RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2007

 / 

май

←  →

Обзоры актуальных проблем


Магнетронная плазма и нанотехнология

 а,  б,  в
а Институт высоких температур, Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Российская Федерация
б Объединенный институт высоких температур РАН, ул. Ижорская 13, стр. 2, Москва, 125412, Российская Федерация
в Institute of Physics, University of Greifswald, Greifswald, Germany

Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

Текст pdf (622 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138
PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
000249374100001
2-s2.0-34548594195
2007PhyU...50..455K
Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138

Список литературы (254) Статьи, ссылающиеся на эту (108) ↓ Похожие статьи (20)

  1. Budaev V P Успехи физических наук 196 (09) 899 (2026)
  2. Wang Y, Toulkeridou E et al Powder Technology 484 122998 (2026)
  3. Coroa J, Sanzone G et al Surface and Coatings Technology 539 133867 (2026)
  4. Абраамян А С Proceedings of NAS RA Physics 61 (3) 470 (2026)
  5. Hanuš Jan, Starosta Vilém и др Journal of Vacuum Science & Technology A 43 (6) (2025)
  6. Fedoseev A V, Filippov A V et al Nanomaterials 15 (23) 1802 (2025)
  7. Nedyorkin V V, Lavrenyuk A S, Shemchenko E I Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 89 (11) 2129 (2025)
  8. Coroa J, Sanzone G et al Surface and Coatings Technology 500 131892 (2025)
  9. Ahadi A M, Tjardts T et al Vacuum 231 113794 (2025)
  10. Curda P, Horak A et al Nanoscale 17 (39) 22860 (2025)
  11. Bohra M, Giaremis S et al Advanced Science 11 (43) (2024)
  12. Gushenets V I, Bugaev A S et al Tech. Phys. 69 (7) 1967 (2024)
  13. Knabl F, Bandl Ch et al Journal of Vacuum Science & Technology A 42 (2) (2024)
  14. Curda P, Hippler R et al Surface and Coatings Technology 473 130045 (2023)
  15. Curda P, Kaftan D et al Applied Surface Science 640 158307 (2023)
  16. Okunev V D, Szymczak H Journal of Applied Physics 133 (8) (2023)
  17. Grammatikopoulos P, Bouloumis T, Steinhauer S Phys. Chem. Chem. Phys. 25 (2) 897 (2023)
  18. Zikmund Tomáš, Bulíř Jiří и др Materials 16 (4) 1591 (2023)
  19. Arnas C, Guidez T et al Physics of Plasmas 29 (7) (2022)
  20. Sanzone G, Field S et al ACS Appl. Mater. Interfaces 14 (8) 10154 (2022)
  21. Abduev A, Akhmedov A et al J. Phys.: Conf. Ser. 2056 (1) 012046 (2021)
  22. Batková Š, Kozák T и др Surface and Coatings Technology 417 127196 (2021)
  23. Sanzone G, Yin J et al Review of Scientific Instruments 92 (3) (2021)
  24. Sanzone G, Yin J, Sun H Front. Chem. Sci. Eng. 15 (6) 1360 (2021)
  25. Longo S, Micca L G et al Nanotechnology 32 (14) 145604 (2021)
  26. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Phys. Solid State 63 (4) 603 (2021)
  27. Ferrari P, Sanzone G et al Nanoalloys (2020) p. 1
  28. "Transport de nanoparticules dans un plasma de décharge magnétron" Aix-Marseille, (2020)
  29. Chami A, Arnas C J. Plasma Phys. 86 (5) (2020)
  30. Okunev V D, Samoilenko Z A et al Tech. Phys. Lett. 46 (1) 42 (2020)
  31. Soler-Morala J, Jefremovas E M et al Applied Nano 1 (1) 87 (2020)
  32. Frontiers of Nanoscience Vol. Cluster Beam Deposition of Functional Nanomaterials and DevicesCluster nanoportals for the hydrogenation of underlying nanofilms15 (2020) p. 87
  33. Gabriela C L, Acsente T et al Nanomaterials - Toxicity, Human Health and Environment Chapter 5 (2020)
  34. Arnas C, Chami A et al Physics of Plasmas 26 (5) (2019)
  35. Grammatikopoulos P Current Opinion in Chemical Engineering 23 164 (2019)
  36. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 28 (3) 035008 (2019)
  37. Prudnikov A, Pashkevich Yu et al Advances in Thin Films, Nanostructured Materials, and Coatings Lecture Notes in Mechanical Engineering Chapter 20 (2019) p. 197
  38. Kovtun Yu V, Shapoval A N, Siusko Y V Plasma Sources Sci. Technol. 28 (10) 105009 (2019)
  39. Gradov V M, Zimin A M et al Phys. Atom. Nuclei 82 (10) 1376 (2019)
  40. Filippov A V, Pal A F et al J. Phys.: Conf. Ser. 946 012149 (2018)
  41. Hippler R, Denker Ch Plasma Sources Sci. Technol. 27 (6) 065010 (2018)
  42. Lukin V G, Khvostenko O G Успехи физических наук 187 (09) 981 (2017) [Lukin V G, Khvostenko O G Phys.-Usp. 60 (9) 911 (2017)]
  43. Smirnov B M Успехи физических наук 187 (12) 1329 (2017) [Smirnov B M Phys.-Usp. 60 (12) 1236 (2017)]
  44. Herrendorf A-P, Sushkov V, Hippler R Journal of Applied Physics 121 (12) (2017)
  45. Abduev A Kh, Akhmedov A K et al Crystallogr. Rep. 62 (1) 133 (2017)
  46. Budaev V P Physics Letters A 381 (43) 3706 (2017)
  47. Pashkevich Yu, Prudnikov A et al 2017 IEEE 7th International Conference Nanomaterials: Application & Properties (NAP), (2017) p. 02NTF30-1
  48. Budaev V P Jetp Lett. 105 (5) 307 (2017)
  49. "Implémentation d'un générateur de nanoparticules en phase gazeuse fondé sur la pulvérisation cathodique magnétron pour la synthèse de films minces nanocomposities céramique/nanoparticules métalliques" Limoges, (2017)
  50. Haberland H Gas‐Phase Synthesis of Nanoparticles 1 (2017) p. 1
  51. Stranak V, Hippler R Gas‐Phase Synthesis of Nanoparticles 1 (2017) p. 203
  52. Aussems D U B, Khrapak S A et al Physics of Plasmas 24 (11) (2017)
  53. Hippler R, Cada M et al J. Phys. D: Appl. Phys. 50 (44) 445205 (2017)
  54. Sushkov V, Herrendorf A-P, Hippler R J. Phys. D: Appl. Phys. 49 (42) 425201 (2016)
  55. Mokhnenko М  І, Varyukhin V  M и др Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 37 (6) 741 (2016)
  56. Ahadi A M, Hinz A et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 34 (2) (2016)
  57. Ferrec A, Kéraudy Julien, Jouan P-Y Applied Surface Science 390 497 (2016)
  58. Grammatikopoulos P, Steinhauer S et al Advances in Physics: X 1 (1) 81 (2016)
  59. Zeniieh D, Rostas A M et al Plasma Process. Polym. 13 (7) 744 (2016)
  60. Ganeva M, Kashtanov P V et al Успехи физических наук 185 (6) 619 (2015) [Ganeva M, Kashtanov P V et al Phys.-Usp. 58 (6) 579 (2015)]
  61. Baitimbetova B A, Vermenichev B M et al Russ Phys J 58 (3) 394 (2015)
  62. Ivanov A S, Pal A F et al Russ J Gen Chem 85 (5) 1270 (2015)
  63. Blažek J, Kousal J и др J. Phys. D: Appl. Phys. 48 (41) 415202 (2015)
  64. Rogov A V, Kapustin Yu V, Martynenko Yu V Tech. Phys. 60 (2) 283 (2015)
  65. Acsente T, Negrea R F et al Eur. Phys. J. D 69 (6) (2015)
  66. Zhao Ju, Singh V et al Phys. Rev. B 91 (3) (2015)
  67. Smirnov B M, Son E E High Temp 53 (5) 742 (2015)
  68. Tolstoguzov A B, Drozdov M N et al J Anal Chem 69 (13) 1245 (2014)
  69. Ganeva M, Kashtanov P V et al Vacuum 110 140 (2014)
  70. Singh V, Cassidy C et al J. Phys. Chem. C 118 (25) 13869 (2014)
  71. Bray K R, Jiao Ch Q, DeCerbo Je N Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena 32 (3) (2014)
  72. (International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014) Vol. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014Surface treatment of polyimide film for metal magnetron deposition in vacuumAlexander A.OrlikovskyV.PetrovD.VertyanovS.TimoshenkovV.Nikolaev9440 (2014) p. 94400A
  73. Drache S, Stranak V et al Journal of Applied Physics 116 (14) (2014)
  74. Maicu M, Schmittgens R et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 32 (2) (2014)
  75. Ganeva M, Pipa A V et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 (4) 045011 (2013)
  76. Cassidy C, Singh V et al Sci Rep 3 (1) (2013)
  77. Ahadi A M, Zaporojtchenko V et al J Nanopart Res 15 (12) (2013)
  78. Rawat R S IEEE Trans. Plasma Sci. 41 (4) 701 (2013)
  79. Rai A, Mutzke A et al Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 316 6 (2013)
  80. Muslimov A E, Butashin A V et al Crystallogr. Rep. 57 (3) 415 (2012)
  81. Ganeva M, Peter T et al Contrib. Plasma Phys. 52 (10) 881 (2012)
  82. Gradov V M, Zimin A M et al Plasma Phys. Rep. 38 (13) 1099 (2012)
  83. Rogov A V, Fanchenko S S Tech. Phys. 57 (2) 286 (2012)
  84. Peter T, Polonskyi O et al Journal of Applied Physics 112 (11) (2012)
  85. Ganeva M, Pipa A V, Hippler R Surface and Coatings Technology 213 41 (2012)
  86. Kudryavtseva E N, Pichugin V F et al J. Surf. Investig. 6 (4) 688 (2012)
  87. Martynenko Yu V, Rogov A V, Shul’ga V I Tech. Phys. 57 (4) 439 (2012)
  88. Nafarizal N, Sasaki K J. Phys. D: Appl. Phys. 45 (50) 505202 (2012)
  89. Sushkov V, Do H T et al Plasma Sources Sci. Technol. 22 (1) 015002 (2012)
  90. Kvasov N T, Pun’ko A V et al J. Surf. Investig. 6 (1) 145 (2012)
  91. Goncharov A V, Kashtanov P V High Temp 49 (2) 178 (2011)
  92. Smirnov B M Uspekhi Fizicheskikh Nauk 181 (7) 713 (2011)
  93. Okunev V D, Lewandowski S J et al Phys. Solid State 53 (1) 13 (2011)
  94. Straňák Vítězslav, Block S и др Surface and Coatings Technology 205 (8-9) 2755 (2011)
  95. Peter T, Wegner M et al Surface and Coatings Technology 205 S38 (2011)
  96. Nikolaenko Yu M, Mukhin A B et al Tech. Phys. 55 (8) 1189 (2010)
  97. Kashtanov P V, Smirnov B M High Temp 48 (6) 846 (2010)
  98. Knyazeva A G, Shanin S A Russ Phys J 53 (1) 83 (2010)
  99. Kabaldin Yu G, Seryi S V et al Russ. Engin. Res. 30 (3) 235 (2010)
  100. Hippler R, Bhattacharyya S R, Smirnov B M Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics Vol. Introduction to Complex PlasmasFormation and Deposition of Nanosize Particles on Surfaces59 Chapter 12 (2010) p. 299
  101. Cluster Processes in Gases and Plasmas 1 (2010) p. 423
  102. MOTEGI N, KUREHASHI M et al Japanese Journal of Environmental Infections 25 (5) 302 (2010)
  103. Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R EPL 91 (6) 63001 (2010)
  104. Blonskii I V, Goncharov A A et al Tech. Phys. 54 (7) 1052 (2009)
  105. Ekpe S D, Jimenez F J et al Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 27 (6) 1275 (2009)
  106. Straňák Vítězslav, Čada Martin и др J. Phys. D: Appl. Phys. 42 (10) 105204 (2009)
  107. Berndt J, Kovačević E et al Contrib. Plasma Phys. 49 (3) 107 (2009)
  108. Lukyanov G A, Nikolaeva L Yu, Bykov N Yu Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 16 (5-6) 551 (2008)
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение