RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 11, 2025
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2007

 / 

Май

←  →

Обзоры актуальных проблем


Магнетронная плазма и нанотехнология

 а,  б,  в
а Институт высоких температур, Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Российская Федерация
б Объединенный институт высоких температур РАН, ул. Ижорская 13/19, Москва, 127412, Российская Федерация
в Institute of Physics, University of Greifswald, Greifswald, Germany

Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

Текст pdf (622 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138
PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
000249374100001
2-s2.0-34548594195
2007PhyU...50..455K
Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138

Список литературы (254) Статьи, ссылающиеся на эту (102) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Coroa J, Sanzone G et al Surface and Coatings Technology 500 131892 (2025)
  2. Curda P, Horak A et al Nanoscale 17 (39) 22860 (2025)
  3. Ahadi A M, Tjardts T et al Vacuum 231 113794 (2025)
  4. Hanuš Jan, Starosta V et al Journal of Vacuum Science & Technology A 43 (6) (2025)
  5. Fedoseev A V, Filippov A V et al Nanomaterials 15 (23) 1802 (2025)
  6. Nedyorkin V V, Lavrenyuk A S, Shemchenko E I Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 89 (11) 2129 (2025)
  7. Gushenets V I, Bugaev A S et al Tech. Phys. 69 (7) 1967 (2024)
  8. Bohra M, Giaremis S et al Advanced Science 11 (43) (2024)
  9. Knabl F, Bandl Ch et al Journal of Vacuum Science & Technology A 42 (2) (2024)
  10. Okunev V D, Szymczak H Journal of Applied Physics 133 (8) (2023)
  11. Zikmund Tomáš, Bulíř J et al Materials 16 (4) 1591 (2023)
  12. Curda P, Hippler R et al Surface and Coatings Technology 473 130045 (2023)
  13. Curda P, Kaftan D et al Applied Surface Science 640 158307 (2023)
  14. Grammatikopoulos P, Bouloumis T, Steinhauer S Phys. Chem. Chem. Phys. 25 (2) 897 (2023)
  15. Arnas C, Guidez T et al Physics of Plasmas 29 (7) (2022)
  16. Sanzone G, Field S et al ACS Appl. Mater. Interfaces 14 (8) 10154 (2022)
  17. Batková Š, Kozák T et al Surface and Coatings Technology 417 127196 (2021)
  18. Abduev A, Akhmedov A et al J. Phys.: Conf. Ser. 2056 (1) 012046 (2021)
  19. Longo S, Micca L G et al Nanotechnology 32 (14) 145604 (2021)
  20. Sanzone G, Yin J et al Review of Scientific Instruments 92 (3) (2021)
  21. Sanzone G, Yin J, Sun H Front. Chem. Sci. Eng. 15 (6) 1360 (2021)
  22. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Phys. Solid State 63 (4) 603 (2021)
  23. Ferrari P, Sanzone G et al Nanoalloys (2020) p. 1
  24. Chami A, Arnas C J. Plasma Phys. 86 (5) (2020)
  25. Soler-Morala J, Jefremovas E M et al Applied Nano 1 (1) 87 (2020)
  26. Gabriela C L, Acsente T et al Nanomaterials - Toxicity, Human Health and Environment Chapter 5 (2020)
  27. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Tech. Phys. Lett. 46 (1) 42 (2020)
  28. Frontiers of Nanoscience Vol. Cluster Beam Deposition of Functional Nanomaterials and DevicesCluster nanoportals for the hydrogenation of underlying nanofilms15 (2020) p. 87
  29. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 28 (3) 035008 (2019)
  30. Prudnikov A, Pashkevich Yu et al Advances in Thin Films, Nanostructured Materials, and Coatings Lecture Notes in Mechanical Engineering Chapter 20 (2019) p. 197
  31. Gradov V M, Zimin A M et al Phys. Atom. Nuclei 82 (10) 1376 (2019)
  32. Grammatikopoulos P Current Opinion in Chemical Engineering 23 164 (2019)
  33. Arnas C, Chami A et al Physics of Plasmas 26 (5) (2019)
  34. Kovtun Yu V, Shapoval A N, Siusko Y V Plasma Sources Sci. Technol. 28 (10) 105009 (2019)
  35. Filippov A V, Pal A F et al J. Phys.: Conf. Ser. 946 012149 (2018)
  36. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 27 (6) 065010 (2018)
  37. Hippler R, Cada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 50 (44) 445205 (2017)
  38. Abduev A Kh, Akhmedov A K et al Crystallogr. Rep. 62 (1) 133 (2017)
  39. Budaev V P Physics Letters A 381 (43) 3706 (2017)
  40. Pashkevich Yu, Prudnikov A et al 2017 IEEE 7th International Conference Nanomaterials: Application & Properties (NAP), (2017) p. 02NTF30-1
  41. Aussems D U B, Khrapak S A et al Physics of Plasmas 24 (11) (2017)
  42. Budaev V P Jetp Lett. 105 (5) 307 (2017)
  43. Stranak V, Hippler R Gas‐Phase Synthesis of Nanoparticles 1 (2017) p. 203
  44. Lukin V G, Khvostenko O G Успехи физических наук 187 (09) 981 (2017) [Lukin V G, Khvostenko O G Phys.-Usp. 60 (9) 911 (2017)]
  45. Smirnov B M Успехи физических наук 187 (12) 1329 (2017) [Smirnov B M Phys.-Usp. 60 (12) 1236 (2017)]
  46. Haberland H Gas‐Phase Synthesis of Nanoparticles 1 (2017) p. 1
  47. Herrendorf A-P, Sushkov V, Hippler R Journal of Applied Physics 121 (12) (2017)
  48. Zeniieh D, Rostas A M et al Plasma Process. Polym. 13 (7) 744 (2016)
  49. Grammatikopoulos P, Steinhauer S et al Advances in Physics: X 1 (1) 81 (2016)
  50. Ferrec A, Kéraudy Ju, Jouan P-Y Applied Surface Science 390 497 (2016)
  51. Sushkov V, Herrendorf A-P, Hippler R J. Phys. D: Appl. Phys. 49 (42) 425201 (2016)
  52. Ahadi A M, Hinz A et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 34 (2) (2016)
  53. Mokhnenko М  І, Varyukhin V  M et al Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 37 (6) 741 (2016)
  54. Rogov A V, Kapustin Yu V, Martynenko Yu V Tech. Phys. 60 (2) 283 (2015)
  55. Blažek J, Kousal J et al J. Phys. D: Appl. Phys. 48 (41) 415202 (2015)
  56. Ganeva M, Kashtanov P V et al Успехи физических наук 185 (6) 619 (2015) [Ganeva M, Kashtanov P V et al Phys.-Usp. 58 (6) 579 (2015)]
  57. Acsente T, Negrea R F et al Eur. Phys. J. D 69 (6) (2015)
  58. Smirnov B M, Son E E High Temp 53 (5) 742 (2015)
  59. Baitimbetova B A, Vermenichev B M et al Russ Phys J 58 (3) 394 (2015)
  60. Zhao Ju, Singh V et al Phys. Rev. B 91 (3) (2015)
  61. Ivanov A S, Pal A F et al Russ J Gen Chem 85 (5) 1270 (2015)
  62. Ganeva M, Kashtanov P V et al Vacuum 110 140 (2014)
  63. Maicu M, Schmittgens R et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 32 (2) (2014)
  64. Singh V, Cassidy C et al J. Phys. Chem. C 118 (25) 13869 (2014)
  65. (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014) Vol. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014Surface treatment of polyimide film for metal magnetron deposition in vacuumAlexander A.OrlikovskyV.PetrovD.VertyanovS.TimoshenkovV.Nikolaev9440 (2014) p. 94400A
  66. Tolstoguzov A B, Drozdov M N et al J Anal Chem 69 (13) 1245 (2014)
  67. Bray K R, Jiao Ch Q, DeCerbo Je N Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 32 (3) (2014)
  68. Drache S, Stranak V et al Journal of Applied Physics 116 (14) (2014)
  69. Rai A, Mutzke A et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 316 6 (2013)
  70. Ganeva M, Pipa A V et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 (4) 045011 (2013)
  71. Ahadi A M, Zaporojtchenko V et al J Nanopart Res 15 (12) (2013)
  72. Rawat R S IEEE Trans. Plasma Sci. 41 (4) 701 (2013)
  73. Cassidy C, Singh V et al Sci Rep 3 (1) (2013)
  74. Kvasov N T, Pun’ko A V et al J. Synch. Investig. 6 (1) 145 (2012)
  75. Muslimov A E, Butashin A V et al Crystallogr. Rep. 57 (3) 415 (2012)
  76. Sushkov V, Do H T et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 (1) 015002 (2012)
  77. Ganeva M, Pipa A V, Hippler R Surface and Coatings Technology 213 41 (2012)
  78. Gradov V M, Zimin A M et al Plasma Phys. Rep. 38 (13) 1099 (2012)
  79. Kudryavtseva E N, Pichugin V F et al J. Synch. Investig. 6 (4) 688 (2012)
  80. Rogov A V, Fanchenko S S Tech. Phys. 57 (2) 286 (2012)
  81. Ganeva M, Peter T et al Contrib. Plasma Phys. 52 (10) 881 (2012)
  82. Peter T, Polonskyi O et al Journal of Applied Physics 112 (11) (2012)
  83. Martynenko Yu V, Rogov A V, Shul’ga V I Tech. Phys. 57 (4) 439 (2012)
  84. Nafarizal N, Sasaki K J. Phys. D: Appl. Phys. 45 (50) 505202 (2012)
  85. Smirnov B M Uspekhi Fizicheskikh Nauk 181 (7) 713 (2011)
  86. Peter T, Wegner M et al Surface and Coatings Technology 205 S38 (2011)
  87. Okunev V D, Lewandowski S J et al Phys. Solid State 53 (1) 13 (2011)
  88. Goncharov A V, Kashtanov P V High Temp 49 (2) 178 (2011)
  89. Straňák V, Block S et al Surface and Coatings Technology 205 (8-9) 2755 (2011)
  90. Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R EPL 91 (6) 63001 (2010)
  91. Cluster Processes in Gases and Plasmas 1 (2010) p. 423
  92. Hippler R, Bhattacharyya S R, Smirnov B M Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics Vol. Introduction to Complex PlasmasFormation and Deposition of Nanosize Particles on Surfaces59 Chapter 12 (2010) p. 299
  93. Knyazeva A G, Shanin S A Russ Phys J 53 (1) 83 (2010)
  94. Nikolaenko Yu M, Mukhin A B et al Tech. Phys. 55 (8) 1189 (2010)
  95. Kashtanov P V, Smirnov B M High Temp 48 (6) 846 (2010)
  96. MOTEGI Nobuo, KUREHASHI Miki et al Japanese Journal of Environmental Infections 25 (5) 302 (2010)
  97. Kabaldin Yu G, Seryi S V et al Russ. Engin. Res. 30 (3) 235 (2010)
  98. Straňák V, Čada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 42 (10) 105204 (2009)
  99. Berndt J, Kovačević E et al Contrib. Plasma Phys. 49 (3) 107 (2009)
  100. Blonskii I V, Goncharov A A et al Tech. Phys. 54 (7) 1052 (2009)
  101. Ekpe S D, Jimenez F J et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 27 (6) 1275 (2009)
  102. Lukyanov G A, Nikolaeva L Yu, Bykov N Yu Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 16 (5-6) 551 (2008)
© Успехи физических наук, 1918–2025
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение