RSS-ленты
РусскийEnglish
Выпуск 4, 2024
Том год страница
Выпуски Авторы PACS Подписчикам Для авторов

Выпуски

 / 

2007

 / 

Май

←  →

Обзоры актуальных проблем


Магнетронная плазма и нанотехнология

 а,  б,  в
а Институт высоких температур, Объединенный институт высоких температур РАН, Москва, Российская Федерация
б Объединенный институт высоких температур РАН, ул. Ижорская 13/19, Москва, 127412, Российская Федерация
в Institute of Physics, University of Greifswald, Greifswald, Germany

Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

Текст pdf (622 Кб)
English fulltext is available at DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138
PACS: 36.40.−c, 52.80.Sm, 61.46.Bc (все)
DOI: 10.3367/UFNr.0177.200705a.0473
URL: https://ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
000249374100001
2-s2.0-34548594195
2007PhyU...50..455K
Цитата: Каштанов П В, Смирнов Б М, Хипплер Р "Магнетронная плазма и нанотехнология" УФН 177 473–510 (2007)
BibTexBibNote ® (generic)BibNote ® (RIS)MedlineRefWorks

English citation: Kashtanov P V, Smirnov B M, Hippler R “Magnetron plasma and nanotechnology” Phys. Usp. 50 455–488 (2007); DOI: 10.1070/PU2007v050n05ABEH006138

Список литературы (254) Статьи, ссылающиеся на эту (94) Похожие статьи (20) ↓

  1. Б.М. Смирнов «Генерация кластерных пучков» 173 609–648 (2003)
  2. Б.М. Смирнов «Кластерная плазма» 170 495–534 (2000)
  3. Г.Н. Макаров «Экстремальные процессы в кластерах при столкновении с твердой поверхностью» 176 121–174 (2006)
  4. Б.М. Смирнов «Процессы в расширяющемся и конденсирующемся газе» 164 665–703 (1994)
  5. Б.М. Смирнов «Процессы с участием кластеров и малых частиц в буферном газе» 181 713–745 (2011)
  6. Г.Н. Макаров «Кластерная температура. Методы ее измерения и стабилизации» 178 337–376 (2008)
  7. Б.М. Смирнов «Металлические наноструктуры: от кластеров к нанокатализу и сенсорам» 187 1329–1364 (2017)
  8. В.П. Крайнов, Б.М. Смирнов, М.Б. Смирнов «Фемтосекундное возбуждение кластерных пучков» 177 953–981 (2007)
  9. Г.Н. Макаров «Лазерная ИК-фрагментация молекулярных кластеров: роль каналов ввода и релаксации энергии, влияние окружения, динамика фрагментации» 187 241–276 (2017)
  10. В.Е. Фортов, А.Г. Храпак и др. «Пылевая плазма» 174 495–544 (2004)
  11. Б.М. Смирнов «Кластеры с плотной упаковкой и заполненными оболочками» 163 (10) 29–56 (1993)
  12. Г.Н. Макаров «Управление параметрами и составом молекулярных и кластерных пучков с помощью инфракрасных лазеров» 188 689–719 (2018)
  13. Б.М. Смирнов «Процессы в плазме и газах с участием кластеров» 167 1169–1200 (1997)
  14. Р.С. Берри, Б.М. Смирнов «Фазовые переходы и сопутствующие явления в простых системах связанных атомов» 175 367–411 (2005)
  15. Е. Илленбергер, Б.М. Смирнов «Прилипание электрона к свободным и связанным молекулам» 168 731–766 (1998)
  16. Б.М. Смирнов «Фрактальные кластеры» 149 177–219 (1986)
  17. Г.Н. Макаров «Кинетические методы определения температуры кластеров и наночастиц в молекулярных пучках» 181 365–387 (2011)
  18. Г.Н. Макаров «Экспериментальные методы определения температуры и теплоты плавления кластеров и наночастиц» 180 185–207 (2010)
  19. В.П. Крайнов, М.Б. Смирнов «Эволюция больших кластеров под действием ультракороткого сверхмощного лазерного импульса» 170 969–990 (2000)
  20. Б.М. Смирнов «Плавление кластеров с парным взаимодействием атомов» 164 1165–1185 (1994)

Список формируется автоматически.
© Успехи физических наук, 1918–2024
Электронная почта: ufn@ufn.ru Телефоны и адреса редакции О журнале Пользовательское соглашение