RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 10, 2026
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2007

 / 

май

←  →

Обзоры актуальных проблем


Магнетронная плазма и нанотехнология

 а,  б,  в
а Институт высоких температур, Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Российская Федерация
б Объединенный институт высоких температур РАН, ул. Ижорская 13, стр. 2, Москва, 125412, Российская Федерация
в Institute of Physics, University of Greifswald, Greifswald, Germany

Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

Текст pdf (622 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138
PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
000249374100001
2-s2.0-34548594195
2007PhyU...50..455K
Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138

Список литературы (254) Статьи, ссылающиеся на эту (108) Похожие статьи (20) ↓

  1. Б.М. Смирнов «Генерация кластерных пучков» УФН 173 609–648 (2003)
  2. Б.М. Смирнов «Кластерная плазма» УФН 170 495–534 (2000)
  3. Г.Н. Макаров «Экстремальные процессы в кластерах при столкновении с твердой поверхностью» УФН 176 121–174 (2006)
  4. Б.М. Смирнов «Процессы в расширяющемся и конденсирующемся газе» УФН 164 665–703 (1994)
  5. Б.М. Смирнов «Процессы с участием кластеров и малых частиц в буферном газе» УФН 181 713–745 (2011)
  6. Г.Н. Макаров «Кластерная температура. Методы ее измерения и стабилизации» УФН 178 337–376 (2008)
  7. Б.М. Смирнов «Металлические наноструктуры: от кластеров к нанокатализу и сенсорам» УФН 187 1329–1364 (2017)
  8. В.П. Крайнов, Б.М. Смирнов, М.Б. Смирнов «Фемтосекундное возбуждение кластерных пучков» УФН 177 953–981 (2007)
  9. Г.Н. Макаров «Лазерная ИК-фрагментация молекулярных кластеров: роль каналов ввода и релаксации энергии, влияние окружения, динамика фрагментации» УФН 187 241–276 (2017)
  10. В.Е. Фортов, А.Г. Храпак и др. «Пылевая плазма» УФН 174 495–544 (2004)
  11. Г.Н. Макаров «Управление параметрами и составом молекулярных и кластерных пучков с помощью инфракрасных лазеров» УФН 188 689–719 (2018)
  12. Е. Илленбергер, Б.М. Смирнов «Прилипание электрона к свободным и связанным молекулам» УФН 168 731–766 (1998)
  13. Б.М. Смирнов «Кластеры с плотной упаковкой и заполненными оболочками» УФН 163 (10) 29–56 (1993)
  14. Р.С. Берри, Б.М. Смирнов «Фазовые переходы и сопутствующие явления в простых системах связанных атомов» УФН 175 367–411 (2005)
  15. Б.М. Смирнов «Процессы в плазме и газах с участием кластеров» УФН 167 1169–1200 (1997)
  16. Б.М. Смирнов «Фрактальные кластеры» УФН 149 177–219 (1986)
  17. В.П. Крайнов, М.Б. Смирнов «Эволюция больших кластеров под действием ультракороткого сверхмощного лазерного импульса» УФН 170 969–990 (2000)
  18. Г.Н. Макаров «Кинетические методы определения температуры кластеров и наночастиц в молекулярных пучках» УФН 181 365–387 (2011)
  19. Г.Н. Макаров «Экспериментальные методы определения температуры и теплоты плавления кластеров и наночастиц» УФН 180 185–207 (2010)
  20. Б.М. Смирнов «Плавление кластеров с парным взаимодействием атомов» УФН 164 1165–1185 (1994)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2026
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение