 1376 (2019)
  27. Grammatikopoulos P Current Opinion in Chemical Engineering 23 164 (2019)
  28. Kovtun Yu V, Shapoval A N, Siusko Y V Plasma Sources Sci. Technol. 28 105009 (2019)
  29. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 28 035008 (2019)
  30. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 27 065010 (2018)
  31. Filippov A V, Pal A F et al J. Phys.: Conf. Ser. 946 012149 (2018)
  32. Hippler R, Cada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 50 445205 (2017)
  33. Budaev V P Physics Letters A 381 3706 (2017)
  34. Pashkevich Yu, Prudnikov A et al 2017 IEEE 7th International Conference Nanomaterials: Application & Properties (NAP), (2017) p. 02NTF30-1
  35. Aussems D U B, Khrapak S A et al 24 (11) (2017)
  36. Stranak V, Hippler R Gas‐Phase Synthesis of Nanoparticles 1 (2017) p. 203
  37. Budaev V P Jetp Lett. 105 307 (2017)
  38. Abduev A Kh, Akhmedov A K et al Crystallogr. Rep. 62 133 (2017)
  39. Lukin V G, Khvostenko O G Успехи физических наук 187 981 (2017) [Lukin V G, Khvostenko O G Phys.-Usp. 60 911 (2017)]
  40. Haberland H Gas‐Phase Synthesis of Nanoparticles 1 (2017) p. 1
  41. Smirnov B M Успехи физических наук 187 1329 (2017) [Smirnov B M Phys.-Usp. 60 1236 (2017)]
  42. Herrendorf A-P, Sushkov V, Hippler R 121 (12) (2017)
  43. Mokhnenko М  І, Varyukhin V  M et al Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 37 741 (2016)
  44. Grammatikopoulos P, Steinhauer S et al Advances in Physics: X 1 81 (2016)
  45. Sushkov V, Herrendorf A-P, Hippler R J. Phys. D: Appl. Phys. 49 425201 (2016)
  46. Ahadi A M, Hinz A et al 34 (2) (2016)
  47. Zeniieh D, Rostas A M et al Plasma Process. Polym. 13 744 (2016)
  48. Ferrec A, Kéraudy Ju, Jouan P-Y Applied Surface Science 390 497 (2016)
  49. Baitimbetova B A, Vermenichev B M et al Russ Phys J 58 394 (2015)
  50. Ivanov A S, Pal A F et al Russ J Gen Chem 85 1270 (2015)
  51. Zhao Ju, Singh V et al Phys. Rev. B 91 (3) (2015)
  52. Blažek J, Kousal J et al J. Phys. D: Appl. Phys. 48 415202 (2015)
  53. Smirnov B M, Son E E High Temp 53 742 (2015)
  54. Ganeva M, Kashtanov P V et al Успехи физических наук 185 619 (2015) [Ganeva M, Kashtanov P V et al Phys.-Usp. 58 579 (2015)]
  55. Rogov A V, Kapustin Yu V, Martynenko Yu V Tech. Phys. 60 283 (2015)
  56. Acsente T, Negrea R F et al Eur. Phys. J. D 69 (6) (2015)
  57. Singh V, Cassidy C et al J. Phys. Chem. C 118 13869 (2014)
  58. Tolstoguzov A B, Drozdov M N et al J Anal Chem 69 1245 (2014)
  59. Ganeva M, Kashtanov P V et al Vacuum 110 140 (2014)
  60. Maicu M, Schmittgens R et al 32 (2) (2014)
  61. Bray K R, Jiao Ch Q, DeCerbo Je N 32 (3) (2014)
  62. (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014) Vol. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014Surface treatment of polyimide film for metal magnetron deposition in vacuumAlexander A.OrlikovskyV.PetrovD.VertyanovS.TimoshenkovV.Nikolaev9440 (2014) p. 94400A
  63. Drache S, Stranak V et al 116 (14) (2014)
  64. Cassidy C, Singh V et al Sci Rep 3 (1) (2013)
  65. Ganeva M, Pipa A V et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 045011 (2013)
  66. Rawat R S IEEE Trans. Plasma Sci. 41 701 (2013)
  67. Rai A, Mutzke A et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 316 6 (2013)
  68. Ahadi A M, Zaporojtchenko V et al J Nanopart Res 15 (12) (2013)
  69. Kvasov N T, Pun’ko A V et al J. Synch. Investig. 6 145 (2012)
  70. Muslimov A E, Butashin A V et al Crystallogr. Rep. 57 415 (2012)
  71. Sushkov V, Do H T et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 015002 (2012)
  72. Nafarizal N, Sasaki K J. Phys. D: Appl. Phys. 45 505202 (2012)
  73. Ganeva M, Pipa A V, Hippler R Surface and Coatings Technology 213 41 (2012)
  74. Peter T, Polonskyi O et al 112 (11) (2012)
  75. Martynenko Yu V, Rogov A V, Shul’ga V I Tech. Phys. 57 439 (2012)
  76. Rogov A V, Fanchenko S S Tech. Phys. 57 286 (2012)
  77. Ganeva M, Peter T et al Contrib. Plasma Phys. 52 881 (2012)
  78. Gradov V M, Zimin A M et al Plasma Phys. Rep. 38 1099 (2012)
  79. Kudryavtseva E N, Pichugin V F et al J. Synch. Investig. 6 688 (2012)
  80. Goncharov A V, Kashtanov P V High Temp 49 178 (2011)
  81. Peter T, Wegner M et al Surface and Coatings Technology 205 S38 (2011)
  82. Okunev V D, Lewandowski S J et al Phys. Solid State 53 13 (2011)
  83. Straňák V, Block S et al Surface and Coatings Technology 205 2755 (2011)
  84. Smirnov B M Uspekhi Fizicheskikh Nauk 181 713 (2011)
  85. Cluster Processes in Gases and Plasmas 1 (2010) p. 423
  86. Nikolaenko Yu M, Mukhin A B et al Tech. Phys. 55 1189 (2010)
  87. Hippler R, Bhattacharyya S R, Smirnov B M Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics Vol. Introduction to Complex PlasmasFormation and Deposition of Nanosize Particles on Surfaces59 Chapter 12 (2010) p. 299
  88. Kashtanov P V, Smirnov B M High Temp 48 846 (2010)
  89. Kabaldin Yu G, Seryi S V et al Russ. Engin. Res. 30 235 (2010)
  90. Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R EPL 91 63001 (2010)
  91. MOTEGI Nobuo, KUREHASHI Miki et al Japanese Journal of Environmental Infections 25 302 (2010)
  92. Knyazeva A G, Shanin S A Russ Phys J 53 83 (2010)
  93. Blonskii I V, Goncharov A A et al Tech. Phys. 54 1052 (2009)
  94. Berndt J, Kovačević E et al Contrib. Plasma Phys. 49 107 (2009)
  95. Ekpe S D, Jimenez F J et al 27 1275 (2009)
  96. Straňák V, Čada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 42 105204 (2009)
  97. Lukyanov G A, Nikolaeva L Yu, Bykov N Yu Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 16 551 (2008)
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение